JP2020507130A - 放射線ベースイメージングの垂直分解能向上のための物品 - Google Patents
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Abstract
Description
・放射線ベースイメージングの間、サンプルと本発明による物品を共に視野「FOV」内に入れること、
・物品の段のうちの1つが、垂直方向において、放射線ベースイメージングに関連するイメージング面に、物品のその他のいずれの段よりも近くなったときに、放射線ベースイメージングの結果を生成すること、及び
・段のうちの上記の1つに関連する所定の垂直位置の値を、放射線ベースイメージングの結果と関連づけること。
・本発明による物品、及び
・イメージングの結果を生成するためのイメージング装置であって、サンプルと物品が共にイメージング装置の視野内にあるときに、サンプルからやってくる第1の波動と物品からやってくる第2の波動とをベースとしてイメージングの結果を生成するためのイメージング装置。
・作業601: 放射線ベースイメージングの間、サンプル及び本発明の実施形態による物品を共に視野「FOV」内に配置し、物品の段差付き厚さプロファイルの隣り合った段を放射線ベースイメージングで使用する放射線と異なるように相互作用させること、
・作業602: 物品の段のうちの1つが、垂直方向において物品のその他のいずれの段よりも放射線ベースイメージングに関連するイメージング面に近くなったときに、放射線ベースイメージングの結果を生成すること、及び
・作業603: 物品の段のうちの上記の1つに関連する所定の垂直位置の値を、放射線ベースイメージングの結果と関連づけること。
Claims (19)
- 放射線ベースイメージングの垂直分解能を向上させるための物品であり、複数の段(106〜110、206〜210、306〜310、406〜410、506〜510)を持つ段差付きの厚さプロファイルを有する、物品(100、200、300、400、500)であって、前記段のうちの隣り合う段が、前記放射線ベースイメージングで使用する放射線と異なるように相互作用するように配置されており、それにより各段が、その各段と隣り合う段とが異なるように前記放射線と相互作用するようにされていることを特徴とする、物品(100、200、300、400、500)。
- 前記段(106〜110)のうちの前記隣り合う段の面(111〜115)が、異なる反射特性を有する、請求項1に記載の物品。
- 前記段(206〜210)のうちの前記隣り合う段が、異なる放射線透過特性を有する、請求項1又は2に記載の物品。
- 前記段(306〜310)のうちの前記隣り合う段の面(311〜315)が、異なる散乱特性を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の物品。
- 前記放射線ベースイメージングにおいて使用する放射線との、波長に依存する相互作用特性を有する物質を含み、それにより前記段のうちの前記隣り合う段の相互作用特性が、異なる波長依存性を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の物品。
- 前記段の面(411〜415)が、前記放射線ベースイメージングにおいて使用する放射線との異なる相互作用特性を有する幾何学パターンの領域を有し、それによって前記段のうちの前記隣り合う段が、異なる幾何学パターンを有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の物品。
- 前記段の面(511〜515)が、前記放射線ベースイメージングにおいて使用する放射線との異なる相互作用特性を有する幾何学パターンの領域を有しており、それによって前記段のうちの前記隣り合う段が、類似した幾何学パターンを有し、また前記類似した幾何学パターンのうちの第1の幾何学パターンの領域のうちの少なくとも1つの領域の相互作用特性が、前記類似した幾何学パターンのうちの第2の幾何学パターンの領域のうちの対応する1つの領域の相互作用特性と異なる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の物品。
- 前記段の面(311〜315)が、前記放射線ベースイメージングにおいて使用する放射線との異なる相互作用特性を有する表面構造を有しており、それによって前記段のうちの隣り合う段が、異なる表面構造を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の物品。
- 前記放射線ベースイメージングにおいて使用する放射線と相互作用する粒子を含んでおり、それによって前記段のうちの隣り合う段が、前記放射線ベースイメージングにおいて使用する放射線との異なる相互作用特性を有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の物品。
- 前記段のうちの隣り合う段の前記粒子が互いに異なる、請求項9に記載の物品。
- 前記段のうちの隣り合う段の前記粒子が、異なる幾何学パターンを構成するように取り合わされている、請求項9又は10に記載の物品。
- 当該物品が基材(116)を含み、かつ前記段差付きの厚さプロファイルを構成している材料が、前記基材の上面上にある、請求項1〜11のいずれか一項に記載の物品。
- 前記基材が高配向性熱分解グラファイト基材で製作されている、請求項12に記載の物品。
- 所定の厚さを有しかつ垂直方向で部分的に重なり合うようにして互いに積み重ねられている層(101〜105、201〜205、301〜305、401〜405)を含んでおり、それによって前記段差付きの厚さプロファイルを形成している、請求項1〜13のいずれか一項に記載の物品(100、200、300、400)。
- 前記層のうちの少なくとも1つが、ポリマーフィルムを含む、請求項14に記載の物品。
- 前記層のうちの少なくとも1つが、ラングミュア−ブロジェット膜を含む、請求項14に記載の物品。
- 次のことを含む、サンプルの放射線ベースイメージングの垂直分解能を向上させるための方法:
・放射線ベースイメージングの間、前記サンプルと請求項1〜16のいずれか一項に記載の物品とを共に、視野内に配置すること(601)、
・前記物品の前記段差付きの厚さプロファイルの段のうちの1つが、垂直方向において、前記段のうちの他のいずれの段よりも、前記放射線ベースイメージングに関連するイメージング面に近くなったときに、放射線ベースイメージングの結果を生成すること(602)、及び
・前記段のうちの前記1つに関連する所定の垂直位置の値を、放射線ベースの前記イメージングの結果と関連づけること(603)。 - 前記放射線ベースイメージングが、顕微鏡法であり、かつ前記イメージング面が、前記放射線ベースイメージングのために使用される顕微鏡の焦点面である、請求項17に記載の方法。
- サンプルの放射線ベースイメージングのためのシステムであって、
・請求項1〜16のいずれか一項に記載の物品(700)、及び
・イメージングの結果を生成するためのイメージング装置であって、前記サンプルと前記物品が共に当該イメージング装置の視野内にあるときに、前記サンプルからやってくる第1の波動と前記物品からやってくる第2の波動とをベースとして前記イメージングの結果を生成するためのイメージング装置(720)、
を含み、
前記イメージング装置が、放射線ベースの前記イメージングに関連するイメージング面を垂直に移動させるための移動機構(721)を含む、
サンプルの放射線ベースイメージングのためのシステム。
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