JP2010002328A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 膜厚測定装置であって、
   基板上に少なくとも１つ以上の層が形成された被測定物に対して所定の波長範囲をもつ測定光を照射する光源と、
   前記被測定物で反射された光または前記被測定物を透過した光に基づいて、反射率または透過率の波長分布特性を取得する分光測定部とを備え、前記分光測定部は、前記所定の波長範囲に含まれる、下限波長λ_ｍｉｎと上限波長λ_ｍａｘとの間の波長分布特性を波長分解能Δλで検出可能であり、さらに
   波数分布特性に含まれる振幅値の大きな波数成分を解析することで、前記被測定物を構成する層の膜厚を決定する決定手段とを備え、
   前記分光測定部は、前記波長分解能Δλが、前記膜厚測定装置で測定可能な膜厚の最大値ｄ_ｍａｘと、上限波長λ_ｍａｘにおける対象の層の屈折率ｎ_ｍａｘとの間で、
   Δλ≦λ_ｍａｘ ^２／２（λ_ｍａｘ＋２・ｎ_ｍａｘ・ｄ_ｍａｘ）
   の関係式を満たすように構成される、膜厚測定装置。
2. 前記分光測定部は、前記下限波長λ_ｍｉｎが、前記膜厚測定装置で測定可能な膜厚の最小値ｄ_ｍｉｎとの間で、
   ｄ_ｍｉｎ≧λ_ｍｉｎ・λ_ｍａｘ／２（λ_ｍａｘ・ｎ_ｍｉｎ−λ_ｍｉｎ・ｎ_ｍａｘ）
   但し、ｎ_ｍｉｎは、下限波長λ_ｍｉｎにおける対象の層の屈折率である。
   の関係式を満たすように構成される、請求項１に記載の膜厚測定装置。
3. 前記波長分解能Δλは、係数α（０＜α≦１）を用いて、
   Δλ≦α×λ_ｍａｘ ^２／２（λ_ｍａｘ＋２・ｎ_ｍａｘ・ｄ_ｍａｘ）
   の関係式を満たすように構成される、請求項１または２に記載の膜厚測定装置。
4. 係数αは、１／２未満である、請求項３に記載の膜厚測定装置。