JP2009026859A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 19
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 7
- 230000003028 elevating Effects 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims 1
Claims (5)
- 基板の少なくとも裏面を目視検査を行うための基板検査装置であって、
前記基板を載置し前記基板を反転させるアームと、
該アームに配置され前記基板の裏面を吸着する吸着保持部と、
前記アームを垂直方向に移動させる昇降機構と、
前記吸着保持部により吸着された状態の前記基板の外周縁に接触して半径方向に押圧する複数の接触部を有する押圧保持部とを備え、
前記押圧保持部は前記昇降機構による基板の上昇動作に伴い前記基板を押圧することを特徴とする基板検査装置。
- 前記昇降機構は前記アームを水平状態に維持したまま前記基板を上昇させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
- 前記押圧保持部は前記基板を複数の接触部で同時に押圧することを特徴とする請求項１ 又は請求項２に記載の基板検査装置。
- 前記押圧保持部は前記昇降機構による基板の上昇動作に伴い付勢力を発生させ前記基板 を押圧することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
- 前記押圧保持部が、前記接触部に、該基板の外周縁を嵌合させる嵌合溝を有する請求項 １に記載の基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007186867A JP2009026859A (ja) | 2007-07-18 | 2007-07-18 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007186867A JP2009026859A (ja) | 2007-07-18 | 2007-07-18 | 基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009026859A JP2009026859A (ja) | 2009-02-05 |
| JP2009026859A5 true JP2009026859A5 (ja) | 2010-09-02 |
Family
ID=40398417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007186867A Pending JP2009026859A (ja) | 2007-07-18 | 2007-07-18 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009026859A (ja) |
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-
2007
- 2007-07-18 JP JP2007186867A patent/JP2009026859A/ja active Pending
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