JP7353644B2 - 光学スキャナ装置の校正方法、光学スキャナ装置及び光学式三次元形状測定装置 - Google Patents
光学スキャナ装置の校正方法、光学スキャナ装置及び光学式三次元形状測定装置 Download PDFInfo
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Description
次にZ基準平面を測定するとスキャナ側から見た座標(高さ分布)(Xi,Yj,Zk)とZ基準平面の設置高さ(ZGk)の関係を得る。両者を合成することで共通の(Xi,Yj)を介してスキャナ側から見た座標と校正用基準器の格子点の座標の関係が得られる。
(ΔXi,ΔYj,ΔZk)=(XGi-Xi,YGj-Yj,ZGk-Zk)
全ての格子点について補正量を求めれば格子点における補正データの集合として
ΔXi=XMCAL(Xi,Yj,Zk)
ΔYj=YMCAL(Xi,Yj,Zk)
ΔZk=ZMCAL(Xi,Yj,Zk)
が得られる。このデータには格子点の補正量しか含まれないため、格子点以外の補正量は補間によって求める必要がある。補正データの集合を元にそれぞれをスキャナ側から見たXY座標、および高さZの値、(X,Y,Z)の高次多項式またはその他適切な近似関数でフィットしてその多項式の係数として校正データを保存しておく。フィットされた関数をそれぞれ
ΔXi=XFCAL(X,Y,Z)
ΔYj=YFCAL(X,Y,Z)
ΔZk=ZFCAL(X,Y,Z)
とすれば、スキャナ側から見た任意の座標(XA,YA,ZA)における補正量は内挿によって
ΔXA=XFCAL(XA,YA,ZA)
ΔYA=YFCAL(XA,YA,ZA)
ΔZA=ZFCAL(XA,YA,ZA)
となる。なお通常の使用環境ではスキャナを出るビームは測定対象に向かって一直線に進むのでZに関しては一次式で表されると考えてよい。
ΔXi=XMCAL(Xi,Yj,0)
ΔYj=YMCAL(Xi,Yj,0)
ΔZk=ZMCAL(Xi,Yj,0)
が得られる。ΔZkについては格子点に限定せず、平面のデータ全体を使うことができる。格子点以外の補正量は補間によって求められる。補正データの集合を元にそれぞれをスキャナ側から見たXY座標(X,Y)の高次多項式またはその他適切な関数でフィットしてその多項式の係数として校正データを保存しておく。フィットされた関数をそれぞれ
ΔX=XFCAL(X,Y)
ΔY=YFCAL(X,Y)
ΔZ=ZFCAL(X,Y)
とすれば、スキャナ側から見た任意の座標(XA,YA,ZA)における補正量は内挿によって
ΔXA=XFCAL(XA,YA)
ΔYA=YFCAL(XA,YA)
ΔZA=ZFCAL(XA,YA)
となる。
Claims (6)
- 光コム距離計から測定対象物に照射する測定光を走査することにより、非接触で物体の三次元形状を測定する光学式三次元形状測定装置に備えられる光学スキャナ装置の校正方法であって、
平面度は高いが拡散反射成分を含む基準平面を有し、基準平面上の座標位置が予め校正された校正用基準器を上記基準平面が僅かに傾斜された状態に設置し、
上記光コム距離計から上記校正用基準器の基準平面に照射する測定光を上記光学スキャナ装置により走査して、上記光コム距離計により上記基準平面より反射された測定光の拡散反射成分を用いて上記基準平面の形状測定を行い、
上記光コム距離計により得られる上記基準平面の形状測定結果に基づいて、上記予め校正された基準平面上の座標位置に対する上記形状測定結果に基づく座標位置の誤差を校正データとすることを特徴とする光学スキャナ装置の校正方法。 - 上記校正用基準器の基準平面に照射した測定光による上記基準平面上の走査軌跡が直線から逸脱する場合に、基準に対し正負の上記基準平面の傾け角度において、上記光コム距離計により上記基準平面より反射された測定光の拡散反射成分を用いて上記基準平面の形状測定を行うことを特徴とする請求項1に記載の光学スキャナ装置の校正方法。
- 上記光学スキャナ装置は1次元スキャナであり、
上記光学スキャナ装置により走査された測定光が形成する平面に対し、上記校正用基準器の基準平面が垂直な状態を基準として、上記測定光が形成する平面と上記基準平面が交差する直線を軸として軸周りに上記基準平面を傾斜させた基準に対し正負の上記基準平面の傾け角度において、上記基準平面の形状測定を行うことにより得られる2つの高さ分布の加算平均を取ることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光学スキャナ装置の校正方法。 - 上記光学スキャナ装置は2次元スキャナであり、
上記光学スキャナ装置によりX軸方向に走査された測定光が形成する平面に対し、上記校正用基準器の基準平面が垂直な状態を基準として、上記X軸方向に走査された測定光が形成する平面と上記基準平面が交差する直線を軸として軸周りに上記基準平面を傾斜させた基準に対し正負の上記基準平面の傾け角度において、上記基準平面の形状測定を行うとともに、上記光学スキャナ装置によりY軸方向に走査された測定光が形成する平面に対し、上記校正用基準器の基準平面が垂直な状態を基準として、上記Y軸方向に走査された測定光が形成する平面と上記基準平面が交差する直線を軸として軸周りに上記基準平面を傾斜させた基準に対し正負の上記基準平面の傾け角度において、上記基準平面の形状測定を行って得られる4つの高さ分布の加算平均を取ることを特徴とする請求項1又は請求項2に光学スキャナ装置の校正方法。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載された校正方法により取得された校正データに基づいて、測定対象物に照射する測定光を走査する光学系の群遅延の空間分布を校正する校正処理手段を備えることを特徴とする光学スキャナ装置。
- 請求項5の記載された光学スキャナ装置を備え、
光コム距離計から測定対象物に照射する測定光を上記光学スキャナ装置で走査することにより、上記光コム距離計による測距データとして、上記校正処理手段により上記光学系の群遅延の空間分布が校正された上記測定対象物の三次元形状測定データを取得する
ことを特徴とする光学式三次元形状測定装置。
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