RU2520945C1 - Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина - Google Patents

Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина Download PDF

Info

Publication number
RU2520945C1
RU2520945C1 RU2013104276/28A RU2013104276A RU2520945C1 RU 2520945 C1 RU2520945 C1 RU 2520945C1 RU 2013104276/28 A RU2013104276/28 A RU 2013104276/28A RU 2013104276 A RU2013104276 A RU 2013104276A RU 2520945 C1 RU2520945 C1 RU 2520945C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
frequency
amplitude
signal
autodyne
spectrum
Prior art date
Application number
RU2013104276/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Дмитрий Александрович Усанов
Анатолий Владимирович Скрипаль
Елисей Игоревич Астахов
Original Assignee
Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского" filed Critical Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Саратовский Государственный Университет Имени Н.Г. Чернышевского"
Priority to RU2013104276/28A priority Critical patent/RU2520945C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2520945C1 publication Critical patent/RU2520945C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

Использование: для определения амплитуды нановибраций. Сущность изобретения заключается в том, что освещают вибрирующий на частоте Ω объект лазерным излучением, преобразуют отраженное от объекта излучение в электрический автодинный сигнал, раскладывают сигнал в спектральный ряд, при этом лазерное излучение частотой ω0 модулируют с частотой Ω, равной частоте колебаний объекта, добиваются совпадения начальных фаз колебаний объекта и частотной модуляции лазера, измеряют амплитуду второй C2 и четвертой C4 гармоник спектра автодинного сигнала, по зависимости С2/С4(σ) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σ, затем модулированным лазерным излучением освещают невибрирующий объект, измеряют значение амплитуд второй C2cal и четвертой C4cal гармоник спектра отраженного автодинного сигнала, по зависимости C2cal/C4cal(σM) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σM, амлитуду нановибраций ξ находят по определенному математическому выражению. Технический результат: повышение точности при определении амплитуды нановибраций. 9 ил.

Description

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, может быть использовано для определения амплитуд нановибраций объектов в диапазоне измеряемой величины от десятков до ста нанометров и может найти широкое применение в точном машиностроении и электронной технике.
Известен способ измерения амплитуд вибраций, сущностью которого является получение поля интерференции опорного и измерительного пучков когерентного излучения. Способ заключается в том, что после получения поля интерференции смещают частоту излучения одного из пучков относительно другого на величину, меньшую ω/2, где ω - частота вибрации контролируемого объекта, получают сигнал, пропорциональный яркости поля интерференции, производят фильтрацию сигнала и по его характеру судят об амплитуде вибрации. При фильтрации сигнала в нем оставляют гармонические составляющие с частотами, входящими в интервал nω±Δ, где n=1, 2, 3,..., a Δ<ω, измеряют размах сигнала до и после фильтрации и определяют по формуле амплитуду вибрации (см. патент на изобретение №2217707, МПК G01H 9/00).
Недостатками известного способа являются сложная техническая реализация, необходимость измерения яркости полей интерференции, необходимость изменять частоту излучения одного из световых пучков и контролировать ее.
Также известен способ определения амплитуды колебаний объекта по соотношению четных или нечетных гармоник спектрального ряда автодинного сигнала (Усанов Д.А., Скрипаль Ал.В., Скрипаль Ан.В. Физика полупроводниковых радиочастотных и оптических автодинов. Издательство Саратовского университета, Саратов, 2003 г., 312 с.).
Однако данный способ не применим для измерения амплитуд нановибраций, так как в спектре автодинного сигнала при нановибрациях четко различимы лишь одна или две гармоники.
Наиболее близким является способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала (патент на изобретение №2300085). Способ заключается в облучении лазерным излучением объекта, преобразовании отраженного от него излучения в электрический сигнал, разложении сигнала в спектральный ряд и измерении амплитуды выбранных гармоник, в спектральном ряде выбирают две соседние гармоники, амплитуду вибрации объекта определяют из соотношения
Figure 00000001
где ξ - амплитуда вибраций объекта, λ - длина волны лазерного излучения, n - целое число, Jn - функция Бесселя n-го порядка, cn - спектральная составляющая ряда Фурье на частоте n⋅ν, ν - частота вибраций объекта (Патент на изобретение РФ №2300085. Способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала /Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Камышанский А.С. Опубл. 27.05.2007. Бюл. №15. Заявка №2005134749 от 9 ноября 2005 г. Патентообладатель - СГУ.).
Недостатком данного способа является высокая погрешность измерений.
Задача настоящего способа заключается в определении амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина для повышения точности измерений.
Технический результат заключается в значительном повышении чувствительности и точности измерения амплитуды нановибраций объекта.
Поставленная задача решается за счет того, что освещают вибрирующий на частоте Ω объект лазерным излучением, преобразуют отраженное от объекта излучение в электрический автодинный сигнал, раскладывают сигнал в спектральный ряд, согласно решению лазерное излучение частотой ω0 модулируют с частотой Ω, равной частоте колебаний объекта, добиваются совпадения начальных фаз колебаний объекта и частотной модуляции лазера, измеряют амплитуду второй C2 и четвертой C4 гармоник спектра автодинного сигнала, по зависимости С2/С4(σ) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σ, затем модулированным лазерным излучением освещают невибрирующий объект, измеряют значение амплитуд второй C2cal и четвертой C4cal гармоник спектра отраженного автодинного сигнала, по зависимости C2cal/C4cal(σM) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σM, амлитуду нановибраций ξ находят по формуле
Figure 00000002
, где с - скорость света в вакууме.
Изобретение поясняется чертежами. На фиг. 1, 2 представлены симулированный в математическом пакетме MathCad 14 частотномодулированный автодинный сигнал и его спектр при колебаниях отржателя с амптитудой
Figure 00000003
нм. В спектре автодинного сигнала, изображенном на фиг. 2, наблюдается четыре гармоники, амплитуды которых составляют
Figure 00000004
=6.44;
Figure 00000005
=0.14;
Figure 00000006
=0.31;
Figure 00000007
=0.11. На фиг. 3, 4 представлены симулированный в математическом пакетме MathCad 14 частотномодулированный автодинный сигнал и его спектр при неподвижном отражателе. В спектре автодинного сигнала на фиг. 4 наблюдается четыре гармоники, амплитуды которых составляют
Figure 00000004
=5.74,
Figure 00000005
=0.27,
Figure 00000006
=0.18,
Figure 00000007
=0.03. На фиг. 5 представлена схема экспериментальной установки: 1 - полупроводниковый лазер, 2 - блок управления током питания, 3 - генератор сигналов на базе платформы NI ELVIS, 4 - усилитель сигнала, 5 - пьезокерамическая пластинка, 6 - объект, 7 - фотодетектор, 8 - фильтр переменного сигнала, 9 - АЦП, 10 - компьютер. На фиг. 6 представлен экспериментальный автодинный сигнал при колебаниях отражателя с амплитудой
Figure 00000008
. На фиг. 7. представлен его спектр. На Фиг. 8 - экспериментальный частотномодулированный автодинный сигнал при колебниях отражателя с амплитудой
Figure 00000009
, на фиг. 9 - его спектр.
Теоретическое обоснование способа.
Для определения амплитуды нановибраций объекта по спектру частотномодулированного автодинного сигнала используют следующие теоретические предпосылки.
В атодинной системе в режиме стационарной генерации, когда изменения в системе происходят за времена, значительно превышающие период колебаний электромагнитного излучения, мощность излучения полупроводникового лазера может быть определена в результате использования малосигнального анализа скоростных уравнений (для комплексного электрического поля с запаздывающим аргументом и концентрации носителей заряда) и записана в виде зависимости от тока накачки (амплитудная составляющая) и фазового набега (фазовая составляющая) (Усанов Д.А., Скрипаль Ал.В., Скрипаль Ан.В. Физика полупроводниковых радиочастотных и оптических автодинов. - Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2003. 312 с.):
Figure 00000010
 (1)
где
Figure 00000011
и
Figure 00000012
- амплитудные составляющие мощности излучения полупроводникового лазера,
Figure 00000013
- фазовый набег в системе с внешним отражателем,
Figure 00000014
- время обхода лазерным излучением расстояния до внешнего отражателя,
Figure 00000015
- частота излучения полупроводникового лазера, зависящая от плотности тока накачки
Figure 00000016
и уровня обратной связи. В предположении слабой обратной связи зависимость частоты излучения полупроводникового лазера с внешней оптической обратной связью от частоты уединенного лазера носит линейный характер.
При использовании токовой модуляции частоты излучения полупроводникового лазера с частотой модуляции
Figure 00000017
тока питания лазерного диода частота излучения полупроводникового лазера в автодинном режиме определится соотношением:
Figure 00000018
 (2)
где
Figure 00000019
- частота излучения полупроводникового уединенного лазерного диода;
Figure 00000020
- амплитуда отклонения частоты излучения полупроводникового лазерного диода;
Figure 00000021
- частота модуляции тока питания лазерного диода;
Figure 00000022
- начальная фаза.
При движении отражателя по гармоническому закону время обхода лазерным излучением внешнего резонатора изменяется по закону:
Figure 00000023
,		 (3)
где
Figure 00000024
- время обхода лазерным излучением внешнего резонатора с неподвижным отражателем,
Figure 00000025
- амплитудное значение,
Figure 00000026
- начальная фаза,
Figure 00000027
и
Figure 00000028
- амплитуда и частота колебаний отражателя лазерного излучения.
При использовании токовой модуляции частоты излучения полупроводникового лазера будут также изменяться амплитудные составляющие излучения полупроводникового лазера:
Figure 00000029
Figure 00000030
 (4)
С учетом соотношений для амплитудной (4) и фазовой (2), (3) компонент при изменении тока питания лазера соотношение для мощности излучения полупроводникового лазера будет иметь вид:
Figure 00000031
 (5)
Для получения аналитического выражения рассмотрим случай, когда частота модуляции лазерного излучения равна частоте колебаний отражателя
Figure 00000032
и начальные фазы в (5) равны
Figure 00000033
. Как будет показано ниже, эти условия легко реализуются в экспериментальной установке. Выражение (5) примет следующий вид:
Figure 00000034
 (6)
Обозначая за
Figure 00000035
величину
Figure 00000036
, а за
Figure 00000037
величину
Figure 00000038
, выражение для
Figure 00000039
может быть представлено в виде разложения в ряд по функциям Бесселя (Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Авдеев К.С. Определение расстояния до объекта с помощью частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина //Письма в ЖТФ. 2007. Том 33. Вып. 21. С. 72-77.):
Figure 00000040
 (7)
Figure 00000041
Figure 00000042
Figure 00000043
Figure 00000044
Figure 00000045
где
Figure 00000046
,
Figure 00000047
,
Figure 00000048
- функция Бесселя первого рода порядка
Figure 00000049
.
Используя разложение
Figure 00000050
в ряд Фурье:
Figure 00000051
 (8)
Figure 00000052
можно получить следующие выражения для коэффициентов:
Figure 00000053
 (9)
Figure 00000054
 (10)
Figure 00000055
 (11)
Figure 00000056
 (12)
Figure 00000057
 (13)
Figure 00000058
 (14)
Вводя коэффициенты С1, С2, С3, С4, равные по модулю четным и нечетным спектральным составляющим сигнала и определяемые как:
Figure 00000059
 (17)
Figure 00000060
 (18)
можно получить их значения в виде:
Figure 00000061
 (19)
Figure 00000062
 (20)
Figure 00000063
 (21)
Figure 00000064
 (22)
Соотношения (19) - (22) представляют собой связь спектральных составляющих частотномодулированного автодинного сигнала с функциями Бесселя первого рода.
Для определения амплитуды нановибраций
Figure 00000027
, входящей в параметр
Figure 00000065
, используем отношение второй и четвертой гармоник:
Figure 00000066
 (23)
Решение полученного уравнения (23) относительно неизвестного параметра
Figure 00000067
 (24)
требует знания параметров токовой модуляции лазерного автодина, в частности амплитуды отклонения частоты
Figure 00000068
.
Численное моделирование с использованием предложенного метода применительно к частотномодулированному полупроводниковому лазерному автодину проводилось при следующих параметрах: длина волны лазерного излучения
Figure 00000069
нм, амплитуда отклонения частоты излучения полупроводникового лазерного диода
Figure 00000070
рад/с, частота колебаний отражателя и частота модуляции тока питания лазерного диода
Figure 00000071
Гц, амплитуда колебаний отражателя
Figure 00000072
нм. С учетом параметров используемого в экспериментальной установке лазерного автодина выберем следующие значения отношения параметров
Figure 00000073
и
Figure 00000074
:
Figure 00000075
.
На фиг. 1 в качестве примера приведена зависимость мощности излучения частотномодулированного лазерного диода от времени, а на фиг. 2 - соответствующий ей спектр при колебаниях отражателя с амплитудой
Figure 00000076
нм.
Как следует из фиг. 2, в спектре автодинного сигнала наблюдается четыре гармоники, амплитуды которых составляют
Figure 00000004
=6.44;
Figure 00000005
=0.14;
Figure 00000006
=0.31;
Figure 00000007
=0.11.
Для определения параметров токовой модуляции лазерного автодина по спектру автодинного сигнала из отношения второй и четвертой гармоник с использованием соотношений (23) вычисляется значение
Figure 00000077
:
Figure 00000078
 (25)
На фиг. 3 изображен калибровочный частотномодулированный автодинный сигнал при неподвижном отражателе. На фиг. 4 представлен его спектр.
В спектре автодинного сигнала (фиг. 4) наблюдается четыре гармоники, амплитуды которых составляют
Figure 00000004
=5.74,
Figure 00000005
=0.27,
Figure 00000006
=0.18,
Figure 00000007
=0.03. Решение уравнения (23) позволяет определить значение калибровочной величины
Figure 00000079
.
Для определения амплитуды нановибраций необходимо рассчитать аргумент функции Бесселя первого рода σ из соотношения (23), используя отношение второй к четвертой спектральных гармоник частотномодулированного автодинного сигнала при колебаниях отражателя.
Принимая во внимание, что
Figure 00000080
и
Figure 00000081
, получаем соотношение для определения амплитуды нановибраций:
Figure 00000082
 (26)
Для определения погрешности математического моделирования в исходный сигнал вводилась 10% случайная ошибка с помощью функции rnd в математическом пакете Mathcad 14. Вычисленная по формуле (25) величина амплитуды нановибрации совпала с заданным при постановке задачи значением. Погрешность определения амплитуды нановибраций составила 2,9%. При задании 5% случайной ошибки погрешность составила 1,6%.
Способ реализуется следующим образом.
Схема экспериментальной установки представлена на фиг. 5. Освещают объект 6, закрепленный на пьезокерамической пластинке 5, излучением от полупроводникового лазера 1, длина волны излучения лазера модулируется посредством гармонического изменения тока питания лазера с помощью встроенного в платформу NI ELVIS генератора сигналов 3, изменение тока питания лазерного диода осуществляется путем изменения напряжения питания, подаваемого на блок управления током питания 2, колебания пьезокерамической пластинки вобуждаются путем подачи на усилитель сигнала - 4 переменного напряжения с генератора - 3, частота и начальная фаза колебаний пьезокерамической пластинки синхронизируются с частотой и начальной фазой модуляции длины волны лазерного излучения, с помощью программного обеспечения к платформе NI ELVIS, преобразуют отраженное от вибрирующего объекта излучение в электрический сигнал с помощью фотодетектора 7, через фильтр переменного сигнала 8, аналого-цифровой преобразователь 9, подают сигнал на компьютер 10 и раскладывают в спектральный ряд, измеряют амплитуду второй C2 и четвертой C4 гармоник спектра автодинного сигнала, по зависимости С2/С4(σ) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σ, затем модулированным лазерным излучением освещают невибрирующий объект, измеряют значение амплитуд второй C2cal и четвертой C4cal гармоник спектра отраженного автодинного сигнала, по зависимости C2cal/C4cal(σM) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σM, амлитуду нановибраций ξ находят по формуле
Figure 00000002
, где с - скорость света в вакууме.
Практическая реализация способа осуществлялась следующим образом.
Длина волны излучения полупроводникового лазера модулировалась посредством гармонического изменения тока питания лазера с помощью встроенного в платформу NI ELVIS генератора сигналов. Эффективная модуляция тока питания лазерного диода наблюдалась при амплитуде модулирующего сигнала 20 мВ. Колебания пьезокерамической пластинки осуществлялись путем подачи на усилитель сигнала переменного напряжения с встроенного в платформу NI ELVIS генератора сигналов, амплитудой 20 мВ и 10 мВ, что соответствовало колебаниям пластинки с амплитудой около 60 нм и 30 нм, соответсвенно. Частота и начальная фаза колебаний пьезокерамической пластинки синхронизировались с частотой и начальной фазой модуляции длины волны лазерного излучения, с помощью программного обеспечения к платформе NI ELVIS. Предложенная схема колебаний пьезокерамической пластинки может быть использована для определения собственных частот и соответствующих им амплитуд колебаний исследуемой структуры.
При проведении измерений в пьезокерамической пластинке возбуждались с помощью генератора с частотой
Figure 00000083
Гц колебания с амплитудой, равной
Figure 00000084
, измеренной независимым методом.
На фиг. 6, представлен автодинный сигнал без токовой модуляции при колебании отражателя с амплитудой
Figure 00000085
В спектре сигнала (фиг.7) присутствовала только первая и вторая гармоники, что не достаточно для измерения амплитуды вибрации без калибровки автодинного сигнала.
Для калибровки автодинного сигнала полупроводникового лазерного автодина подавалось модулирующее напряжение величиной 20 мВ и частотой 500 Гц. Измеренный автодинный сигнал и спектр частотномодулированного лазерного автодина приведены на фиг. 8 и фиг. 9 соответственно. Вычисленное значение по нескольким измерениям
Figure 00000086
при неподвижном отражателе составило
Figure 00000087
Зная величину σ и
Figure 00000086
, определяем амплитуду колебаний отражателя из соотношения
Figure 00000088
  
Измеренное значение амплитуды колебаний отражателя в эксперименте составило
Figure 00000089
. Среднеквадратичное отклонение составило
Figure 00000090
.
При проведении измерений амплитуды колебаний пьезокерамики с уменьшенной в 2 раза величиной подаваемого на нее напряжения измеренная величина амплитуды колебаний составила
Figure 00000091
. Среднеквадратичное отклонение составило
Figure 00000092
.

Claims (1)

  1. Способ измерения амплитуды нановибраций объекта, заключающийся в том, что освещают вибрирующий на частоте Ω объект лазерным излучением, преобразуют отраженное от объекта излучение в электрический автодинный сигнал, раскладывают сигнал в спектральный ряд, отличающийся тем, что лазерное излучение частотой ω0 модулируют с частотой Ω, равной частоте колебаний объекта, добиваются совпадения начальных фаз колебаний объекта и частотной модуляции лазера, измеряют амплитуду второй C2 и четвертой C4 гармоник спектра автодинного сигнала, по зависимости С2/С4(σ) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σ, затем модулированным лазерным излучением освещают невибрирующий объект, измеряют значение амплитуд второй C2cal и четвертой C4cal гармоник спектра отраженного автодинного сигнала, по зависимости C2cal/C4cal(σM) вычисляют значение аргумента функции Бесселя первого рода σM, амлитуду нановибраций ξ находят по формуле
    Figure 00000002
    , где с - скорость света в вакууме.
RU2013104276/28A 2013-02-01 2013-02-01 Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина RU2520945C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013104276/28A RU2520945C1 (ru) 2013-02-01 2013-02-01 Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013104276/28A RU2520945C1 (ru) 2013-02-01 2013-02-01 Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2520945C1 true RU2520945C1 (ru) 2014-06-27

Family

ID=51218055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013104276/28A RU2520945C1 (ru) 2013-02-01 2013-02-01 Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2520945C1 (ru)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2642517C2 (ru) * 2016-04-05 2018-01-25 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Морской гидрофизический институт РАН" Способ дистанционного определения амплитуды вибрации
RU2658112C1 (ru) * 2017-04-18 2018-06-19 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" Способ измерения наноперемещений
RU2662494C1 (ru) * 2017-09-29 2018-07-26 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Дельта" Способ защиты радиовзрывателя на основе автодина от радиопомех
RU2685593C1 (ru) * 2018-09-20 2019-04-22 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Дельта" Способ защиты радиовзрывателя снаряда от радиопомех
RU2710098C1 (ru) * 2019-02-21 2019-12-24 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Федеральный исследовательский центр "Морской гидрофизический институт РАН" (ФГБУН ФИЦ МГИ) Способ дистанционного определения амплитуды вибрации
RU2738876C1 (ru) * 2020-06-01 2020-12-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" Способ измерения абсолютного расстояния

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2097710C1 (ru) * 1994-08-05 1997-11-27 Саратовский государственный университет им.Н.Г.Чернышевского Способ исследования колебаний
RU2098776C1 (ru) * 1995-08-23 1997-12-10 Саратовский государственный университет им.Н.Г.Чернышевского Способ исследования периодических колебаний
RU2258462C1 (ru) * 2004-02-10 2005-08-20 Саратовский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского Способ измерения амплитуды колебаний барабанной перепонки
RU2300085C1 (ru) * 2005-11-09 2007-05-27 ГОУ ВПО "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" Способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала
JP2010078393A (ja) * 2008-09-25 2010-04-08 Yamatake Corp 振動振幅計測装置および振動振幅計測方法
JP2010203860A (ja) * 2009-03-02 2010-09-16 Optical Comb Inc 振動計測装置及び振動計測方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2097710C1 (ru) * 1994-08-05 1997-11-27 Саратовский государственный университет им.Н.Г.Чернышевского Способ исследования колебаний
RU2098776C1 (ru) * 1995-08-23 1997-12-10 Саратовский государственный университет им.Н.Г.Чернышевского Способ исследования периодических колебаний
RU2258462C1 (ru) * 2004-02-10 2005-08-20 Саратовский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского Способ измерения амплитуды колебаний барабанной перепонки
RU2300085C1 (ru) * 2005-11-09 2007-05-27 ГОУ ВПО "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" Способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала
JP2010078393A (ja) * 2008-09-25 2010-04-08 Yamatake Corp 振動振幅計測装置および振動振幅計測方法
JP2010203860A (ja) * 2009-03-02 2010-09-16 Optical Comb Inc 振動計測装置及び振動計測方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2642517C2 (ru) * 2016-04-05 2018-01-25 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Морской гидрофизический институт РАН" Способ дистанционного определения амплитуды вибрации
RU2658112C1 (ru) * 2017-04-18 2018-06-19 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" Способ измерения наноперемещений
RU2662494C1 (ru) * 2017-09-29 2018-07-26 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Дельта" Способ защиты радиовзрывателя на основе автодина от радиопомех
RU2685593C1 (ru) * 2018-09-20 2019-04-22 Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Дельта" Способ защиты радиовзрывателя снаряда от радиопомех
RU2710098C1 (ru) * 2019-02-21 2019-12-24 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Федеральный исследовательский центр "Морской гидрофизический институт РАН" (ФГБУН ФИЦ МГИ) Способ дистанционного определения амплитуды вибрации
RU2738876C1 (ru) * 2020-06-01 2020-12-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" Способ измерения абсолютного расстояния

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2520945C1 (ru) Способ определения амплитуды нановибраций по спектру частотномодулированного полупроводникового лазерного автодина
WO2014106940A1 (ja) ガス吸収分光装置及びガス吸収分光方法
US10009114B2 (en) Method and system for controlling phase of a signal
US20180278456A1 (en) Method and system for controlling phase of a signal
US11255969B2 (en) Measurement apparatus and measurement method
CN108775954A (zh) 一种分辨率可调的双波长ld自混合振动测量仪及其测量方法
Norgia et al. Frequency compensation for a self-mixing interferometer
RU2300085C1 (ru) Способ определения амплитуды вибрации по двум гармоникам спектра автодинного сигнала
WO2016087450A2 (en) Spectroscopic apparatus and method
JP2018059789A (ja) 距離測定装置及び距離測定方法
CN108007307B (zh) 一种光纤的测量方法以及测量装置
RU143081U1 (ru) Квантовый стандарт частоты оптического и свч диапазонов
JP2022103369A (ja) 光周波数計測装置
Usanov et al. Measurements of the nanovibration amplitude by a frequency-modulated laser autodyne
RU2629651C1 (ru) Способ определения расстояния до объекта
Kumar et al. Measurement of the hyperfine splitting of the 9 S1/2 level in Cesium by Doppler-free two-photon spectroscopy
JP2007155660A (ja) 光波距離計
RU2507487C2 (ru) Способ определения амплитуды нановибраций по сигналу лазерного автодина
Usanov et al. Autodyne interferometry for range-finding under laser radiation wavelength modulation
RU2247395C1 (ru) Способ измерения скорости движения объекта
CN108037143B (zh) 一种气体折射率的测量方法和装置
RU2738876C1 (ru) Способ измерения абсолютного расстояния
Usanov et al. Determining distances to objects using a frequency-switched semiconductor laser autodyne
Li et al. Real-time micro-vibration measurement with laser phase modulation
Thiel et al. Absolute measurement of quantum-limited interferometric displacements

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170202