JP2019152507A - 絶対距離測定装置及びその方法 - Google Patents
絶対距離測定装置及びその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019152507A JP2019152507A JP2018037194A JP2018037194A JP2019152507A JP 2019152507 A JP2019152507 A JP 2019152507A JP 2018037194 A JP2018037194 A JP 2018037194A JP 2018037194 A JP2018037194 A JP 2018037194A JP 2019152507 A JP2019152507 A JP 2019152507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- pulse
- measured
- absolute distance
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
Description
電気信号である。したがって、図3で分かるように時間の経過と共に測定パルスと検出パルスの発生タイミングがずれている。ただし、この例は説明を簡単とするために、測定パルスの周期を100μs、検出パルスの周期を99μsとしたもので、例えばクロック信号の周期を1μsとしてそれぞれ生成したとしている。
2 測定パルス生成部
3 検出パルス生成部
4 光パルス送信部
5、25 被測定物
6 受光部
7 受信信号
8 論理積回路
9 信号処理部
20 上距離計
21 下距離計
26 上アーム
27 下アーム
28 ステージ
Claims (8)
- 光を被測定物へ投射し反射して戻ってくる、その往復時間に基づいて距離を測定する絶対距離測定装置において、
基準となるクロック信号を生成するクロック生成部と、
前記クロック信号に基づいて周期的な測定パルスを生成する測定パルス生成部と、
前記測定パルスとは異なる周期の検出パルスを生成する検出パルス生成部と、
前記測定パルスに従った測定光を前記被測定物へ投射する光パルス送信部と、
前記被測定物の表面で反射した前記測定光を検出して受信信号として出力する受光部と、
前記検出パルスと前記受信信号とを論理演算して合成する論理積回路と、
前記論理積回路で合成された信号から、前記測定光が前記光パルス送信部から前記被測定物へ投射されてから前記被測定物の表面で反射して前記受光部で検出されるまでの伝播時間を求め、前記被測定物までの絶対距離を演算する信号処理部と、
を備えたことを特徴とする絶対距離測定装置。 - 前記検出パルス生成部は、前記クロック信号に基づいて前記検出パルスを生成することを特徴とする請求項1に記載の絶対距離測定装置。
- 前記光パルス送信部は、レーザーダイオードにより測定光を前記被測定物へ投射することを特徴とする請求項1又は2に記載の絶対距離測定装置。
- 前記測定パルスの周期と前記検出パルスの周期との差は、前記測定パルスの周期に対して0.3〜3%とすることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の絶対距離測定装置。
- 前記測定パルスの周期T2=100としたとき、前記検出パルスの周期T1を99とする比率であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の絶対距離測定装置。
- 被測定物の両面に配置された請求項1から5のいずれか1項に記載の絶対距離測定装置を備え、予め測定された前記絶対距離測定装置間の距離から前記被測定物の厚さを演算することを特徴とする厚さ測定器。
- 光を被測定物へ投射し反射して戻ってくる、その往復時間に基づいて距離を測定する絶対距離測定方法であって、
基準となるクロック信号に基づいて周期的な測定パルスと、前記測定パルスとは異なる周期の検出パルスと、を生成し、
前記測定パルスに従って測定光を前記被測定物へ投射して前記被測定物の表面で反射した前記測定光を受信信号として検出し、
前記検出パルスと前記受信信号とを論理演算して前記測定光の伝播時間を求め、前記被測定物までの絶対距離を演算することを特徴とする絶対距離測定方法。 - 前記検出パルスは、前記クロック信号に基づいて生成されることを特徴とすることを特徴とする請求項7に記載の絶対距離測定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037194A JP7257105B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
JP2022071005A JP7271762B2 (ja) | 2018-03-02 | 2022-04-22 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037194A JP7257105B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022071005A Division JP7271762B2 (ja) | 2018-03-02 | 2022-04-22 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019152507A true JP2019152507A (ja) | 2019-09-12 |
JP7257105B2 JP7257105B2 (ja) | 2023-04-13 |
Family
ID=67948817
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018037194A Active JP7257105B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7257105B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022095971A (ja) * | 2018-03-02 | 2022-06-28 | 株式会社東京精密 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
KR20220125431A (ko) * | 2021-03-05 | 2022-09-14 | 부산대학교 산학협력단 | 복수개의 광주파수 도약스캔 레이저를 이용한 광간섭 거리측정 시스템 및 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006521536A (ja) * | 2002-11-26 | 2006-09-21 | ジェームス エフ. マンロ | 高精度の距離測定装置およびその方法 |
US20080050013A1 (en) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Munro James F | Systems for capturing three-dimensional images and methods thereof |
DE102007032791A1 (de) * | 2006-07-16 | 2008-04-24 | Fluke Corp., Everett | Verbessertes Äquivalenzzeit-Abtastsystem für optisches Zeitbereichsreflektometer |
JP2014174010A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
JP2017198639A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社ユピテル | 出射装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2189804B1 (de) | 2008-11-21 | 2010-10-06 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Messung von Entfernungen nach dem Lichtlaufzeitprinzip |
JP6186337B2 (ja) | 2014-11-13 | 2017-08-23 | 双葉電子工業株式会社 | 表示装置、表示駆動方法 |
-
2018
- 2018-03-02 JP JP2018037194A patent/JP7257105B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006521536A (ja) * | 2002-11-26 | 2006-09-21 | ジェームス エフ. マンロ | 高精度の距離測定装置およびその方法 |
DE102007032791A1 (de) * | 2006-07-16 | 2008-04-24 | Fluke Corp., Everett | Verbessertes Äquivalenzzeit-Abtastsystem für optisches Zeitbereichsreflektometer |
US20080050013A1 (en) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Munro James F | Systems for capturing three-dimensional images and methods thereof |
JP2014174010A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Toshiba Corp | 厚さ測定装置 |
JP2017198639A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社ユピテル | 出射装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022095971A (ja) * | 2018-03-02 | 2022-06-28 | 株式会社東京精密 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
JP7271762B2 (ja) | 2018-03-02 | 2023-05-11 | 株式会社東京精密 | 絶対距離測定装置及びその方法 |
KR20220125431A (ko) * | 2021-03-05 | 2022-09-14 | 부산대학교 산학협력단 | 복수개의 광주파수 도약스캔 레이저를 이용한 광간섭 거리측정 시스템 및 방법 |
KR102571110B1 (ko) * | 2021-03-05 | 2023-08-25 | 부산대학교 산학협력단 | 복수개의 광주파수 도약스캔 레이저를 이용한 광간섭 거리측정 시스템 및 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7257105B2 (ja) | 2023-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5231883B2 (ja) | 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 | |
KR940009241B1 (ko) | 거리측정 방법 및 그 장치 | |
US4297030A (en) | Method and apparatus for measuring the distance and/or relative elevation between two points | |
JP5235412B2 (ja) | レーザ追跡装置、レーザ・デバイス及び方法 | |
EP2728377B1 (en) | Modulated laser range finder and method | |
US7777865B2 (en) | Time difference measuring device, measuring method, distance measuring device, and distance measuring method | |
US20110176146A1 (en) | Device and method for measuring a surface | |
JP2020085723A (ja) | 光学的測定装置及び測定方法 | |
JP2008524563A (ja) | 単一チャンネルヘテロダイン距離測定方法 | |
JP2006003127A (ja) | 光波測距装置 | |
JP7291385B2 (ja) | 光学的測定装置及び測定方法 | |
CN111458011B (zh) | 一种基于涡旋光的恒定转速旋转物体微振动探测装置 | |
JP2002357656A (ja) | 距離測定装置、距離測定設備および距離測定方法 | |
CN108226902A (zh) | 一种面阵激光雷达测量系统 | |
JP7257105B2 (ja) | 絶対距離測定装置及びその方法 | |
JP2016169985A (ja) | 光波距離計 | |
GB2306825A (en) | Laser ranging using time correlated single photon counting | |
JP7271762B2 (ja) | 絶対距離測定装置及びその方法 | |
Liu et al. | Multicycle synchronous digital phase measurement used to further improve phase-shift laser range finding | |
US20100265491A1 (en) | Range-finding method and apparatus | |
JP7385919B2 (ja) | 距離測定方法及び光コム距離計並びに光学的三次元形状測定装置 | |
CN207937596U (zh) | 一种面阵激光雷达测量系统 | |
RU2658112C1 (ru) | Способ измерения наноперемещений | |
JP2001033209A (ja) | 距離計 | |
EP3958018A1 (en) | Time-of-flight ranging method and related system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211022 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220422 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220422 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220510 |
|
C11 | Written invitation by the commissioner to file amendments |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C11 Effective date: 20220510 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220510 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220517 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20220603 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20220607 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220830 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20221011 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20221206 |
|
C302 | Record of communication |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302 Effective date: 20230126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230130 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20230221 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20230322 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20230322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230403 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7257105 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |