JP7291385B2 - 光学的測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Description
(2) 前記光路調整光学系は、前記プローブ光を対象物に照射しない光を第1の信号光として出力する第1の状態と、前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を第2の信号光として出力する第2の状態との2つの状態の光路を切換可能とし、第1の信号光又は第2の信号光を、前記位相ダイバーシティ検出器に出力する光路切換器を備え、前記演算処理部は、第1の状態では、前記参照光と前記第1の信号光を前記位相ダイバーシティ検出器に入力して得られる、第1のビート信号の同相成分と直交成分から、第1のビート信号の位相を求め、前記第1のビート信号の位相から、前記レーザの周波数変調と、距離算出の比例定数を算出する演算を実行し、第2の状態では、前記参照光と前記第2の信号光を前記位相ダイバーシティ検出器に入力して得られる、第2のビート信号の同相成分と直交成分から、第2のビート信号の位相と周波数を求め、第2のビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または、前記距離算出の比例定数と前記第2のビート信号の位相から、前記対象物までの距離を算出する演算の、少なくともいずれかを実行すること、を特徴とする、前記(1)記載の光学的測定装置。
(3) 前記光路調整光学系は、前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を信号光として出力して、前記信号光を、前記位相ダイバーシティ検出器に出力する光サーキュレータを備え、前記演算処理部は、前記参照光と前記信号光を前記位相ダイバーシティ検出器に入力して得られる、ビート信号の同相成分と直交成分から、前記ビート信号の位相と周波数を求め、ビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算を実行すること、を特徴とする、前記(1)記載の光学的測定装置。
(4) 前記位相ダイバーシティ検出器は、前記参照光を2分して、一方にπ/2の位相シフトを与え、前記信号光を2分し、2分した前記参照光の一方と、2分した前記信号光の一方を合波して、第1のバランス型光検出器に入力して、前記同相成分を出力し、π/2の位相シフトを与えた前記参照光と、2分した前記信号光の他方を合波して、第2のバランス型光検出器に入力して、前記直交成分を出力することを特徴とする、前記(1)乃至(3)のいずれか1項記載の光学的測定装置。
(5) 前記位相ダイバーシティ検出器は、前記参照光に偏移π/2の矩形波位相変調を与え、前記信号光と合波して、バランス型光検出器に入力し、前記バランス型光検出器の出力を、前記矩形波位相変調の半周期ごとに切り換えて出力し、前記同相成分と前記直交成分を出力することを特徴とする、前記(1)乃至(3)のいずれか1項記載の光学的測定装置。
(6) 前記演算処理部は、ビート信号の周波数の平均値を用いて、前記対象物の運動に起因するドップラーシフト又は速度の少なくともいずれかを求めることを特徴とする、前記(1)乃至(3)のいずれか1項記載の光学的測定装置。
(7) 前記演算処理部は、ビート信号の位相から前記ドップラーシフトの成分を除外した後、絶対値の平均値を求め、前記距離算出の比例定数を基に、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする前記(2)記載の光学的測定装置。
(8) 前記レーザの周波数変調信号は正弦波であることを特徴とする前記(1)乃至(7)のいずれか1項記載の光学的測定装置。
(9) 周波数変調したレーザの出力光を2分して、一方を参照光、他方をプローブ光とし、前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を信号光の少なくとも1つとして出力し、前記参照光と前記信号光との間のビート信号の同相成分と直交成分を検出し、前記同相成分と前記直交成分から、前記ビート信号の位相と周波数を求め、前記ビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または前記ビート信号の位相から対象物までの距離を算出する演算、の少なくともいずれかを実行することを特徴とする光学的測定方法。
(10) 第1の状態と第2の状態を切換可能とし、少なくともいずれかを選択的に実行する方法であり、第1の状態においては、前記プローブ光を対象物に照射しないで既知の遅延を与えて第1の信号光とし、前記参照光と第1の信号光との間の第1のビート信号の同相成分と直交成分から、第1のビート信号の位相を求めて、前記レーザの周波数変調と、距離算出の比例定数を算出する演算を実行し、第2の状態においては、前記プローブ光を対象物に照射し、該対象物からの散乱光を第2の信号光とし、前記参照光と第2の信号光との間の第2のビート信号の同相成分と直交成分から、第2のビート信号の位相と周波数を算出し、第2のビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または第2のビート信号の位相と前記距離算出の比例定数から、前記対象物までの距離を算出する演算の、少なくともいずれかを実行する、ことを特徴とする前記(9)記載の光学的測定方法。
(11) 前記信号光は、前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を信号光として出力し、前記参照光と前記信号光との間のビート信号の同相成分と直交成分を検出し、前記同相成分と前記直交成分から、前記ビート信号の位相と周波数を求め、前記ビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算を実行することを特徴とする、前記(9)記載の光学的測定方法。
(12) 前記ビート信号の周波数の平均値を用いて、前記対象物の運動に起因するドップラーシフト又は速度の少なくともいずれかを求めることを特徴とする、前記(9)乃至(11)のいずれか1項記載の光学的測定方法。
(13) 前記ビート信号の位相から前記ドップラーシフトの成分を除外した後、絶対値の平均値を求め、前記距離算出の比例定数を基に、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする前記(12)記載の光学的測定方法。
本実施形態について、図1と、図2と、図3を参照して説明する。本実施形態では、周波数変調したレーザと、ビームスプリッタと、光路調整光学系と、送受信光学系と、位相ダイバーシティ検出器と、演算処理部とを具備する装置を用いて、レーザの周波数変調と距離算出の比例定数を算出する動作、または対象物までの距離と速度の少なくともいずれか一方を算出する動作を選択的に実行する。
評価例1では、第1例の位相ダイバーシティ検出器を備える光学的測定装置について、精度を評価するシミュレーションを行った。シミュレーションにおいては、実際の測定を模擬するため、(7)式の同相成分12と、(8)式の直交成分13に、半導体レーザ3の周波数雑音を付加した。また、半導体レーザ3の変調信号として、正弦波を用いた。
評価例2では、第2例の位相ダイバーシティ検出器を備える光学的測定装置について、距離測定精度を評価する実験を行った。
2 注入電流源
3 半導体レーザ
4a、4b、4c、4d、4e、4f、4g、4h ビームスプリッタ
5 参照光
6 プローブ光
7 光路調整光学系
8 信号光
9 送受信光学系
10 対象物
11 位相ダイバーシティ検出器
12 同相成分
13 直交成分
14 演算処理部
15 光サーキュレータ
16 可動全反射鏡
17a、17b、17c 全反射鏡
18 π/2位相シフタ
19a、19b、19c、19d バランス型光検出器
20 位相変調器
21 矩形波信号発生器
22 時分割スイッチ
23a、23b 光方向性結合器
24 可変光遅延線
25 デジタルオシロスコープ
26 三角波信号発生器
27 光検出器
28 ビート信号
29 スペクトル解析装置
Claims (9)
- 周波数変調したレーザと、
前記レーザの出力光を2分し、一方を参照光、他方をプローブ光とするビームスプリッタと、
前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を信号光の少なくとも1つとして出力する光路調整光学系と、
前記参照光と前記信号光を入力して、両者の間のビート信号の同相成分と直交成分を出力する位相ダイバーシティ検出器と、
前記同相成分と前記直交成分から、前記ビート信号の位相と周波数を求め、前記ビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または前記ビート信号の位相から前記対象物までの距離を算出する演算の少なくともいずれかを実行する演算処理部と、を備え、
前記光路調整光学系は、前記プローブ光を対象物に照射しない光を第1の信号光として出力する第1の状態と、前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を第2の信号光として出力する第2の状態との2つの状態の光路を切換可能とし、前記第1の信号光又は前記第2の信号光を、前記位相ダイバーシティ検出器に出力する光路切換器を備え、
前記演算処理部は、
前記第1の状態では、前記参照光と前記第1の信号光を前記位相ダイバーシティ検出器に入力して得られる、第1のビート信号の前記同相成分と前記直交成分から、第1のビート信号の位相を求め、前記第1のビート信号の位相から、前記レーザの周波数変調と、距離算出の比例定数を算出する演算を実行し、
前記第2の状態では、前記参照光と前記第2の信号光を前記位相ダイバーシティ検出器に入力して得られる、第2のビート信号の前記同相成分と前記直交成分から、第2のビート信号の位相と周波数を求め、第2のビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または、前記距離算出の比例定数と前記第2のビート信号の位相から、前記対象物までの距離を算出する演算の、少なくともいずれかを実行すること、
を特徴とする光学的測定装置。 - 前記位相ダイバーシティ検出器は、
前記参照光を2分して、一方にπ/2の位相シフトを与え、
前記信号光を2分し、
2分した前記参照光の一方と、2分した前記信号光の一方を合波して、第1のバランス型光検出器に入力して、前記同相成分を出力し、
π/2の位相シフトを与えた前記参照光と、2分した前記信号光の他方を合波して、第2のバランス型光検出器に入力して、前記直交成分を出力することを特徴とする、請求項1記載の光学的測定装置。 - 前記演算処理部は、前記ビート信号の周波数の平均値を用いて、前記対象物の運動に起因するドップラーシフト又は速度の少なくともいずれかを求めることを特徴とする、請求項1記載の光学的測定装置。
- 前記演算処理部は、前記ビート信号の位相から前記対象物の運動に起因するドップラーシフトの成分を除外した後、絶対値の平均値を求め、前記距離算出の比例定数を基に、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする請求項1記載の光学的測定装置。
- 周波数変調したレーザと、
前記レーザの出力光を2分し、一方を参照光、他方をプローブ光とするビームスプリッタと、
前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を信号光の少なくとも1つとして出力する光路調整光学系と、
前記参照光と前記信号光を入力して、両者の間のビート信号の同相成分と直交成分を出力する位相ダイバーシティ検出器と、
前記同相成分と前記直交成分から、前記ビート信号の位相と周波数を求め、前記ビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または前記ビート信号の位相から前記対象物までの距離を算出する演算の少なくともいずれかを実行する演算処理部と、を備え、
前記位相ダイバーシティ検出器は、
前記参照光に偏移π/2の矩形波位相変調を与え、
前記信号光と合波して、バランス型光検出器に入力し、
前記バランス型光検出器の出力を、前記矩形波位相変調の半周期ごとに切り換えて出力し、
前記同相成分と前記直交成分を出力すること、
を特徴とする光学的測定装置。 - 前記レーザの周波数変調信号は正弦波であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の光学的測定装置。
- 周波数変調したレーザの出力光を2分して、一方を参照光、他方をプローブ光とする分光ステップと、
前記プローブ光を対象物に照射しない光を第1の信号光として出力する第1の状態と、前記プローブ光を対象物に照射して該対象物からの散乱光を第2の信号光として出力する第2の状態との2つの状態の光路を切り換え、前記第1の信号光又は前記第2の信号光を出力する切換ステップと、
前記参照光と各信号光との間のビート信号の同相成分と直交成分を検出する検出ステップと、
前記同相成分と前記直交成分から、前記ビート信号の位相と周波数を求め、前記ビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または前記ビート信号の位相から前記対象物までの距離を算出する演算、の少なくともいずれかを実行する演算ステップと、を有し、
前記演算ステップでは、
前記第1の状態において、前記プローブ光を前記対象物に照射しないで既知の遅延を与えて前記第1の信号光とし、前記参照光と前記第1の信号光との間の第1のビート信号の前記同相成分と前記直交成分から、第1のビート信号の位相を求めて、前記レーザの周波数変調と、距離算出の比例定数を算出する演算を実行し、
前記第2の状態において、前記プローブ光を前記対象物に照射し、該対象物からの散乱光を前記第2の信号光とし、前記参照光と前記第2の信号光との間の第2のビート信号の前記同相成分と前記直交成分から、第2のビート信号の位相と周波数を算出し、第2のビート信号の周波数から前記対象物の速度を算出する演算、または第2のビート信号の位相と前記距離算出の比例定数から、前記対象物までの距離を算出する演算の、少なくともいずれかを実行する、
ことを特徴とする光学的測定方法。 - 前記演算ステップでは、
前記ビート信号の周波数の平均値を用いて、前記対象物の運動に起因するドップラーシフト又は速度の少なくともいずれかを求めることを特徴とする、請求項7記載の光学的測定方法。 - 前記演算ステップでは、
前記ビート信号の位相から前記対象物の運動に起因するドップラーシフトの成分を除外した後、絶対値の平均値を求め、前記距離算出の比例定数を基に、前記対象物までの距離を算出することを特徴とする請求項7記載の光学的測定方法。
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