TWI338145B - Prober assembly for testing a large area substrate and test system thereof - Google Patents

Description

I33814D 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明的實施方式主要哚 戈及基板的測試系 Φ M. ^ 地，本發明涉及在製造平板 ，、、.先。更/、 成測試系統。 人面積基板的集 【先前技術】 平板顯示器，有時稱之致 冉之爲主動陣列液晶顯 近來已經越來越普遍地成爲 tube CRT^,, 成爲過去的陰極射線管（cathode ray tube，LRT)的替代品。與 丁 · 括景* 比’ LCD具有數個優點，包 括影像。0質南、重量輕、電 ^ Β<： .-Β,Ι 5| 11 8•能耗。顯示器在電 月& JHL /則态、移動雷註多愈扭 电舌和電視中具有多種應用。

—種類型的主動，丨T 陣列芙板4A 匕括央在薄膜電晶體（TFT ) 陣列基板和濾色片基板之間的液 & f % , TFT # 形成平板基板。一 ^ '専膜電日日體，每一薄膜電晶 體都耗接到-像素電極，濟 # 4膜電明 ,χ , Λ ffl Φ 4 〜片基板包括不同顏色的濾色片 4分和共用電極。當供瓶一 疋的電壓到像素電極時，在像素 電極和共用電極之間産生電 通過特定像素。使㈣H料會被定向以使光線 使用的基板通常包括較大的表面積，並且有 〇十夕獨立的平板Λ、+ 顯不益破形成在此大面積基板上，其隨後在 最終製造期間從基板分離。 —在製造方法令有一部分會需要測試大面積基板以域定 母個平板顯示器 之像素的可操作性。電壓成像'電荷感應 和電子束測試县 ;在製造方法期間監視和檢修缺陷的一 5 1338145 些方法。在典型的電子束測試方法中，監控像素内的TFT回 應’以提供缺陷資訊。在電子束測試的一個實施例中，將一 疋的電®供應1 TFT，且在調查期間，可指引電子束至獨立 的像素電極。感應從像素電極區域發出的二次電子用以確 定TFT電壓。 一般來說，使用諸如探針組件之類的測試裝置，來施加 或感應（其係利用接觸大面積基板上的導電區域來進行感應） 從TFT而來的電壓。探針組件的大小係適以測試設置在基板 上之平板顯示器的特定搆造，典型地，探針組件的大小係等 於或者大於基板尺寸，而該大面積的探針組件會造成操作、 傳遞和儲存困難^ 因此’需要一種可解決上述部分困難的探針組件，以在 大面積基板上執行測試。 【發明内容】 在此描述的實施方式涉及在大面積基板上測試電子元 件β在一實施方式中，描述了一種測試系統。該測試系統包 括一測試台，其大小適以接收一矩形基板；以及一探針組 件，其適以接觸該大面積基板，其令該探針組件的大小等於 或小於該矩形基板的一半大小。 在一實施方式中，描述了一種適以測試一具有一長度與 一寬度之大面積基板的探針組件。該探針組件包括—矩形框 架和複數個探針腳（prober pins)，矩形框架具有〆等於或小 於該大面積基板一半長度的第一尺寸以及一等於或大於該 1338145

大面積基板宽度的第二尺寸’而該複數個探針腳自該 下表面延伸並適以接觸該大面積基板。 , 另貫施方式中，描述了 一適以測試一大面積 探針’'且件。該探針組件包括一矩形框架和複數個耦接 架之長度且適以接觸該大面積基板的接觸頭’其中 框架的面積等於或少於該大面積基板之一半面積。 在另—實施方式中，描述了一測試系統。一測試 寸係適以谷納一矩形基板，且一探針組件適以接觸該 板其中該探針組件包括一矩形框架和複數個探南 •個探針腳自遠框架的下表面延伸並適以接觸該 二板中5亥矩形框架的面積等於或小於該大面積基 積且6玄矩形框架可藉由至少二個馬達沿著該讲 度移動。 【實施方式】 在此使用的術語「基板」一般指由玻璃、聚合和 •、於在其上形成電子元件的其他基板材料製成的大 板。在此所描述的各種實施方式涉及測試諸如位於耳 益上的TFT和像素之類的電子元件。可位於大面積基 被琪丨°式的其他電子元件包括用於太陽能•電池陣列 有機發光二極體（organic light emitting 0 L E D ) > ri n 以及其他元件等等。使用電子束或者帶f 射β不例性地描述測試程式，但是在此描述的特定負 可等效地採用光學元件、電荷感應器，或者配置以名 框架的 基板的 至該框 該矩形 台的尺 大面積 腳，該 大面積 板之一 試台長 料或者 面積基 板顯示 板上並 的光電 diodes, 粒子發 施方式 真空條 7 B38145 件下或者在大氣壓或接近大氣壓測試大面積基板上的電子 元件的其他測試應用。 在本申請中所描述的實施方式將指各種驅動器、電機和 可以是以下其中之一或者其組合的致動器：氣動缸、壓電電 機、液壓缸、磁驅動、步進機成者伺服電機、螺旋型致動器 (screw type actuator )或者提供垂直運動、水平運動、其組 合的其他類型的運動設備’或者適於提供至少部分所描述的 運動的其他元件。 在此所描述的各種元件均能在水平面和垂直面中獨立 運動。垂直定義爲與水平面正交的運動，並將稱之爲Z方向。 水平定義爲與垂直平面正交的運動，並將稱之爲X或者γ方 向’ X方向是正交於Y方向的運動，反之亦然。通過包括在 圖中所需的定向插圖進一步限定X、γ和Z方向以有助於讀 者理解。 第1圖是測試系統1 〇〇的一個實施方式的等軸側視圖， 該測試系統1 0 0適於測試位於大面積基板上（例如，尺寸高達 且超過2200mmx約2600mm大小的大面積基板）的電子元件 的可操作性。測試系統丨〇〇包括測試腔室】丨〇，真空隔離腔 至 120 (load lock chamber 120)和複數個測試柱 115 (testing columns 1 1 5)(在第1圖中示出了七個），其示例性地描述 爲適於測試位於大面積基板上諸如薄膜電晶體（TFT )等類 電子元件的電子束圓柱。在測試腔室丨丨〇的内部空間内靠近 測試圓柱1 1 5設置了複數個可感應背散射（backscatter )電 子的感應元件（未示出）。測試系統】丨〇典型地位於潔淨室 8 ⑶ 8145 玉免内 ，# Η 且可以是製造系統的一部分，該製造系統包括可 4孝 _____ Li . 、 取者多片大面積基板105出入測試系統1 00的基板 操作裝置（如；^ ， 、如機55人設備或輸送系統）。在一個實施方式中， 測試系铋1 η η . • υυ還包括耦接到測試腔室11 0上表面的顯微鏡組 牛160以觀察在大面積基板上遇到的相關區域。

可經過設於真空隔離腔室1 20和測試腔室1 1 〇之間的閥 1 3 5而進入測試腔室丨1 〇的内部。還可通過一或複數個可移 動的側壁1 5 〇進入内部，各側壁丨5 〇包括至少一個致動器 1 5 1 ’以便於單獨或者共同作用以打開或關閉可移動側壁 1 5 0 °可移動側壁1 5 0提供維修和檢視測試腔室1 1 〇内部的 入口 ’並便於傳送諸如探針組件（未示出）的一或複數個測 試元件。通過使用0型環、墊圈等設計，讓可移動側壁1 5〇 在關閉時提供真空密封。在另一實施方式中（未示出），可 打開及關閉測試系統1 1 〇的一上表面，以進出該系統内部和 /或便於傳遞一個或複數個測試元件。至少測試腔室丨丨〇的上 表面是可鉸鏈連接的’適於升降、橫向運動或其組合運動。 在2006年3月14日提交的美國專利申請號爲No.ll/3 75,625 且在2006年11年2日公開的美國專利公開號爲 Νο.2006/0244467，以及2005年7月27日提交的美國專利申 請Ν〇·11/190,320並在2006年2月23日公開爲美國專利申 請No.2006/0038554，以及在2004年12月21日授權的發明 名稱爲 “ Electron Beam Test System with Integrated Substrate Transfer Module(具有集成基板傳輸模組的電子束 測試系統）”的美國專利N 〇. 6,8 3 3，7 1 7中描述了用於測試大 1338145 面積基板的電子束測試系統的各種元件的實施例，在此引入 上述申請作爲參考。 真空隔離腔室120可與其周圍環境隔絕密封，並典型地 係耦接至一或複數個真空泵丨22，並且測試腔室11 〇可耦接 到與真空隔離腔室120的真空栗分隔的一或複數個真空泵 122。在一個實施方式中，真空隔離腔室丨20適於通過入口 130接收來自潔淨室環境的Λ面積基板〗05’利用通過閥I35 > 此玄丨丨〇傳遞基板’並以相反方 從真空隔離腔室1 20向測試胶至1 1 u 7 上 广谩琦。在另一實施方式中，大 式將大面積基板返回至潔淨黨％ & & λ，目I丨喑系統100，然後通過閥 面積基板105通過入口 13〇進 則*式’ β肢室1 1 〇，並且大面積 135從真空隔離腔室120傳遞至'、好 1 0可正交連接至測試 r U」形處理系統或者 λ祕斟戚的口 136返回潔淨室環 基板通過耦接到測試腔室1 1 0相對& 境。或者，一或複數個真空隔離腔室1 腔室110的Y軸或者Y方向，以形成 ,、。在美國專利公開 「z J形處理系統（未示出） 丄π 咕系統1 10的其他實施 No.2006/0244467中更詳細描述了測6 t Λ #會施方式，該申請在此引 方式以及基板入口 /出口設置的各種貫 入作爲參考。 * π隔離腔室，配置以促 真空隔離腔室120可以是雙槽真> 益引入參考的美國專利 進至少兩片大面積基板的傳遞。在之則 年12月8曰提交的 Νο.6,8 3 3,71 7和此引入作爲參考的2〇0；) τ 〇〇〇7年4月12曰提交 美國公開專利No.2006/02738 1 5以及2 的美國臨時專利申請Νο·60/911，496 空隔離腔室的實施例。 的申請中描述了雙槽真 10 1338145 第2 A圖是名；货， 丄 第1圖中示出的測試系統丨〇〇 側視圖。測試腔官η Λ * β ^ 。丨5 >截面 腔至U0耦接到真空隔離腔室丨2〇， 離腔室120包括在苴士外班 落真空隔 栝在其中設置的基板105。測試腔室 内部空間200,該內邮Λ ^ I 〇包括 。|5二間包括一測試台2丨〇，諸如探 和探針205B的兩個探 115。在另一實施方十由“ _ 及#刀的該些測試柱 式中（未不出）’該内部空間2〇〇 納兩個以上的探針組件，Α ，、適乂谷 什八甲該些钕針組件之至少_ 即或已準備好可用於—測 者了立 〃_L 且其他探針組件係被存放 在該内部空間200中。 禾破存放 在 實施方式中，蜂丨丨Λ* 〇 1 η 她式台210包括三個實質平面、堆 疊在一起的平台（sta ) 在 0 g )在態樣中，該三個平台的每一平 台都可單獨沿著正交轴(例如，χ 每千 久乙軸）移動。上方芈A 212係用以在測試期間支撐基板 。 J 头包括複數個板，奂 一板具有複數個溝槽於其中， 低母 用以接收一末端作動件2 複數個指部（示於第2B圖）。在一 的 在實施方式中，上方平台212 至少可沿Z方向移動，且末端作動 .^ 午2丨4自其水平方向（Y軸 方向）上伸出以傳送基板來回該真介 M办、 具二隔離腔室120。末端作動 件測試台的相關細節可參見先前索

No.2006/0244467案的内容中。 、’、國么開專利 在一實施方式中，測試系场丨 r . 糸，.先100係配置成可通過測試順 序沿著在圖中示爲Y方向的單—古 „ 早方向軸傳輸在其上具有電子 元件的大面積基板。在其他實 . 施方式中，測試程式和/或預- 測試可包括沿者X和Y軸的運動 _ ^ 的· '且D。例如，可利用上方 平台212和末端作動件214的其中夕— '、r之一或者兩者來移動基板 1338145 1 Ο 5 ’以在測試之前修正基板位置使其對準。在其他 式中’測試程式可包括由測试柱1 1 5和測試台2 1 〇的 個或者兩個所提供在Ζ方向上的移動《可沿著基板寬 基板長度方向將基板1 05引入到測試系統！ 〇〇。基板 測試系統中的Υ方向移動使得系統尺寸可稍微大於基 的寬度或長度尺寸。讓支撐台沿著單一方向支撑件移 可除去或者最小化在X方向上移動支撐支撐件台時所 動器。由於單向運動因此可以使得真空隔離腔室12〇 腔室1 1 0的高度被最小化。高度降低加上最小寬度之 統’使得真空隔離腔室1 2 0和測試腔室】〗〇體積變小 變小也降低了對真空隔離腔室1 2 〇和測試腔室】1 〇進. 和排氣的時間’從而可提高測試系統1 〇 〇的生産力。 測試系統1 1 0還包括一頂部2 2 2，其包括一第一 和一第二區226。第一區224包括一顯微鏡組件16〇 含设置在該頂部222之第一區224中一觀察口 159上 移動的顯微鏡158。觀察口 159是由玻璃、塑穋、石. 其他透明材料製成的透明或半透明帶，且其係設計成 負壓。在一實施方式中，當基板被放置在觀察口丨59下 可水平（X方向）移動顯微鏡158和顯微鏡組件丨6〇 一個或者兩者，以觀察基板上的相關區域。在一個特 方式中，顯微鏡158包括用以調整視野深度的聚焦模 示出）。 第區224和第二區226各自包含一耦接至頂部 探針舉升組件，在圖上繪示為探針舉升組件23〇Α及 實施方 其中一 度或者 105在 板105 動，還 需的驅 和測試 測試系 。體積 行抽氣 區224 ，其包 方之可 英或者 可承受 方時， 的其中 定實施 組（未 222的 探針舉 12 1338145 升組件23 OB。在其他實施方式中，第— ^ &和第二區可各自包 含一個以上的探針舉升組件。每—探斜

休針舉升組件230A、230B 分別為每一探針205A、205B提供定仿命—， 疋位與存放功能。舉例來 說，探針舉升組件230A可垂直移動以脎抑κl 功U將探針置放在、或將 探針從測試台210對面之相對支撐元件 w圖上只示出一個） 上表面舉起。探針舉升組件簡可支擇探針2講在鄰近頂 部222下表面的位置，以方便清潔和移動其下方的測試台 210(和探針 205A)。 ° 第2B圖是在第2A圖中示出的測試腔室"0的部分視 圖，且第2C圖為第2B圖之測試腔冑11〇的部分放大圖。内 部空間200包括該測試台210與一部分的該探針舉升组件 ”〇B。測試台21〇包括上方平台212和放置在溝槽215(位於 上方平台212之複數個台面間)之末端作動件的複數個指部 214A-2MD。在一實施方式中’該些溝槽215的尺寸係可容 許該些指部214A-214D垂直（Z方向）移動 / π初通過泫些溝槽 215。在另—實施方式中，該些溝槽215的 J \ t係可容許該 些指部214A-214D進行水平（X方向）以及垂吉 直（Z方向）移動。 在—種應用中，測試台2 1 0可以是任何— ,徑』支撐基板 1 及線性移動基板1 〇5的平台或支撐物。 m外（或者），測 試台210可以是靜止的且基板1〇5可相對該測試台進行 線性移動。測試腔室丨丨〇和/或真空隔離 疋可有可無 的’因為測試程序可能不需要真空應用。該此 …、 、 一叫巧枉1 1 5可 以是電子束柱、帶電粒子發射器、電荷感應器、 - 株 何-稱接元 叶、攝影機和其他可感應大面積基板105上 <軍子疋件操作 13 45 性的裝置。

在一實施方式中，探飪L 十舉升組件230B(其類似探針舉 ，·且件230A)包括兩個耦接到 ..^ £ ^ 乂 ·*只。丨s 222 —上表面的馬達26〇 "別位於測試腔室1 1 〇兩相對側。該些馬4 2 6 0至少可提 垂直移動（Z轴）以於内部 ’ Μ 1二間200中分別舉起元件262。每 馬達260係搞接到-延伸穿過…22的桿26丨上，並適 藉由密封件、彈性罩(anexiMeb〇〇t)、軸承等類似物來维 該内部…00為真空。在另一實施方式中(未示出），探 舉升組件230B可包括—或多麵接到頂部222 一上表面的 達在此實施方式中，該馬達係適以提供旋轉運動以及 直運動，給用來支撐一探針的舉升元件。 ^該探針舉升組件230B係用來存放與傳送一探針。舉 來說，該存放的探針（以虛線表示）係繪示成一升高的探 2〇5R，且移送中的探針係繪示成一位在探針支撐件mo上 降下的探針205L。每一探針205r、2〇5l _般包括一框架 其具有數個自該框架相對邊延伸的耳部266、272(如第4八 所不）。在一貫施方式中（未示出），該些耳部266、272為 伸元件，沿著該框架外周長的一實質部分而自該框架伸出 在此實施方式中，該框架的每一邊包含—可沿著該框架每 邊長度而延伸的耳部266或272。在另一實施方式中該 耳部266、2 72包含延伸元件，其作成沿著少部分該框架 周長而向外伸出的耳部或突片。舉例來說，該探針2〇5l框 在X轴上有4個耳部272(但只示出2個）且在γ軸上有4 耳部266(但只示出2個）。 升 供 以 持 針 馬 垂 例 針 的 1 圖 延 〇 些 外 架 個 14 1338145 S二耳部266' 272設置成在水平方向上彼此相隔一段 距離，社 知供相符界面以供傳送或儲存探針之用。舉例來 X上耳部272可提供一種可供大氣至製程室交換的相符 '’至於該些耳部206則適以和個別突出物264配合，以 4奪、英與 ^ 面，用在製程腔室内中的交換。當探針未被傳送 時，該赴·且a ,, —斗。卩266可作為用以在内部空間2〇〇進行儲存的複 數個支；^

一牙點且該些耳部272可作為用以在測試腔室丨1()外部 —啫存的複數個支撐點。該些耳部266 ' 272之每一者可 包括升）成於复中之一择、一力 _針。八肀之櫓一孔、一洞或其之組合，用以接收 蛊或其他安定；L件（其位於—元件上，係傳送時該些耳郤 件之督4目符的件例如突出物264)。可使用的傳送元 ^ 例揭示於美國專利申請案帛2〇〇6/〇〇38554號之第 圖中，其揭示内容併入本文作為參考。 扣圖:广圖為一探針支撐件240之-實例的示意圖。如第 »圖所示，測試系統丨 該測詁Α。 匕3兩探針支撐件240，分别位於 -〇 2 1 〇相對立的兩側上， 的—而 _ 固上’、繪不出該測試台210 -或㈣母一探釺支撐件240包括一探針平台310,其具有 一 個耦接至其中的驅動器312。在一麻& φ卜 —探針平± 隹 λ施方式中，每 D 31〇包括兩個驅動器312, 以以該躯叙„， 且s亥‘針平台3丨〇適 态3 1 2堪勤而沿著該探奸 向）移動。在—實浐大々由 支芽件240的長度（γ方 貫鈀方式中，該些駆動 —磁通道32：> μ a u 咨3 1 2為複數個耦接至 、j22的線性驅動器，其可 該探針支撐件24〇的長 —編碼帶315而沿著 τζ^υ的長度而破水平 也包括一盤34?甘^ 置。該探針支撐件240 W 342’其可於該探針支 件240和/或探 1338145 沿著測試台2 1 Π ΛΑ e Λ 210的長度及該探針支撐件240的長度移動_ 用以支撐電線和電纜。 移動時， 圖為探針平台31〇 一實例的示意圖。 310包括至少-探針舉升件似，其係設計來接觸該^ 2〇5Α以相對於探針平台-來升高或下降（ζ軸）該= 205Α。可以任何可提供至少垂直運動且可魏接到探針平台 Ρ刀上的元件來致動該探針舉升件328。在— 令，該探針舉升件3 28係被㈣到探針平台31G，而J 伸穿過探針平台310上表面之一開口 34丨。 、 探針平台3 10包括一實質平坦的上表面適以於當 205A被傳送到探針支撑# 24〇時可接收和支撑該探針 205A。為幫助接收該探針2〇5A，探針平台3丨〇包括—凹陪 部，例如一導引孔3 32,其適以接收自探針2〇5八底表面伸出 的針330。位於料33()和孔332間的界面可在測試台川 和/或探針平㈠10被移動_，幫助探*"〇5八相對於探針支 撐件240來對齊，使其安定。 相對於探針支撐件240來對齊探針2〇5a，可促使探針 205A可相對於基板105和欲於其上測試的任一元件對齊。此 對齊也可藉由對齊探針205A下表面上的複數個電接觸板 329和探針平台3 1 〇上表面的訊號界面326，來使測試系咣 1〇〇與探針205A間可形成電子麵接。該些電接觸板329，每 一者可包括複數個接觸點325,以促進從探針2〇5A接收電訊 號或提供電訊號至探針205A(細節揭示在第4A圖與第仞 圖）》該訊號界面326係適以幫助探針2〇5A與一控制器間的 1338145 '回電聯通。I兹些電接觸板329 ’可以是_搞接到探針2〇5A 下表面的印刷電路板’其係可與耦接到訊號界s 326之複數 個接觸器327相配合。在一實施方式中，訊號界面咖上之 該些接觸3 327係加載了彈黃’以幫助在該些接觸器327與 該些接點3 2 5間的電聯通。

所示實施方式提供了關於如何在測試腔室11〇之測試操 作中加載所使用的至少二探針，同時測試腔室！ ι〇係處於對 潔淨室開放的裝態下，其—般係處在正常大氣壓或略低於正 常大氣壓下。如下述’所述實施方式可藉由設置可用以儲存 與應用於該測試操作中之至少兩探針在測試腔室丨1〇中藉 由極j化通風與抽氣時間而提南羞出率。製造與測試多數基 板佈局的使用者，可讓基板排隊以將其_ __引人至測試腔室 中。一旦決定出該排隊的基板包括至少二基板佈局，需 不同的探針可將至少一探針預先加載到測試腔室HQ 中’以便使用該至少二探針測試該至少二基板佈局。

在一實例中，選定一探針，例如探針2 〇 5 A ,以用於即 將進行測試之一特定基板佈局的測試程序中。舉例來說，該 欲測試的基板佈局（為便於稱呼，將其稱為基板s }具有一 特疋的顯示和接觸墊圓樣，且該探針2〇 5 A係設計用來檢測 基板si。須知製造商可製造出複數個基板S1，每一基板sl 均具有實質相同的顯示和接觸墊圖樣設計。製造商也可製造 出一簡稱為基板S2的一或複數個基板，其具有一與基板sl 不同的顯示和接觸墊圖樣。基板S2可能需使用一不同的探 針（例如’探針205B)，來檢測基板S2。在此所述的實施方式 17 1338145 有助於以至少一探針（_田 v 用於測試，另一用於儲存以供後續測 試之用）來測試不同的美此 的丞板’例如基板S 1或基板S2。 在參照第2A-3B IS1 & 圖的—操作方式中，以一可幫助從大氣 壓到製程室間之值# & ^ 的探針交換器（未示出），來將探針205A 傳送到測試腔室1 1 〇 Φ τ。在一實施方式中，該探針交換器捭 位於測試腔室丨丨0外， 、爸、 r 郇近該可移動的側壁1 5 0的一或二

者。4探針交換器包括—可調整的矩形框，至少在其寬度上 可：整，以接收、儲存和移送該至少-探針。-探針交換器 的實W可參見美國專利申請案第綱㈣27381 5號的發明詳 田内合以及美國專利申請案第2006/003 8554號的第丨4a_16 :’此兩案的揭示内容均併入本文中作為參考。當該測試腔 至11 α之Μ已❹空’為傳送_不同的探針進人該測試腔室 110中’可對該室通氣，並打開該該可移動的側@ Μ 〇的一 或-者’ 士。第2Β圖所示。該探針交換器包括一對可移動的 探針支架’其與該探針框架相對側上的該些耳部272相符。 兩個可移動的探針支架I乂同時„針交換器水平移動^ 軸方向）穿過側壁150而進入測試腔室110中。當探針舉升έχ 件23〇Α、23 0Β被往上縮回時（ζ轴方向），可在探針1律2 240與舉升組#㈤間提供充分的淨空。以該可移動的: 支架將探針205A傳送到位於該探針支撐件24〇上 位置，其中該探針框架兩相對立的邊可分別接觸該 件24〇相應的側邊》 聲 -旦延伸越過該探針支樓件240上方，該可移％的探* 支架即被啟動往下（Z轴方向），以容許該探針框架的2十 「衣面 18 1338145 可接觸該探釺支撐件2 上表面。接 Λ, ± ^ _ , . , Θ可移動的探 支架可持續往下，直到位在該可移動的探針支架與耳部

Μ間的相符界面’容許該可移㈣探針支_被水平縮回（X 抽方向）而離開該測試腔室1 1 0為止。 當以該探針支撐件24〇來接觸並支撐該探針2〇5A時， 其可被該探釺舉升組件230A ' 230B之一加以储存。在一實 施方式中，該測試台21〇(其具有該探針支撐件24〇耦接至其 中）可被水平致動（Y袖方向），以將該探針2 〇 5 A放置在任一 探針舉升組件230A、23〇B下方。在另_實施方式中，該探 針支擇件240 (其包括複數個驅動器（如帛3A、m斤示『 可獨立於測試纟21G之外來移動，並水平致動（γ料方向）以 將忒探針205Α放置在任一探針舉升組件23〇Α 23〇Β下方。 在一實施方式中，係參照該探針2G5A來說明該儲存程序。 在此實施方式中，當該探針205A實皙# $ 4 & 八1Γ質對準並被放置在 ^舉升組件23GA下方時，可啟動探針舉升組件2心往下 (軸方向)到-鄰近該探針205A的位置處。詳言 26〇將該舉升元件266下降到—鄰

. η π β些位在該探針205A t透之耳部266的位置。每一舉升元侔 开凡件262包括至少兩個突 出物264，其往内延伸並適以配合該些耳部266。 在-實施方式中’該些突出物264的上表面被設計成可 從個別耳部之-底表面來支料_耳部為提供此支樓 占又计，該探針205A，特別是其上將放置有耳部⑽的探針 205A，的放置位置必須能提供充分的淨空給該些突出物 264,使其可往下移動(Z軸方向)到下方位置稍微位在個別耳 19 1338145 部266底面旁邊。可以一或二該探針平台3丨〇和測試台2 1 〇 而將該探針205Α放置在Υ軸方向上，以容許突出物可享有 淨工。一旦該些突出物264的上表面位在個別耳部266底表 面下方且與其水平、垂直間隔’即可停止該舉升元件262的 往下運動》 以該探針平台3 1 0和

動（Y袖方向）該探針205A至一位置，此時該些耳部266係處 於可與個別突出物264相符的位置。當該些耳部266與突出 物264彼此對齊時，可啟動馬達260以便往上移動（z軸方向） 個別舉升元件262 ,來使每一突出物264上表面可與每一耳 部266的底部接觸。當每一突出物264可與每一耳部266接 觸時，可使馬it 260連續往上到達—限定位^，鄰近該頂部 222的下表面。該探針2〇5A現在處於内部空間2〇〇之一储存 位置，且可被用在後續的測試程序中。測試台21〇的上表面 具有充分的淨空，以在探針舉升組件23〇八下方水平移動， 而不受在此儲存位置之探針2〇5A的干擾。

於測試系統100中進行測試之後，除了傳送至一儲存位 置之外’ A致可參照探針2〇5A的方式來提供探針2㈣。舉 例來說，可將探針2G5B傳送至探針支料24〇並放置在測 試台21〇上。可將測試腔s u ' 供測試之用。將探針使其準備好可 泳針205B放置在測試台21〇上以 的淨空，供後續傳送基板之用，充刀 a疋基板傳送可在探釺205b 係位於測試台21〇上方$杯私m 木了 上万之任一位置時才發生。 在另一種實施方式中，可 、 第一探針2 0 5 B至測試 20 1338145 腔室110中。在—種應用方式中，可依照和傳送上述探針 205A的相同方式，將探針2〇5B傳送至測試台21〇上。可參 照上述傳送探針205A的相同方式，將探針205B傳送至一儲 存位置。可將探針205 A、205B兩者加以儲存，以容許測試 台2 1 0可接收一欲進行測試的基板。在此實施方式中，可將 該些可移動的側壁1 50關上並密封，且抽空内部空間200使 其可供後續測試之用。 Φ 待測試腔室1丨〇被密封並抽空之後，如果之前沒有基板 被傳送進入該腔室丨1 〇 ,則可將該些大面積基板之一，例如 基板S1和S2 ’傳送進入測試腔室1丨〇中。在此實例中，基 板S 1先排隊’然後從真空隔離腔室丨2 〇傳送進入測試腔室 110中。如果兩探釺205a、205B均位在儲存位置，其中一 探針，在此例中為探針2〇5 A，可被用在基板s丨的測試流程 中。以末端作動件2 1 4將基板S 1傳送到測試台2 1 0(第2圖） 並放在上方平台212上。以内部空間200中的感應器來監控 基板S1在水平方向（X及γ方向）上的對齊程度並利用末端作 ® 動件214所提供的水平移動（X及Υ方向）來修正任何未對齊 之處。一旦基板S1對齊後，即可降下末端作動件214並將 基板S1放在測試台210的上方平台212上。 待基板S1已被放置在測試台2〖0上之後’測試台21〇 以幫助從該些儲

和基板S1可位在探針舉升組件23〇α下方， 存位置處接收4 S 1並未就定位 探針舉升組件 21 38145 移動可能需要在γ方向上移動測試台2"和 者（其分別與每一探針支撐件24〇耦接）。可 使其往Υ軸方向移動一段距離並啟動探針平 焱距離以便從探針舉升組件2 3 〇 Α接收探針 及3Β圖所示。一旦探針2〇5Α已從探針舉升 傳送到探針平台310,即可使探針2〇5Α上的 S 1上的特定部分彼此接觸。 φ 第4Α圓為一探針205Α和一基板之實加 該探針205Α係由探針支撐件24〇所支撐而 方。基板S1大致為矩形且一般具有可形成 器或液晶顯示器（如圖所示之顯示器43〇)的 示器43 0 —般包括複數個導電區域，例如接 其鄰接母一顯示器430外周長》該些接觸塾 一單一導電接點或是多數個導電接點有時和 blocks)」，一般配置成與個別顯示器43〇的 實質沿著基板S 1的Y軸和/或χ軸，來設置 φ 些接觸墊423、427也可以是設置在鄰近顯； 短柱。 在一實施方式中，每一顯示器43〇包括 周界，且每一接觸墊423、427位於顯示器 靠周界外側。接觸墊423、427可與周界的 數個邊緣實質平行’或者可與周界的—個邊 緣成一角度。例如，接觸墊可以是成排或成 點，且當當接觸墊的該排或列不平行於顯示 探針平台3 1 0兩 啟動測試台2 1 0 台310使移動一 205A，如第 3A 組件2 3 0 A處被 特定部分與基板 丨的部分上視圖， 位於基板S 1上 一或多平板顯示 大面積。每一顯 觸墊 423、427， 423 、 427 可為 !ί稱為「墊塊（pad 外邊緣平行。可 該些接觸墊。該 器430週邊的 具有四個邊緣的 周界附近並稍微 一個邊緣或者複 緣或者複數個邊 列的複數個接觸 器的邊緣時，該 22 1338145 排或列可與在實際應用中的顯示 另—實施方式中，當接觸墊423 個邊或複數個邊來設置。 器430的邊緣成一角度。在 427可沿著該基板si的一

接觸塾423、427 一般係由位於基板S1上或沉積於基板 s 1上的導電材料製成，並可電性輪接至個別顯示器4 3 〇的元 件或成排或程列的；^件上，例如TFT上。該些接觸势似、 427可提供電子訊號的界面’以於最终製造期間經由耦接的 精密連線來啟肖TFT。但在測試顯示器彻的可操作性期 間，該些接觸墊423、427可為複數個探針腳425(第4b_4d 圖）提供一界面，其可施加或感應來自TFT的訊號到個別顯 示器430上。可經由耦接至該探針2〇5A的一控制器來提供 或傳送該些訊號，控制器與探針組件2 〇 5 A間的電性耦接係 利用電規或電線而與每一該探針腳425耦接。

該探針組件205A包括至少一矩形框架4]〇，其具有一 沿者Y軸方向的第一尺寸，其等於或小於基板w的一半長 度；和一沿著X轴方向的第二尺寸，其等於或大於基板si 的寬度。在某些實施方式中，該框架41〇可包括沿著χ方向 轴》又置的或複數個橫向元件415 (cross-members 415)。或 者，該框架410也可包括沿著γ方向轴設置的一或複數個橫 向το件416，其耦接至框架4丨〇或該橫向元件4丨5。可將該 些橫向元件415、415固定在框架41〇上’或是沿著框架41〇 内表面的長度或寬度來調整。具有可調整之橫向元件和/或框 的探針組件或框的實例可參見2〇〇4年7月丨2曰提伸的美國 專利申請案第10/889,695號，2005年8月18日公開的美國 23 1338145 專利申請案第2005/01 7945 1號，2004年7月30曰提伸的美 國專利申請案第10/903,216號，以及2005年8月18曰公開 的美國專利中請案第2005/01 79452號，其内容併入本文作為 參考。 在—實施方式中，框架410包括複數個接頭42〇，其提 供可調整特徵給探針組件205Α。舉例來說，該些接頭42〇

探針組件205Α的長度（Υ方向）可調整，其中可使用一區 4 1 Q λα. 。该區段4 1 9可包括任一長度，用以調整探針組件2〇5 Α 的長度以適應各種不同的顯示器330尺寸與基板！ 05上的接 樣。可以固定件（如螺絲、螺栓、銷、彈簧鎖等類似 將守此 4》 二接頭420耗接至植架410上》或者，該框架41〇可以 是—單~主體。 4Β圖為第4Α圖令橫向元件415的部分放大視圖。橫 ° _件415包括一主體470和一橫向段472。在一實施方式 ^向tl件4 1 5為管狀且係由輕質材料製成，例如鋁。橫 向段4 7 "

2的形狀可為矩形、三角形、梯形或改良的梯形或其 D该主體470可包括一下表面474 ’具有複數個自該 下表面伸出的接觸針腳425，如第4Α圖所述。 常 Λ c圖為第4Α圖中框架410的部分放大視圖^框架 410包括— 主體47〇和—橫向段472(其可為矩形、梯形三角 形、咬装 •"丹之組合）。該主體47〇可包括一下表面474，在一實 施方式令，-p a 士 ▲ ’可具有複數個自該下表面伸出的接觸針腳425»

外的橫向元件416也可以是如同第4B圖所繪示的橫向 元件4 1 S ’或是如同第4C圖所繪示的框架410。 24 1338145 第4A圖所示的基板S1，包括複數個顯示器43〇，在此 實例中為8個46英吋的顯示器，f質均勻地配置在基板上。 在其他實施方式中，基& S1彳包括以不同方式配置的不同 大小的顯示器430，例如複數個等面積的顯示器’或是大面 積與小面積顯示器之組合，使基板S1的表面積可被更有效 地利用。探針組件205A被設計成可逐步地從以任何方式配 置之顯示器的任一部分來提供感應訊號。

將基板S 1分成至少兩部分，例如—第一部分421和一 第二部分422。在一實施方式中，該些部分42丨、422可約等 於基板105長度或寬度的一半且該探針組件2〇5a的大小等 於該些部分42〗、422之一者。在另一實施方式中，每一該 些部分421、422可約等於基板1〇5長度或寬度的m、1/4 或1 / 5等等’且該探針組件2 0 5 A的大小等於該些部分4 2 1、 422之一者。在另一實施方式中，該探針組件2〇5a的大小可 等於或大於該基板長度或寬度的一半。該探針組件205A係 適以提供或感應由該個別部分中至少一顯示器4 3 0而來的訊 號。該探針組件2 0 5 A被設計成當基板線性移動通過一測試 區4 9 0時’可測試該基板之每一部分，該測試區係由許多測 試行列組成之一定大小的面積（並未示於圖上）。 測試區490可於基板S 1上方提供足以測試該基板S 1之 長度或寬度的累積區域。在一實施方式t，該測試區490的 面積在X轴方向上約為1950 mm到2250 mm之間，在Y袖 方向上則約在240 mm到290 mm之間。在一另實施方式中’ 該測試區490的面積在X軸方向上約為1920 mm到2320mm 25 1338145 之間’在Y軸方向上則約在325 mm到375 mm之間。由測 試行列所提供有關測試面積的額外資訊可參見美國專利申 請案第2006/0244467號，其内容併入本文作為參考。 探針組件205A，特別是讓耦接至框架4 1 〇、橫向元件 415、接觸頭4】8及其之組合的探針腳425，與基板si上的 接觸墊423、427接觸。在一實施例中，該接觸係藉由垂直（z 柏方向）致動上方平台212’並使接觸墊423、427與探針腳 φ 425接觸而完成。其他實施例中，可藉由致動探針框架410、 致動探針平台310、致動橫向元件415、致動接觸頭418與 其之組合而讓探針腳425與接觸墊423、427接觸。可利用 耗接到探針平台3 1 0之驅動器3 1 2在測試台2 1 0相反兩邊上 的移動’來修正並調整接觸墊423、427與探針腳425間的 不對齊。 一旦在接觸墊423、427與探針腳425間建立接觸且決 定出測試參數後，至少在γ方向上移動由測試台2丨〇支撐的 基板S1與探針組件205A，並穿過測試區490。此移動可以 φ (一種連續性的動作或是-種步進式動作，其_該測試台在 測試區490中係逐步地移動並間歇式地停止。無論是連續地 或間歇式地移動，第一部分42丨，和第一部分42丨中的所有 顯示器，係可移動通過測試區49〇並被加以測試。 待第分42 1已全部通過測試區49〇後，必須將探針 組件205A由第一部分421移送到第二部分422，以便測試基 板S 1上的第—部分。為完成此移&，啟動耦接至探針平台 3 10之探針舉升件328 (第3B圖）往上（z軸方向），使探針組 26 丄 4：) 件205A能與探斜古产μ '保針支樓件240與測試台210上的其他部 隔一段距離。也可祛μ 士 1刀仲 # 使上方平台212往下移動（Ζ軸方向），使 基板與探針組件2〇5Α刼Bs ；；仗 相隔一段距離。探針舉升件3 2 8的垂 一 β距(Ζ輛方向)在約2 _至約1〇 mm F[例如約5 _。 :旦升向後’可啟動耗接至探針平台川之驅動器312，使 探針205A可产荽決 。者探針支撐件240從第一部分421水平移動

向）到第—部分422。該些驅動器3 1 2係被同步和/或監 ^以確保沿著探針支#件24。兩邊上的移動幾乎—樣使 于仏針2G5A可在第二部分422中對齊。如果探針加a沒有 對齊’可單獨啟動個別驅動器312，來修正該些不對齊現象。 —旦充分對齊且位於第二部分422上方後，可啟動探針 ^升件328往下（Z軸方向）使探針2〇5a可被放置在該探針平 口 310之上表面上。耦接到探針2〇5a的針腳33〇(第π圖） 可位在導引孔332中以使探針平台3丨〇上的探針2〇5八可對 齊。一旦在探針平台310上就定位後’可讓接觸墊423、427

與探針聊425接觸，並可使測試台2〗〇往γ方向上移動以 便測試第二部* 422 »第二部分422，與第二部> 422令的 所有顯示器’係可在測試區49〇下方移動並被加以測試。 4測試完第一部分42 1與第二部分422中的所有顯示器 430之後，可從測試腔室n〇將基板μ傳送出來。並將下一 排隊的基板（其可以是具有與基板8丨類似之顯示器與接觸墊 配置的另-基板)送入測試腔室！ j 〇巾。在此狀況下，探針 205A可保持耦接至探針平台3 1〇且該即將被測試的基板 S2，可被傳送至測試腔室n〇中。可依上述方式放置及對齊 27 1338145 該即將被測試的基板S2，並將探針205A放在第一部分421 或第15刀422的上方。讓接觸墊與探針腳接觸後，即可開 始測試。—旦所有顯示器均完成測試後，即可傳送基板離開 該測試腔$ 11Q。只要使用探針2〇5a來測試，即可不斷重複 此測試程序。

如下排隊的基板s3的顯示器與接觸墊配置與基板 S 1和S2不同，則可能需要使用探針205B來測試基板S3。 在此例下可從測試台2丨〇將探針2 〇 5 A傳送至一儲存位置， 並從儲存位置將探針2〇5B傳送至測試台21〇。此動作並不需 要抽氣或打開測試腔室1丨〇，來使探針2〇 5 A離開測試腔室 110或使探針205B進入測試腔室11〇中。

位在探針支樓件240上的探針2〇5A，可被放置在測試 D 210及探針平台31〇之一或其兩者上方以幫助從測試台 210傳送探針2G5A到探針舉升組# 23()a。將探針2()5A置 於探針舉升組件2观下方，以容許舉升元件加可藉由馬 達260降低至一與捸針2〇5八相反側上之耳部鄰接的位 置處。突物264的上表面（第2A )被設計成可從個別耳部 266的一底表面上來支撐每一耳部266於探針2〇5八上。探針 205 A可破設置在探針平台3丨〇和測試台2 1 〇之一或二者的γ 方向上’以使突出物可享有垂直方向上的淨空。—旦突出物 264的上表面位在下方且與個別耳部266底面水平垂直分 隔，即可停止舉升元件262的往下運動。 刀 接者可以探針平台3丨〇和測試台2丨〇之一或二 移動方向）探針2〇5A至一可使該些耳部266能與_；^ 28 1338145 物264相配合的位置。當該些耳部—與該些該些突出物2“ 對齊後，可…舉升件260以便往上(2方向)移動個別舉 升兀件262史的每—突出# 264上表面可接觸每·~耳部266 的底部。當接觸後，可使馬達26〇持續往上到達一鄰近頂部 222下表面的一極限位置。此時，探針2〇5八係處於内部空間 的储存位置，並可用在後續測試程序中或是後續從測 試腔室1 1 0被傳送離開。

從内部空間200的儲存位置傳送探針2〇5B，必須在γ 方向上移動探針平台3丨〇和/或測試台2 1 〇至探針舉升组件 230Β下方的一個位置β 一旦位在探針舉升組件23〇β下方， 即可啟動探針205Β往下（Ζ方向），以將探針2〇5Β放在探針 平。3 1 0上。探針舉升組件23 〇Β將探針2〇5Β降低至探針平 σ 310之上表面’其中探針舉升件328可在探針平台31〇上 方（Ζ方向）延伸。或者，可縮回探針舉升件328並降下探針 205Β到探針平台3 1 〇的上表面。一旦探針2〇5Β的下表面接 觸到探針平台3 10的上表面後，即可使探針舉升組件23〇β 連續往下（Ζ方向）直到該些耳部266與該些該些突出物264 之間出現充分的空間為止。當耳部266與個別相應突出物264 之間相隔足夠距離之後，可再以探針平台3丨〇和測試台2】〇 之一或二者來水平移動（γ方向）探針2〇5β ,以容許往上舉升 探針舉升組件230Β。一旦耳部266與個別相應突出物264 之間相隔足夠距離之後’可往上舉升該探針舉升組件2 3 〇 Β 到測試台21 0上方的一極限位置。此時，可將探針205β置 於測試台2 1 0上並準備用來測試正在排隊的下一基板，其可 29 I； 能是基板S3。 當探針2 205B * . 〇5A被儲存於測試腔室Π0中時，可使用探針

板。本Μ ^ 有類似顯示器和接觸墊配置的一或複數個基 不同 仃測試的基板需要使用一與探針2〇5A、205B 宝 來須丨試時，即可將探針205A、205B移出測試腔 至1 1 0，以番紅 .. 祈組態該些探針或是以其他適合測試的探針來 代替。 ，隹然則述針對本發明的實施方式，但是在不脫離其基本 範圍的情況下，士 Λ ’本發明可設計爲本發明其他和進一步的實施 本發明的範圍由以下的權利要求所確定。 【囷式簡單說明】 爲了可以更詳細地理解上述的本發明的特徵可參照實 施方式對以上的簡要概括進行更加詳細的描述，纟中部分實 施方式在附圖中示出。然而，應該理解附圖僅示出了本發明 的” 實施方式，因此不應理解爲對本發明範圍的限定，因 φ 肖本發明可承認其他等效的實施方式。 第1圖爲測試系統的一個實施方式的等轴側視圖； 第2Α圖疋一測試系統的另一個實施方式的部分側視 pyi ·

圓I 第2B圖是一測試腔室的一個實施方式的部分末端視 固， 第2C圖是第2B圖之測試腔室的一部分的放大視圖； 第3A圖是一探針支撐元件的一個實施方式的一特定角 30 1338145 度視圖； 第3B圖是一探針平台的一個實施方式的一特定角度視 圖； 第4A圖是探針205A與一基板之一實施方式的部分頂視 圖； 第4B圖是一橫向元件之一實施方式的一部分軸視圖； 第4C圖是一框架之一實施方式的一部分軸視圖。

爲了便於理解，盡可能使用同一附圖標記表示附圖中共 有的同一元件。應該理解在一個實施方式中公開的元件可有 利地應用於另一實施方式中而不再特定敍述。 【主要元件符號說明】

100 測試 系統 105 大面積基板 110 腔室 115 測試柱 120 真空隔離腔室 122 真空泵 130 入口 135 閥 136 口 150 側壁 15 1 致動 器 158 顯微鏡 159 觀察 σ 160 顯微鏡組件 200 内部 空間 205Α 探針 205B 探針 205L 降下的探針 205R 升向 的探針 210 測試台 212 上方 平台 214 末端作動件 214A〜214D 指部 215 溝槽 31 1338145

222 頂 部 224 第 一 區 226 第 二 區 230Α 舉 升 組 件 230B 舉 升 組件 240 支 撐 元 件 260 馬 達 26 1 桿 262 頂 部 264 突 出 物 266、 272 耳 部 3 10 平 台 3 12 驅 動 器 3 15 編 碼 帶 322 通 道 325 接 觸 點 326 訊 號 界面 327 接 觸 器 328 探 針 舉升件 329 接 觸 板 330 針 腳 332 導 引 孔 341 開 σ 342 盤 4 10 框 架 415、 416 橫 向 元 件 418 接 觸 頭 4 19 區 段 420 接 頭 421 > 422 部 分 423、 427 接 觸 墊 425 探 針 腳 430 顯 示 器 470 主 體 472 橫 向 段 474 下 表 面 490 測 試 區 32

Claims (1)

1. 1338145 十、申請專利範圍： 1. 一種適以測試一具有一長度與一寬度之大面積 的探針組件，包含： 一矩形框架，其具有一等於或小於該大面積基板一 度之長度，以及一等於或大於該大面積基板寬度之寬度 中该矩形框架具有—橫向元件，该橫向元件附著於該框 一内表面且橫跨該框架之寬度；以及 複數個探針腳，自該框架之____下表面延伸並適以接 大面積基板’其中該複數個探針脚沿著該矩形框架之長 沿著該矩形框架之寬度而延伸。 2.如申請專利範圍第1項所述的探針組件，更包括 有一線性堪動器之探針支撐件，其設以相對該基板橫向 該矩形框架。 3.如申請專利範圍第1項所述的探針組件，其中該 包含複數個接觸頭，其適以接觸該大面積基板。 4 ·如申請專利範圍第1項所述的探針組件，其中該 包含四邊且該四邊中至少一邊包枯一接觸板，該接觸板 複數個接觸頭間可彼此聯通。 5.如申請專利範圍第4項所述的探針魬件，其中該 板位於該框架的下表面上。 基板 半長 ，其 架之 觸該 度及 一具 移動 枢架 框架 與該 接觸 33 1338145

   7.如申請專利範圍第1項所述的探針組件， 包含四邊且至少兩個相對邊包括至少二個自其延 6.如申請專利範圍第1項所述的探針組件， 包含四邊且至少兩個相對邊包括至少一個自其 (lug)。 8 ·如申請專利範圍第1項所述的探針組件， 包含四邊，且至少兩個相對邊包括至少一個自 部，且剩下的兩邊包括至少二個自其延伸之耳部 9.如申請專利範圍第1項所述的探針組件， 之寬度係可調整的。 1 0.如申請專利範圍第1項所述的探針組件 架包括至少兩個自其之下表面延伸之導引針 pins) ° 1 1. 一種適以測試一大面積基板的探針組件 一矩形框架；以及 複數個接觸頭，沿著該框架之一長度及沿著 寬度耦接至該框架，其中該複數個接觸頭適以接 基板，其中該矩形框架具有一橫向元件，該橫向 其中該框架 延伸之耳部 其中該框架 伸之耳部。 其中該框架 其延伸之耳 〇 其中該框架 ，其中該框 腳（indexing ，包含： 該框架之一 觸該大面積 元件附著於 34 1338145 該樞架之，内表面且橫跨該框架之寬 之長度係 少於該大面積基板之 策度係等於或大於該大面積基板 度’且其令該矩形框 ~~半長度，且該矩形 之寬度。 架 框 12- 數個换 如申請專利範圍第j j 觸頻包括複數個自其之 項所述的探針組件， 一下表面延伸之探針 其中該複 腳〇

   ’更包括一 板横向移動 13.如申請專利範圍第丨丨項所述的探針組件 具有一線性驅動器之探針支撐件，設以相對該基 該矩形框架。 1 4 ·如申請專利範圍第1丨項所述的探針組 甲羊匡 架包含四邊且至少兩個相對邊包括至少一個自其延 部。 之耳 1 5 ·如申請專利範圍 丨項所述的探針組件，装 <、T 3¾ 框 架包含四邊且至少兩個相對邊包括至少二個自其延伸之耳 部。 16·如申請專利範圍第1 1項所述的探針組件，其中該框 架包含四邊且至少兩個相對邊包栝至少一個自其延伸之耳 部，且其剩餘的兩邊包括至少二個自其延伸之耳部。 ]7-如申請專利範圍第〗〗頊所述的探針組件，其中該框 35 Ι338Γ45 架之宽度係可調整的。 1 8 ·—種用於大面積基板之測試系統，包含·· —測試台，其大小適以接收一大面積矩形基板；及 一探針組件，其適以接觸該大面積基板，其中該探針組 件包含： 一矩形框架；及

   複數個探針腳，其沿著該框架之長度及沿著該框架之 寬度而自該框架之一下表面延伸，其中該複數個探針腳係適 以接觸該大面積基板，其中該矩形框架具有一橫向元件，該 橫向元件附著於該框架之一内表面且橫跨該框架之寬度，且 其中該矩形框架之長度係等於或小於該大面積基板之一半 長度’且該框件之寬度係等於或大於該大面積基板之寬度， 且其中該矩形框架係可藉由至少二個馬達沿著該測試台之 長度移動》 1 9.如申請專利範圍第1 8項所述的系統，其中該框架包 3四邊且至少兩個相對邊包括至少一個自其延伸之耳部且 其剩餘的兩邊包括至少二個自其延伸之耳部。 2 〇 ·如申印專利範圍第1 8項所述的系統，其中該框架包 括一等於或小於該大面積基板一半長度之第一尺寸：以及一 等於或大於該大面積基板寬度之第二尺寸。 36