RU2658112C1 - Способ измерения наноперемещений - Google Patents
Способ измерения наноперемещений Download PDFInfo
- Publication number
- RU2658112C1 RU2658112C1 RU2017113410A RU2017113410A RU2658112C1 RU 2658112 C1 RU2658112 C1 RU 2658112C1 RU 2017113410 A RU2017113410 A RU 2017113410A RU 2017113410 A RU2017113410 A RU 2017113410A RU 2658112 C1 RU2658112 C1 RU 2658112C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- signal
- amplitude
- laser
- radiation
- laser radiation
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000005526 G1 to G0 transition Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- MJWYCUZCRGLCBD-BGZMIMFDSA-N (4s)-4-amino-5-[[(2s)-1-[[(2s)-1-[[(2s,3s)-1-[[(1s)-1-carboxy-2-hydroxyethyl]amino]-3-methyl-1-oxopentan-2-yl]amino]-3-methyl-1-oxobutan-2-yl]amino]-4-methyl-1-oxopentan-2-yl]amino]-5-oxopentanoic acid Chemical group OC[C@@H](C(O)=O)NC(=O)[C@H]([C@@H](C)CC)NC(=O)[C@H](C(C)C)NC(=O)[C@H](CC(C)C)NC(=O)[C@@H](N)CCC(O)=O MJWYCUZCRGLCBD-BGZMIMFDSA-N 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 108010008118 glutamyl-leucyl-valyl-isoleucyl-serine Proteins 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004556 laser interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
- G01S17/32—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области прецизионной контрольно-измерительной техники. Способ измерения наноперемещений заключается в том, что облучают объект лазерным излучением, регистрируют отраженное от объекта излучение, интерферирующее в лазере, встроенным фотодетектором. Преобразуют лазерное излучение в электрический автодинный сигнал. Длину волны лазерного излучения модулируют током питания заданной частоты и амплитуды. Амплитуду изменяют по гармоническому закону. Продетектированный сигнал раскладывают в спектральный ряд Фурье и ряд по функциям Бесселя. Измеряют амплитуду 2n-й (S2n) и 2n+2-й (S2n+2) гармоник спектра или 2n+1-й (S2n+1) и 2n+3-й (S2n+3) гармоник спектра автодинного сигнала, по отношению или , соответственно, вычисляют значение параметра амплитуды фазы токовой модуляции σ. Определяют величину стационарной фазы автодинного сигнала по формуле , наноперемещение отражателя находят по формуле: , где ω0 - частота лазерного излучения, c - скорость света, J2n, J2n+2, J2n+1 и J2n+3 – функции Бесселя. Технический результат заключается в обеспечении возможности повышения точности измерения перемещений микро- и нанометрового диапазона. 4 ил.
Description
Изобретение относится к области прецизионной контрольно-измерительной техники, может быть использовано для определения микро- и нанометровых перемещений с высокой точностью, может найти широкое применение в точном машиностроении и электронной технике.
Известен способ измерения перемещений, в котором используется полупроводниковый лазерный диод со средством возбуждения, обеспечивающим изменение рабочей частоты лазера. При измерении луч от лазера, в виде последовательности импульсов, направляют на поверхность объекта, расстояние до которого требуется определить. Отражённое от объекта излучение имеет интенсивность, связанную с расстоянием от лазерного диода до отражателя, обусловленную когерентной интерференцией в лазере между рассеянным светом от объекта и светом внутри лазерного диода. Детектирование этого сигнала обеспечивает выработку электрического сигнала обратной связи. Сигнал содержит информацию об импульсах интенсивности, связанных с расстоянием L до объекта. По количеству импульсов рассчитывают расстояние до объекта, используя расчётное соотношение (см. патент РФ на изобретение №2111510, МПК G01S 17/32).
Недостатком известного способа является то, что в системе необходимо использование дополнительного блока, обеспечивающего гашение части сигнала обратной связи для уменьшения воздействия разрывов непрерывности сигнала возбуждения лазера на показания измерителя расстояния.
Известен способ измерения перемещений, в котором облучение измеряемого объекта происходит через оптическую фокусирующую систему моноимпульсным лазерным излучателем с модулированной добротностью и плотностью мощности в точке фокусировки, а излучение фокусируют в точке измерения объекта и одновременно в двух точках мерной базы, сигнал принимают с помощью широкополосной акустической антенны, причем точки облучения, а также приемник и его антенну располагают на оптической оси фокусирующей системы, а отсчет времени приема звуковой волны производят в конце первого полупериода электрического сигнала приемника, индуцированного этой волной. Устройство для осуществления способа содержит оптическую фокусирующую систему лазерного излучателя и компаратор с мерной базой, приемник акустических сигналов содержит широкополосную высокочастотную антенну, при этом оси антенны, акустического приемника и мерной базы совмещены с оптической осью фокусирующей системы (см. патент РФ на изобретение №2267743, МПК G01B 11/14, G01B 17/00).
Однако в измерительной системе используется источник звуковых волн, который способен вызвать дополнительные вибрации, влияющие на объект измерений, например, тонкостенные оболочки. Подобные вибрации будут служить дополнительным источником погрешности при измерении расстояния.
Известен способ и устройство для измерения расстояния, в котором излучение от лазерного диода после прохождения линзы падает на поверхность объекта в виде поплавка, покрытого отражающей лентой. Отражённый от объекта луч возвращается обратно в блок лазерного диода и регистрируется фотодиодом. Анализируя зарегистрированный сигнал, определяют расстояние L от измерителя до объекта (см. патент РФ на изобретение №2101731, МПК G01S 17/32).
Однако способ измерения сильно зависит от величины отражённого оптического излучения. Для того чтобы сигнал отражался от поверхности, авторы изобретения используют специальную ленту. Использование подобной ленты на некоторых объектах, со сложной геометрией и шероховатостью, представляется невозможным.
Известен способ, основанный на явлениях оптической обратной связи и частотной модуляции в полупроводниковых лазерах. В основу методики измерений дальности до исследуемых объектов и параметров их движения положено свойство полупроводниковых лазеров изменять частоту излучения под воздействием изменений инжекционного тока. При небольших (до 5 %) изменениях тока частота излучения изменяется линейно, и если этот ток периодически модулируется, то соответственно изменяются мощность и частота излучения. Модулированный таким образом пучок света направляется на исследуемый объект. Рассеянное им излучение попадает обратно в активную среду лазера, где усиливается и интерферирует с исходным излучением. Из-за конечного значения скорости света рассеянное излучение приходит в лазер с некоторой задержкой, вследствие чего частота этого излучения не совпадает с частотой, генерируемой лазером в данный момент. В результате на выходе встроенного в лазер фотодиода возникает электрический сигнал, параметры которого несут полезную информацию об отражающей способности исследуемого объекта, его удаленности и характеристиках движения (см. Соболев В.С., Кащеева Г.А. Активная лазерная интерферометрия с частотной модуляцией // Автометрия. 2008. 44, N 6., C. 49.; Amann M.-C., T. Bosch, M. Lescure, R. Myllyla, M. Rioux Laser ranging: a critical review of usual techniques for distance measurement // Optical Engineering, 2001, Vol. 40 No. 1, P10-18). В способе минимальное значение измеряемых перемещений составляет 40 мкм.
Однако предлагаемый способ не позволяет регистрировать нанометровые перемещения.
Наиболее близким к предлагаемому решению является способ, который заключается в облучении объекта лазерным излучением, регистрации встроенным в лазер фотодетектором автодинного сигнала по изменению мощности лазерного излучения и разложение зарегистрированного сигнала на спектральные компоненты. При этом перед регистрацией лазерного излучения фотодетектором объект или/и лазер подвергают вибрационному воздействию с заданной частотой и амплитудой, большей половины длины волны лазерного излучения, выделяют из зарегистрированного сигнала участок длительностью не менее чем величина, обратная заданной частоте, после разложения зарегистрированного сигнала на спектральные компоненты рассчитывают фазу автодинного сигнала по набору спектральных компонент, повторяют эту процедуру на следующем участке сигнала, по полученной зависимости фазы автодинного сигнала от времени рассчитывают скорость и величину перемещения (расстояние) движения объекта (см. патент РФ на изобретение № 2247395, МПК G01P3/36).
Однако данный способ имеет ограниченный диапазон измеряемых перемещений.
Техническая проблема заключается в расширении диапазона измеряемых перемещений и повышении точности проводимых измерений.
Технический результат заключается в значительном повышении точности измерения перемещений микро- и нанометрового диапазона.
Указанная техническая проблема решается тем, что облучают объект лазерным излучением, регистрируют отраженное от объекта излучение, интерферирующее в лазере, встроенным фотодетектором, преобразуют лазерное излучение в электрический автодинный сигнал, согласно решению длину волны лазерного излучения модулируют током питания заданной частоты и амплитуды, амплитуду изменяют по гармоническому закону, продетектированный сигнал раскладывают в спектральный ряд Фурье и ряд по функциям Бесселя, измеряют амплитуду 2n-й (S2n) и 2n+2-й (S2n+2) гармоник спектра или 2n+1-й (S2n+1) и 2n+3-й (S2n+3) гармоник спектра автодинного сигнала, по отношению или , соответственно, вычисляют значение параметра σ, и определяют величину стационарной фазы автодинного сигнала по формуле , наноперемещение отражателя находят по формуле: , где ω0 - частота лазерного излучения, c - скорость света, J2n, J2n+2, J2n+1 и J2n+3 – функции Бесселя.
Изобретение поясняется чертежами. На фиг. 1 представлена блок-схема экспериментальной установки; на фиг. 2 представлен зарегистрированный автодинный сигнал при токовой модуляции длины волны лазерного излучения, полученный при отражении от объекта; на фиг. 3 представлен спектр автодинного сигнала; на фиг. 4 представлена зависимость наноперемещений зонда при заданной величине шага 80 нм зондового транслятора.
Позициями на фигурах обозначены:
1 – полупроводниковый лазерный автодин;
2 – держатель зонда ближнеполевого СВЧ зонда;
3 – объект (отражающая пластина);
4 – транслятор ближнеполевого СВЧ микроскопа;
5 – фотоприемник;
6 - фильтр переменного сигнала;
7 – аналого-цифровой преобразователь (АЦП);
8 – компьютер.
Для определения наноперемещений объекта по спектру частотномодулированного автодинного сигнала используют следующие теоретические предпосылки.
При воздействии отраженного излучения от объекта на лазерный диод излучаемая им мощность может быть представлена в виде [Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Авдеев К.С. Определение расстояния до объекта с помощью частотно-модулированного полупроводникового лазерного автодина // Письма в ЖТФ. 2007. Том 33. Вып 21. С. 72-77]:
где - составляющая мощности, независящая от расстояния до внешнего отражателя, – амплитудная составляющая мощности, зависящая от фазового набега волны в системе с внешним отражателем, – время обхода лазерным излучением расстояния до внешнего отражателя, – частота излучения полупроводникового лазера, зависящая от плотности тока накачки и уровня обратной связи.
При модуляции длины волны излучения полупроводникового лазера частота и амплитудная составляющая мощности излучения лазера определятся соотношениями:
где – собственная частота излучения полупроводникового лазерного диода; – девиация частоты излучения полупроводникового лазерного диода; – частота модуляции тока питания лазерного диода; – начальная фаза. I1 – амплитуда токовой модуляции составляющей P1(j(t)).
Таким образом, выражение для мощности излучения частотномодулированного полупроводникового лазера (1) запишется в виде:
где стационарная фаза автодинного сигнала , амплитуда фазы токовой модуляции , круговая частота модуляции тока питания лазерного диода .
Для описания низкочастотного спектра автодинного сигнала при гармонической модуляции длины волны излучения лазерного диода мощность автодинного сигнала может быть представлена в виде разложения в ряд по функциям Бесселя первого рода :
можно записать в виде:
Соотношения (7) и (8) характеризуют связь спектральных составляющих частотномодулированного автодинного сигнала с функциями Бесселя первого рода.
Для определения наноперемещений отражателя через величину стационарной фазы автодинного сигнала, используют отношения 2n и 2n+2 или отношения 2n+1 и 2n+3 спектральных гармоник:
Решение полученных уравнений (9) и (10) относительно неизвестного параметра позволяет записать выражение для определения наноперемещений отражателя через величину стационарной фазы автодинного сигнала в виде:
Таким образом, для определения величины наноперемещений отражателя при токовой модуляции длины волны лазерного излучения по амплитудам спектральных составляющих S2n, S2n+2, S2n+1 и S2n+3 автодинного сигнала, используя уравнения (9) и (10), рассчитывают значение параметра . Из соотношения (11) определяют величину стационарной фазы автодинного сигнала , а, используя выражение (12), с учетом периодичности функции arctg определяют величину смещения зонда.
Способ реализуется с помощью устройства (фиг.1) следующим образом. Освещают объект (отражающую пластину) 3, закрепленный на трансляторе 4 ближнеполевого СВЧ микроскопа, излучением от частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина 1 на лазерном диоде RLD-650 на квантоворазмерных структурах с дифракционно-ограниченной одиночной пространственной модой с длиной волны 650 нм. Полупроводниковый лазерный автодин (лазер) 1 закреплен на держателе зонда ближнеполевого СВЧ зонда 2. Модуляцию длины волны излучения проводят на частоте v1 = 100 Гц посредством модуляции тока питания лазера с помощью встроенного в лабораторную станцию виртуальных приборов NI ELVIS генератора сигналов. Изменение тока питания лазерного диода осуществляют путем изменения напряжения питания, подаваемого на полупроводниковую структуру от блока управления током питания. Отраженное излучение направляют в резонатор лазера, изменение мощности которого фиксируют фотоприемником 5. Продетектированный и усиленный сигнал с фотоприемника 5 проходит через фильтр переменного сигнала 6 и поступает на вход аналого-цифрового преобразователя 7, встроенного в модуль NI DAQmx (с частотой дискретизации 1.25 MГц), соединенного с компьютером 8. Параметр девиации частоты излучения лазерного диода wA измеряют с помощью спектрометра высокого разрешения SHR (Solar Laser Systems).
Измерения проводят с использованием электромагнитного транслятора фирмы STANDA модель 8MVT40-13, входящего с состав действующего макета ближнеполевого сканирующего СВЧ микроскопа. Основные параметры транслятора: разрешение – 80 нм (полный шаг); максимальная дистанция перемещения – 13 мм, максимальная скорость перемещения – 0.416 мм/с.
Длину волны лазерного излучения модулируют током питания заданной частоты и амплитуды, амплитуду изменяют по гармоническому закону, зарегистрированный автодинный сигнал (фиг.2) раскладывают в спектральный ряд Фурье (фиг.3) и ряд по функциям Бесселя, измеряют амплитуду 2n-й (S2n) и 2n+2-й (S2n+2) гармоник спектра или 2n+1-й (S2n+1) и 2n+3-й (S2n+3) гармоник спектра автодинного сигнала, по отношению или , соответственно, вычисляют значение параметра σ, и определяют величину стационарной фазы автодинного сигнала по формуле , наноперемещение отражателя находят по формуле: , где ω0 - частота лазерного излучения, c - скорость света, J2n, J2n+2, J2n+1 и J2n+3 – функции Бесселя.
Для определения величины наноперемещений отражателя при токовой модуляции длины волны лазерного излучения по амплитудам спектральных составляющих S1, S2, S3 и S4 автодинного сигнала, используя уравнения (9) и (10), рассчитывают значение параметра . Из соотношения (11) определяют величину стационарной фазы автодинного сигнала , а, используя выражение (12), определяют величину смещения зонда ΔL. Как следует из результатов, приведенных на фиг. 4, погрешность определения величины наноперемещений ΔL по набору спектральных составляющих спектра автодинного сигнала не превышает 15%.
Claims (1)
- Способ измерения наноперемещений, заключающийся в том, что облучают объект лазерным излучением, регистрируют отраженное от объекта излучение, интерферирующее в лазере, встроенным фотодетектором, преобразуют лазерное излучение в электрический автодинный сигнал, отличающийся тем, что длину волны лазерного излучения модулируют током питания заданной частоты и амплитуды, амплитуду изменяют по гармоническому закону, продетектированный сигнал раскладывают в спектральный ряд Фурье и ряд по функциям Бесселя, измеряют амплитуду 2n-й (S2n) и 2n+2-й (S2n+2) гармоник спектра или 2n+1-й (S2n+1) и 2n+3-й (S2n+3) гармоник спектра автодинного сигнала, по отношению или , соответственно, вычисляют значение параметра амплитуды фазы токовой модуляции σ, и определяют величину стационарной фазы автодинного сигнала по формуле , наноперемещение отражателя находят по формуле: , где ω0 - частота лазерного излучения, c - скорость света, J2n, J2n+2, J2n+1 и J2n+3 – функции Бесселя.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017113410A RU2658112C1 (ru) | 2017-04-18 | 2017-04-18 | Способ измерения наноперемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017113410A RU2658112C1 (ru) | 2017-04-18 | 2017-04-18 | Способ измерения наноперемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2658112C1 true RU2658112C1 (ru) | 2018-06-19 |
Family
ID=62620062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017113410A RU2658112C1 (ru) | 2017-04-18 | 2017-04-18 | Способ измерения наноперемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2658112C1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2738876C1 (ru) * | 2020-06-01 | 2020-12-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" | Способ измерения абсолютного расстояния |
CN116973877A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-10-31 | 南京楚航科技有限公司 | 一种毫米波雷达形变测量方法、系统及测量真值标定方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6233045B1 (en) * | 1998-05-18 | 2001-05-15 | Light Works Llc | Self-mixing sensor apparatus and method |
RU2300085C1 (ru) * | 2005-11-09 | 2007-05-27 | ГОУ ВПО "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" | Способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала |
RU2520945C1 (ru) * | 2013-02-01 | 2014-06-27 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" | Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина |
-
2017
- 2017-04-18 RU RU2017113410A patent/RU2658112C1/ru active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6233045B1 (en) * | 1998-05-18 | 2001-05-15 | Light Works Llc | Self-mixing sensor apparatus and method |
RU2300085C1 (ru) * | 2005-11-09 | 2007-05-27 | ГОУ ВПО "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" | Способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала |
RU2520945C1 (ru) * | 2013-02-01 | 2014-06-27 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" | Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Д.А.Усанов и др. "АВТОДИННАЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЯ РАССТОЯНИЯ ПРИ МОДУЛЯЦИИ ДЛИНЫ ВОЛНЫ ИЗЛУЧЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЛАЗЕРА" Изв.Сарат. ун-та. Нов сер. Сер. Физика. Т.15, вып.3, 2015г. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2738876C1 (ru) * | 2020-06-01 | 2020-12-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" | Способ измерения абсолютного расстояния |
CN116973877A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-10-31 | 南京楚航科技有限公司 | 一种毫米波雷达形变测量方法、系统及测量真值标定方法 |
CN116973877B (zh) * | 2023-09-22 | 2023-12-12 | 南京楚航科技有限公司 | 一种毫米波雷达形变测量方法、系统及测量真值标定方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110068699B (zh) | 一种基于涡旋光倍频变换的物体复合运动探测装置 | |
CN109724541B (zh) | 基于涡旋光的旋转物体转轴倾斜角检测装置 | |
CN108174503B (zh) | 激光等离子体电子密度测量方法 | |
CN108871640B (zh) | 基于瞬态光栅激光超声表面波的残余应力无损检测系统和方法 | |
CN111458011B (zh) | 一种基于涡旋光的恒定转速旋转物体微振动探测装置 | |
CN106247954B (zh) | 一种基于变频干涉原理的飞秒激光测长装置及方法 | |
CN112526544A (zh) | 基于光学频率梳干涉测量法进行三维成像的装置及方法 | |
CN103154720B (zh) | 金属组织以及材质的测量装置及测量方法 | |
RU2658112C1 (ru) | Способ измерения наноперемещений | |
Zhang et al. | Broad range and high precision self-mixing interferometer based on spectral analysis with multiple reflections | |
CN110617890A (zh) | 一种具有强抗干扰能力的频域f-p型测速系统及其测速方法 | |
CN106198729B (zh) | 一种声板波自聚焦光干涉扫描探测系统 | |
CN103674487A (zh) | 一种激光陀螺超光滑反射镜背向散射测量装置及方法 | |
EP2679984A1 (en) | Method and arrangement for carrying out time-domain measurements | |
CN113639848B (zh) | 具有多点同步测振的高性能扫频光学相干测振仪及方法 | |
Teleshevskii et al. | A heterodyne laser interferometer with digital phase conversion | |
LI JH et al. | Y, et al. Research progress of the laser vibration measurement techniques for acoustic-to-seismic coupling landmine detection | |
RU2629651C1 (ru) | Способ определения расстояния до объекта | |
RU2247395C1 (ru) | Способ измерения скорости движения объекта | |
Kosinskii et al. | Heterodyne laser interferometric techniques based on Fresnel diffraction | |
RU2675076C1 (ru) | Способ измерения частотных характеристик механических конструкций оптическим методом | |
RU2738876C1 (ru) | Способ измерения абсолютного расстояния | |
Usanov et al. | Laser autodyne registration of nanodisplacements under laser wavelength modulation | |
WO2004003526A1 (en) | Heterodyne laser interferometer using heterogeneous mode helium-neon laser and super heterodyne phase measuring method | |
Li et al. | Real-time micro-vibration measurement with laser phase modulation |