JP2009535656A - 光特性補償のための温度無依存のアレイ導波路回折格子合分波器及びその製作方法 - Google Patents
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Abstract
Description
dx/dλ=[Lf*ΔL/(ns*dλo)]*ng
ここで、Lfは、スラブ導波路の焦点長さであり、ngはアレイ導波路(Arrayed Waveguides)の群屈折率である。
dx=[Lf*ΔL/(ns*dλo)]*ng*(dλ/dT)*T
LO=LD+LK
[式4]
LF=LOLK+LG+LC
ここで、LOは、切断前の最初設計された光路長さ12a、LDは、切断後の光路長さ12d、LCは、光路長さ補償のための付加的な光路長さ12c、LGは、二つのサブチップ6a、6b間の整列間隔10、そしてLKは、切断幅11である。
切断工程の途中に、切断刃の厚さに相応する温度無依存の導波路回折格子チップの特性部分を除去することは不可避なことであって、このような所望しない除去工程は、温度無依存の導波路回折格子の光特性、特に3dB帯域幅の変化を招来する。本発明では、光路長の変化により生じる光特性の変化を容易に補償するために、1)基板の切断幅11に相当する付加的な光路長12cが、導波路設計工程及び製作工程の途中に、導波路回折格子チップの切断される部分に付加され、補償された光路長12dが切断後にも維持される光路補償方法と、2)切断後に光路長さの変化を最小化する付加的な入力ストライプ導波回路1bの使用前に、付加的な導波路1bが基板の切断幅11に相当する距離だけシフトされた位置に付加される位置補償方法と、の二つの方法を提示する。
Claims (11)
- 導波路回折格子チップの光路長が切断される際に、基板の切断された幅による光路長の減少により生じる光特性変化を補償するための、温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法であって、
付加的な光路長を有する導波路部分が、切断される同一な導波路部分上に付加される、導波路回折格子チップのためのフォトマスクを設計するステップと、
付加的な光路長を有する導波路部分が、切断される同一な導波路部分上に付加される、平面基板上のアレイ導波路回折格子チップを作製するステップと、
アレイ導波路回折格子チップの光路を切断して、基板の切断幅に相当する光路長を除去するステップと、
アレイ導波路回折格子チップの光路を再整列するステップと、
を含む光特性変化を補償するための温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。 - 導波路回折格子チップの光路長が切断される際に、基板の切断された幅による光路長の減少により生じる光特性変化を補償するための、温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法であって、
付加的な入力ストライプ導波回路を含む導波路部分が最初入力ストライプ導波回路を含む、切断される、最初導波路部分から切断幅に相応する特定距離だけシフトされた位置に付加される、導波路回折格子チップのためのフォトマスクを設計するステップと、
付加的な入力ストライプ導波回路を含む導波路部分が最初入力ストライプ導波回路を含む、切断される、最初導波路部分から切断幅に相応する特定距離だけシフトされた位置に付加される、平面基板上のアレイ導波路回折格子チップを製作するステップと、
アレイ導波路回折格子チップの光路を切断するステップと、
その位置が切断される、最初導波路部分から切断幅に相応する特定距離だけシフトされた付加的な入力ストライプ導波回路を用いてアレイ導波路回折格子チップの光路を再整列するステップと、
を含む光特性変化を補償するための温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。 - アレイ導波路回折格子チップの入力導波路の一部分を切断するステップ、
アレイ導波路回折格子チップの入力スラブ導波路の一部分を切断するステップ、
アレイ導波路回折格子チップの入力ストライプ導波回路と入力スラブ導波路との間の境界面にある一部分を切断するステップ、
アレイ導波路回折格子チップの入力スラブ導波路とアレイ導波路との境界面にある一部分を切断するステップ、
アレイ導波路回折格子チップのアレイ導波路の一部分を切断するステップ、
のいずれか一つのステップを含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の光特性変化を補償するための温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。 - 基板の切断幅と、整列された二つのサブチップ部間の間隔との長さの差の5%乃至200%で決定される付加的な光路長を付加するステップを含むことを特徴とする、請求項1に記載の温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。
- 導波路回折格子チップの光路長が切断される際に、基板の切断された幅による光路長の減少により生じる光特性変化を補償するための、温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法であって、
アレイ導波路回折格子チップが切断される際に、フラットトップ作動機能導波路構造1cを、入力ストライプ導波回路を含む入力サブチップ部6aに位置させるステップと、
フラットトップ作動機能導波路構造1cを有する入力ストライプ導波回路を含む入力サブチップ部6aにより、アレイ導波路回折格子チップの光路を再整列するステップと、
を含む光特性変化を補償するための温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。 - 導波路回折格子チップの光路長が切断される際に、基板の切断された幅による光路長の減少により生じる光特性変化を補償するための、温度無依存の導波路回折格子素子であって、
アレイ導波路回折格子チップの切断後に、アレイ導波路回折格子チップの入力ストライプ導波回路を含む入力サブチップ部6aに位置されるフラットトップ作動機能導波路構造1cと、
二つのサブチップ部の光路の再整列の後に、アレイ導波路回折格子チップの入力ストライプ導波回路を含む入力サブチップ部6aに位置されるフラットトップ作動機能導波路構造1cと、
を含む温度無依存の導波路回折格子素子。 - 入力ストライプ導波回路1aまたは1bと、切断された面との間に位置するフラットトップ作動機能導波路構造1c、
入力ストライプ導波回路1aまたは1bと、入力スラブ導波路3の切断された部分との間に位置するフラットトップ作動機能導波路構造1c、
入力ストライプ導波回路1aまたは1bと、 切断されていない入力スラブ導波路3との間に位置するフラットトップ作動機能導波路構造1c、
のいずれか1つを含む特徴とする、請求項6に記載の温度無依存の導波路回折格子素子のフラットトップ作動機能導波路構造。 - 導波路回折格子チップの切断前に、付加的な入力ストライプ導波回路1bとダミ導波路1dとの間に位置するフラットトップ作動機能導波路構造1cを含むことを特徴とする、温度無依存の導波路回折格子素子のフラットトップ作動機能導波路構造。
- アレイ導波路回折格子チップを切断する前に、出力光ファイバーまたは出力光ファイバーアレイを出力ストライプ導波回路に付着するステップを含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の光特性変化を補償するための温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。
- アレイ導波路回折格子チップを切断する前に、最初入力ストライプ導波回路1aを用いてアレイ導波路回折格子チップの光特性を検査するステップと、
最初入力ストライプ導波回路1aの位置からシフトすることにより、入力光ファイバーまたは入力光ファイバーアレイを付加入力ストライプ導波回路1b及び出力ストライプ導波回路に対して整列して付着するステップと、
を含むことを特徴とする、請求項2に記載の光特性変化を補償するための温度無依存の導波路回折格子素子を製作する方法。 - ダミ導波路1dを、付加的な入力ストライプ導波回路1bと入力スラブ導波路3との間の切断されて除去される部分に付加するステップと、
ダミ導波路1dの一部または全部を除去するステップと、
を含む請求項2に記載の付加的な入力ストライプ導波回路を施す制作方法。
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