JP2009539112A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 大面積基板を検査するように適合されたプローバアセンブリであり、
   少なくとも１つの矩形の開口と開口を横切って延びる交差部材を画定する矩形のフレームと、
   交差部材の下面とフレームに結合する複数のコンタクトピンを備え、複数のコンタクトピンは大面積基板と接触するように適合され、フレームは大面積基板の面積の半分に等しい又はそれよりも小さい面積を有するプローバアセンブリ。
2. フレームの下面は、複数のプローバピンと結合された電気コンタクトプレートを含む請求項１記載の装置。
3. フレームの幅は大面積基板の長さの半分に等しい又はそれよりも小さく、フレームの長さは大面積基板の幅と等しい又はそれよりも大きい寸法で固定されている請求項１記載の装置。
4. 大面積基板に対して矩形のフレームを横方向に移動するよう構成されたリニアドライブを有するプローバ支持部材を備えた請求項１記載の装置。
5. フレームの外周部は、リフトアセンブリとの適合インターフェースを提供する少なくとも２つの延伸部材を備えた請求項１記載の装置。
6. フレームの少なくとも２つの対向する辺は、少なくとも２つの延伸部材を含む請求項１記載の装置。
7. フレームの外周部の少なくとも２つの対向する辺は、リフトアセンブリとの適合インターフェースを提供する少なくとも１つの延伸部材を備えた請求項１記載の装置。
8. フレームは、フレームの幅を調節する着脱可能な複数の環状部材を備えた請求項１記載の装置。
9. 検査システムであり、
   チャンバと、
   チャンバ内の検査テーブルを備え、検査テーブルは矩形の基板を受け止める大きさであり、
   検査テーブルの対向する辺上に配置されたプローバ支持体と、
   チャンバ内の少なくとも２つのプローバを備え、
   少なくとも２つのプローバの少なくとも１つは、
   矩形基板の長さの半分に等しい又はそれより小さい幅と、矩形基板の幅に等しい又はそれより大きい長さを有する矩形フレームと、
   フレームの下面から延び、基板と接触するように適合された複数のプローバピンとを備えた検査システム。
10. 少なくとも２つのプローバの搬送及び貯蔵を行うことができるチャンバ内のプローバリフトアセンブリを備えた請求項９記載のシステム。
11. リフトアセンブリは、チャンバの上部を通って延びるシャフトに結合された少なくとも１つのモータを備えた請求項１０記載のシステム。
12. フレームはこれに結合された少なくとも１つの交差部材を備え、交差部材はフレームの長さ又は幅を分割する請求項９記載のシステム。
13. 少なくとも２つのプローバは第１プローバと第２プローバを備え、第１プローバは第２プローバと異なるプローバピン配置を有する請求項９記載のシステム。
14. 少なくとも２つのプローバは第１プローバと第２プローバを備え、第１プローバは第２プローバと異なる幅を有する請求項９記載のシステム。
15. プローバ支持部材は、少なくとも２つのプローバの少なくとも１つを大面積基板に対して横方向に移動するように構成されたリニアドライブを有する請求項９記載のシステム。