JP2008170279A - 三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008170279A JP2008170279A JP2007003879A JP2007003879A JP2008170279A JP 2008170279 A JP2008170279 A JP 2008170279A JP 2007003879 A JP2007003879 A JP 2007003879A JP 2007003879 A JP2007003879 A JP 2007003879A JP 2008170279 A JP2008170279 A JP 2008170279A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dimensional shape
- unit
- calibration
- phase
- optical pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【解決手段】三次元形状計測システム10は、計測対象に投影された光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する装置であり、光パタンを画像として読み取るためのラインセンサを備えた撮像ユニット15と、計測対象を移動させる移動ユニット11と、移動ユニット11を制御すると共に、ラインセンサにより読み取られた画像を解析することにより、計測対象の三次元形状を計測する画像解析・処理ユニット16とを備える。高さの校正は、複数の平面を段状に有する校正用ターゲット21を計測対象として行われる。画像解析・処理ユニット16は、校正用ターゲット21における或る平面に光パタンを投影させて、投影された光パタンをラインセンサによって画像として読み取り、これを、校正用ターゲット21における別の平面に対しても繰り返す。
【選択図】図1
Description
本発明の一実施形態について図1〜図19に基づいて説明すると以下の通りである。図2は、本発明の一実施形態に係る三次元形状計測システム(三次元形状計測装置)10の概略構成を示す図である。
次に、本発明の別の実施形態について図20〜図26に基づいて説明すると以下の通りである。図20は、本実施形態に係る三次元形状計測システム80の概略構成を示す図である。図20に示す三次元形状計測システム80は、図1に示す三次元形状計測システム10に比べて、校正用ターゲットの構成が異なり、その他の構成は同様である。なお、上記実施形態で説明した構成と同様の機能を有する構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
Δz/Δy=tanα …(13)
となる。従って、上記移動量Δyを種々に設定することにより、上記高さ間隔Δzを種々に設定することができる。
Δz/Δy=tanα×cosβ …(14)
となる。従って、校正用ターゲット81における傾斜面82と底面83との交線が、ラインセンサ34の主走査方向から傾いている場合、その傾きβを取得する必要がある。
11 移動ユニット(移動部)
12 計測対象
14 光パタン
16 画像解析・処理ユニット(画像解析部、校正手段、制御手段)
21・81 校正用ターゲット
34 ラインセンサ
46 記憶部
51 背景除去部(背景除去手段)
54 位相算出部(位相算出手段)
56 パラメータ算出部(パラメータ算出手段)
57 パラメータ選択部(パラメータ選択手段)
58 高さ算出部(高さ算出手段)
59 入力・設定部(設定手段)
63 校正用ターゲットDB(間隔情報)
64 パラメータDB
71 ラインパターン(識別情報、マーク)
82 傾斜面
84 台部
85・87 交線
86 傾斜面
88・89 等高線(マーク)
Claims (21)
- 計測対象に投影された、位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置であって、
上記光パタンを画像として読み取るためのラインセンサと、
上記ラインセンサ及び上記計測対象の少なくとも一方を、上記ラインセンサの主走査方向と異なる副走査方向に移動させる移動部と、
上記ラインセンサが上記光パタンを画像として読み取ることを、上記計測対象全体に対して行うように、上記移動部を制御すると共に、上記ラインセンサにより読み取られた画像を解析することによって、上記計測対象の三次元形状を計測する画像解析部とを備えており、
該画像解析部は、
上記ラインセンサにより読み取られた画像の輝度値を用いて、該画像に含まれる或る画素における光パタンの位相を算出する位相算出手段と、
該位相算出手段が算出した位相に基づいて上記計測対象の高さ情報を算出する高さ算出手段と、
複数の高さを有する校正用ターゲットにおける或る領域に投影された光パタンを上記ラインセンサが読み取るように上記移動部を制御し、これを上記校正用ターゲットにおける別の領域に対しても行うことにより、上記高さ算出手段が上記計測対象の高さ情報を算出するために必要な校正を行う校正手段とを備えることを特徴とする三次元形状計測装置。 - 上記校正用ターゲットは、複数の平面を段状に有するものであり、
上記校正手段は、上記校正用ターゲットにおける或る平面に投影された光パタンを上記ラインセンサが読み取るように上記移動部を制御し、これを上記校正用ターゲットにおける別の平面に対しても行うことにより、上記校正を行うことを特徴とする請求項1に記載の三次元形状計測装置。 - 上記校正用ターゲットは、3つ以上の平面を段状に有しており、
上記画像解析部は、上記校正用ターゲットにおける上記複数の平面の間隔情報を記憶する記憶部をさらに備えており、
上記校正手段は、
上記校正用ターゲットにおける或る平面に上記光パタンが投影されるように上記移動部を制御し、これを上記校正用ターゲットにおける少なくとも3つの平面に対して行う制御手段と、
上記光パタンが投影された少なくとも3つの平面に関して、上記位相算出手段が算出した位相同士の差である位相差と、上記記憶部が記憶する間隔情報とに基づいて、上記高さ算出手段が上記計測対象の高さ情報を算出するために必要なパラメータを算出するパラメータ算出手段とを備えることを特徴とする請求項2に記載の三次元形状計測装置。 - 上記校正用ターゲットにおける各平面の段差は一定であり、
上記記憶部が記憶する上記複数の平面の間隔情報は、上記段差の情報であることを特徴とする請求項3に記載の三次元形状計測装置。 - 上記画像解析部は、上記校正用ターゲットにおける上記複数の平面のそれぞれと、上記計測対象の三次元形状を計測する上での基準となる平面である基準面との間隔情報を記憶する記憶部をさらに備えており、
上記校正手段は、上記校正用ターゲットにおける或る平面に上記光パタンが投影されるように上記移動部を制御し、これを上記校正用ターゲットにおける少なくとも2つの平面に対して行い、さらに、上記基準面に上記光パタンが投影されるように上記移動部を制御する制御手段と、
上記光パタンが投影された少なくとも2つの平面および基準面に関して、上記位相算出手段が算出した位相同士の差である位相差と、上記記憶部が記憶する間隔情報とに基づいて、上記高さ算出手段が上記計測対象の高さ情報を算出するために必要なパラメータを算出するパラメータ算出手段とを備えることを特徴とする請求項2に記載の三次元形状計測装置。 - 上記パラメータ算出手段は、算出したパラメータを、該パラメータを算出するために利用した上記校正用ターゲットの平面と上記基準面とに関する位相差に対応付けて上記記憶部に記憶しており、
上記高さ算出手段は、上記記憶部が記憶するパラメータの中から、上記位相算出手段が算出した位相と上記基準面の位相との位相差に対応する上記パラメータを選択するパラメータ選択手段を備えることを特徴とする請求項5に記載の三次元形状計測装置。 - 上記画像解析部は、上記間隔情報を設定して記憶部に記憶させる設定手段をさらに備えることを特徴とする請求項3または5に記載の三次元形状計測装置。
- 上記記憶部は、上記校正用ターゲットにおける上記複数の平面を識別するための識別情報をさらに記憶しており、
上記パラメータ算出手段は、上記識別情報に基づいて、上記光パタンが投影された平面を特定し、上記特定した平面に関する間隔情報を上記記憶部から読み出すことを特徴とする請求項3または5に記載の三次元形状計測装置。 - 上記識別情報は、上記校正用ターゲットの各平面に施されたマークであり、
上記パラメータ算出手段は、上記ラインセンサにより読み取られた画像から上記識別情報を取得することを特徴とする請求項8に記載の三次元形状計測装置。 - 上記識別情報は、上記校正用ターゲットの各平面に一様に施された色の輝度であり、
上記パラメータ算出手段は、上記ラインセンサにより読み取られた画像の輝度情報から上記識別情報を取得することを特徴とする請求項8に記載の三次元形状計測装置。 - 上記校正用ターゲットは、底面に対し傾斜した平面である傾斜面を有するものであり、
上記校正手段は、上記傾斜面における或る領域に投影された光パタンを上記ラインセンサが読み取るように上記移動部を制御し、これを上記傾斜面における別の領域に対しても行うことにより、上記校正を行うことを特徴とする請求項1に記載の三次元形状計測装置。 - 上記校正用ターゲットは、上記傾斜面と交わる他の平面を有しており、
上記校正手段は、
上記位相算出手段が算出した位相の副走査方向に対する傾きが、一定、増加、および減少の何れか1つから他の1つに変化する変化点を検出することにより、上記傾斜面と上記他の平面との交線を特定し、
特定した交線の方向の主走査方向に対する傾きを算出し、
算出した傾きに基づいて、上記ラインセンサが読み取った画像を補正することを特徴とする請求項11に記載の三次元形状計測装置。 - 上記校正用ターゲットは、上記傾斜面と異なる他の傾斜面をさらに有しており、各傾斜面には、所定の高さにマークが施されており、
上記校正手段は、
上記ラインセンサにより読み取られた画像から各傾斜面の上記マークを特定し、
特定したマークであって、副走査方向に並ぶ各傾斜面のマークに関して、上記位相算出手段が算出した上記マークの位置の位相を利用して、該位相の誤差を補正することを特徴とする請求項11に記載の三次元形状計測装置。 - 上記パラメータ算出手段は、算出したパラメータを、上記位相算出手段が上記光パタンの位相を算出した画素の主走査方向における位置に対応付けて上記記憶部に記憶しており、
上記高さ算出手段は、上記記憶部が記憶するパラメータの中から、上記位置に対応する上記パラメータを選択するパラメータ選択手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の三次元形状計測装置。 - 上記画像解析部は、上記光パタンを含む画像から、上記光パタン以外の背景成分を除去する背景除去手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の三次元形状計測装置。
- 請求項1ないし15の何れか1項に記載の三次元形状計測装置に備えられている校正用ターゲット。
- 上記光パタンの照射される表面は、光を拡散反射させるように処理されていることを特徴とする請求項16に記載の校正用ターゲット。
- 底面に平行な平面を少なくとも1つ有し、該平面は、模様が施されているか、或いは、反射率が一様であることを特徴とする請求項16に記載の校正用ターゲット。
- 請求項1から15の何れか1項に記載の三次元形状計測装置を動作させるためのプログラムであって、コンピュータを上記各手段として機能させるためのプログラム。
- 請求項19に記載のプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 計測対象に投影された、位置に応じて周期的に輝度が変化する光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置であって、上記光パタンを画像として読み取るためのラインセンサと、上記ラインセンサ及び上記計測対象の少なくとも一方を、上記ラインセンサの主走査方向と異なる副走査方向に移動させる移動部と、上記ラインセンサが上記光パタンを画像として読み取ることを、上記計測対象全体に対して行うように、上記移動部を制御すると共に、上記ラインセンサにより読み取られた画像を解析することによって、上記計測対象の三次元形状を計測する画像解析部とを備える三次元形状計測装置において、上記計測対象の高さ情報を算出するために必要な校正を行う校正方法であって、
上記計測対象として、複数の高さを有する校正用ターゲットにおける或る領域に上記光パタンを投影するように上記移動部を制御する移動制御工程と、
上記領域に投影された光パタンをラインセンサによって画像として読み取る光パタン読取工程と、
上記移動制御工程および上記光パタン読取工程を、上記校正用ターゲットにおける別の領域に対しても繰り返す繰返工程とを含むことを特徴とする三次元形状計測装置の校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003879A JP4924042B2 (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003879A JP4924042B2 (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008170279A true JP2008170279A (ja) | 2008-07-24 |
JP4924042B2 JP4924042B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=39698518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007003879A Active JP4924042B2 (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4924042B2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010281621A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Seiko Epson Corp | 三次元形状計測装置 |
CN104390598A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-03-04 | 北京中天荣泰科技发展有限公司 | 一种基于机器视觉的异面直线测量方法 |
CN104655050A (zh) * | 2013-11-18 | 2015-05-27 | 精工爱普生株式会社 | 校准方法以及形状测定装置 |
JP2016109461A (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-20 | リコーエレメックス株式会社 | 較正システム、反射部材、および検査システム |
ITUA20164582A1 (it) * | 2016-06-22 | 2017-12-22 | Gd Spa | Unità di trasferimento ed ispezione di un gruppo di elementi allungati. |
ITUA20164585A1 (it) * | 2016-06-22 | 2017-12-22 | Gd Spa | Unità di trasferimento ed ispezione di un gruppo di elementi allungati. |
WO2017221126A3 (en) * | 2016-06-22 | 2018-02-15 | G.D. S.P.A. | A transferring and inspecting unit of a group of elongated elements |
CN108844469A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-11-20 | 电子科技大学 | 一种基于激光测试工件台阶高度的方法及系统 |
CN110490833A (zh) * | 2018-05-09 | 2019-11-22 | 北京中航安通科技有限公司 | 一种目标物体的体积测量方法及装置 |
JP2020507130A (ja) * | 2016-12-28 | 2020-03-05 | ナノジェット オサケユイチア | 放射線ベースイメージングの垂直分解能向上のための物品 |
JP2020106841A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | 株式会社ミツトヨ | 平面状傾斜パターン表面を有する較正物体を用いて可変焦点距離レンズシステムを較正するためのシステム及び方法 |
CN112119280A (zh) * | 2017-12-22 | 2020-12-22 | 谨观股份公司 | 具有双重结构的三维目标、具有该目标的光学测量装置和方法 |
WO2021181786A1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置 |
CN114234847A (zh) * | 2021-12-08 | 2022-03-25 | 苏州恒视智能科技有限公司 | 光栅投影系统及光栅相移高度测量自动校正补偿方法 |
JP7353644B2 (ja) | 2020-01-08 | 2023-10-02 | 株式会社Xtia | 光学スキャナ装置の校正方法、光学スキャナ装置及び光学式三次元形状測定装置 |
JP7434356B2 (ja) | 2019-04-05 | 2024-02-20 | ブイエムアイ・ホラント・ビー.ブイ. | 較正ツール及び方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103575234B (zh) * | 2012-07-20 | 2016-08-24 | 德律科技股份有限公司 | 三维影像测量装置 |
ES2743298T3 (es) * | 2016-10-27 | 2020-02-18 | Pepperl Fuchs Ag | Dispositivo de medición y procedimiento para la medición por triangulación |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02271208A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Nippondenso Co Ltd | 3次元形状測定装置 |
JPH03289505A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Nippondenso Co Ltd | 3次元形状測定装置 |
JPH0691571A (ja) * | 1990-09-20 | 1994-04-05 | Mazda Motor Corp | 画像ガイドロボットの較正方法及びその装置 |
JPH06235630A (ja) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 測定誤差自動較正アルゴリズムを備えた距離測定器 |
JPH09152316A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-10 | Suzuki Motor Corp | 立体物の形状検査装置 |
JP2000509505A (ja) * | 1996-05-06 | 2000-07-25 | フラウンホッファー―ゲゼルシャフト ツァー フェーデルング デア アンゲバンテン フォルシュング エー.ファー. | 三次元物体表面の非接触測定装置 |
JP2002221411A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Toyota Motor Corp | 非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法 |
JP2002257528A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Ricoh Co Ltd | 位相シフト法による三次元形状測定装置 |
JP2002267444A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Nishimatsu Constr Co Ltd | トンネル坑内の形状測定方法 |
JP2006038590A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Teruaki Yogo | 3次元形状測定方法及びその装置 |
JP2006284304A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fujinon Corp | 縞計測装置の変換係数較正方法および装置ならびに該変換係数較正装置を備えた縞計測装置 |
JP2006287748A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Canon Inc | 情報処理方法、情報処理装置 |
-
2007
- 2007-01-11 JP JP2007003879A patent/JP4924042B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02271208A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Nippondenso Co Ltd | 3次元形状測定装置 |
JPH03289505A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Nippondenso Co Ltd | 3次元形状測定装置 |
JPH0691571A (ja) * | 1990-09-20 | 1994-04-05 | Mazda Motor Corp | 画像ガイドロボットの較正方法及びその装置 |
JPH06235630A (ja) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 測定誤差自動較正アルゴリズムを備えた距離測定器 |
JPH09152316A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-10 | Suzuki Motor Corp | 立体物の形状検査装置 |
JP2000509505A (ja) * | 1996-05-06 | 2000-07-25 | フラウンホッファー―ゲゼルシャフト ツァー フェーデルング デア アンゲバンテン フォルシュング エー.ファー. | 三次元物体表面の非接触測定装置 |
JP2002221411A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Toyota Motor Corp | 非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法 |
JP2002257528A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Ricoh Co Ltd | 位相シフト法による三次元形状測定装置 |
JP2002267444A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Nishimatsu Constr Co Ltd | トンネル坑内の形状測定方法 |
JP2006038590A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Teruaki Yogo | 3次元形状測定方法及びその装置 |
JP2006284304A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fujinon Corp | 縞計測装置の変換係数較正方法および装置ならびに該変換係数較正装置を備えた縞計測装置 |
JP2006287748A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Canon Inc | 情報処理方法、情報処理装置 |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010281621A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Seiko Epson Corp | 三次元形状計測装置 |
CN104655050A (zh) * | 2013-11-18 | 2015-05-27 | 精工爱普生株式会社 | 校准方法以及形状测定装置 |
JP2015099050A (ja) * | 2013-11-18 | 2015-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | キャリブレーション方法、及び形状測定装置 |
CN104390598A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-03-04 | 北京中天荣泰科技发展有限公司 | 一种基于机器视觉的异面直线测量方法 |
JP2016109461A (ja) * | 2014-12-02 | 2016-06-20 | リコーエレメックス株式会社 | 較正システム、反射部材、および検査システム |
EP3968011A1 (en) | 2016-06-22 | 2022-03-16 | G.D S.p.A. | A transferring and inspecting unit of a group of elongated elements |
JP7266656B2 (ja) | 2016-06-22 | 2023-04-28 | ジ・ディ・ソシエタ・ペル・アチオニ | 細長い要素から構成されるグループの移送及び検査ユニット |
WO2017221126A3 (en) * | 2016-06-22 | 2018-02-15 | G.D. S.P.A. | A transferring and inspecting unit of a group of elongated elements |
ITUA20164585A1 (it) * | 2016-06-22 | 2017-12-22 | Gd Spa | Unità di trasferimento ed ispezione di un gruppo di elementi allungati. |
CN109564171A (zh) * | 2016-06-22 | 2019-04-02 | 吉地股份公司 | 长形元件组的传递和检查单元 |
US11375743B2 (en) | 2016-06-22 | 2022-07-05 | G.D S.P.A. | Transferring and inspecting unit of a group of elongated elements |
ITUA20164582A1 (it) * | 2016-06-22 | 2017-12-22 | Gd Spa | Unità di trasferimento ed ispezione di un gruppo di elementi allungati. |
JP2022009696A (ja) * | 2016-06-22 | 2022-01-14 | ジ・ディ・ソシエタ・ペル・アチオニ | 細長い要素から構成されるグループの移送及び検査ユニット |
CN109564171B (zh) * | 2016-06-22 | 2021-10-19 | 吉地股份公司 | 长形元件组的传递和检查单元 |
JP2020507130A (ja) * | 2016-12-28 | 2020-03-05 | ナノジェット オサケユイチア | 放射線ベースイメージングの垂直分解能向上のための物品 |
CN112119280A (zh) * | 2017-12-22 | 2020-12-22 | 谨观股份公司 | 具有双重结构的三维目标、具有该目标的光学测量装置和方法 |
CN110490833A (zh) * | 2018-05-09 | 2019-11-22 | 北京中航安通科技有限公司 | 一种目标物体的体积测量方法及装置 |
CN108844469A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-11-20 | 电子科技大学 | 一种基于激光测试工件台阶高度的方法及系统 |
JP2020106841A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | 株式会社ミツトヨ | 平面状傾斜パターン表面を有する較正物体を用いて可変焦点距離レンズシステムを較正するためのシステム及び方法 |
JP7323443B2 (ja) | 2018-12-26 | 2023-08-08 | 株式会社ミツトヨ | 平面状傾斜パターン表面を有する較正物体を用いて可変焦点距離レンズシステムを較正するためのシステム及び方法 |
JP7434356B2 (ja) | 2019-04-05 | 2024-02-20 | ブイエムアイ・ホラント・ビー.ブイ. | 較正ツール及び方法 |
JP7353644B2 (ja) | 2020-01-08 | 2023-10-02 | 株式会社Xtia | 光学スキャナ装置の校正方法、光学スキャナ装置及び光学式三次元形状測定装置 |
WO2021181786A1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置 |
JP2021143841A (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-24 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置 |
JP7404941B2 (ja) | 2020-03-10 | 2023-12-26 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置 |
CN114234847A (zh) * | 2021-12-08 | 2022-03-25 | 苏州恒视智能科技有限公司 | 光栅投影系统及光栅相移高度测量自动校正补偿方法 |
CN114234847B (zh) * | 2021-12-08 | 2024-01-30 | 苏州恒视智能科技有限公司 | 一种光栅投影系统及光栅相移高度测量自动校正补偿方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4924042B2 (ja) | 2012-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4924042B2 (ja) | 三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP4715944B2 (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、および三次元形状計測プログラム | |
JP2007114071A (ja) | 三次元形状計測装置、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、及び三次元形状計測方法 | |
US8199335B2 (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus, three-dimensional shape measuring method, three-dimensional shape measuring program, and recording medium | |
JP5689681B2 (ja) | 非接触プローブ | |
JP2009036589A (ja) | 校正用ターゲット、校正支援装置、校正支援方法、および校正支援プログラム | |
JP2002071328A (ja) | 表面形状の決定方法 | |
JP5385703B2 (ja) | 検査装置、検査方法および検査プログラム | |
JP5612969B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP5566707B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP6894280B2 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2006023178A (ja) | 3次元計測方法及び装置 | |
JP2006084286A (ja) | 3次元計測方法とその計測装置 | |
KR101465996B1 (ko) | 선택적 큰 주기를 이용한 고속 3차원 형상 측정 방법 | |
JP2012211905A (ja) | 三次元形状計測装置、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、及び三次元形状計測方法 | |
JP2009014571A (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法 | |
JP2012073188A (ja) | 光量決定装置、位置検出装置、描画装置、および、光量決定方法 | |
JP7452121B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2006058160A (ja) | 線状光データ処理装置、表面形状測定システム、線状光データ処理方法、線状光データ処理装置の制御プログラム、および、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP7456736B2 (ja) | 形状測定装置、形状測定装置の形状測定方法および形状測定装置の形状測定プログラム | |
JP2022046063A (ja) | 三次元形状計測方法および三次元形状計測装置 | |
JP6894348B2 (ja) | 検査装置の高さ情報の取得方法及び検査装置 | |
JP2020085555A (ja) | 高さ計測システム及びプログラム | |
JP2022103954A (ja) | 三次元形状計測方法および三次元形状計測装置 | |
JP2022108176A (ja) | 画像処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120123 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4924042 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D04 |