JP2009532237A5 - 液滴射出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、液滴射出装置用のコンポーネントに関し、そしてさらに特に液滴射出装置用のカバー部材に関する。本発明は、ドロップ・オン・デマンドインクジェット印刷の領域に特に応用される。
本発明者は、驚くべきことに、或る構成では、チェンバー可撓性は許容され、かえって利益になることすらあるということを見いだした。
「サイド・シューター」および「エンド・シューター」の両者のプリントヘッドについて行われた実験は、150μmより薄いカバーの厚さが射出の性質に顕著に影響することなく利用できるという驚くべき発見を導く。周知のアクチュエーターは、典型的な例では、従来技術で教示された必要なさを確保するために、900μmの厚さを使用する。

Claims (12)

  1. ピエゾ電気材料から形成され細長く延出し電場の適用を受けて変形する相対して配置された一対のチェンバー壁によって画成され、チェンバー壁間隔で互いに分離されて、細長く延出する複数の流体チェンバーからなる列と、
    前記複数のチェンバーの夫々に流体連絡し外部へと液滴が射出されるノズルが形成され、該複数のチェンバー壁の延出方向に並行な面に接合されて該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材と、を備え、
    該カバー部材の厚さは、該チェンバー壁間隔よりも薄い、ことを特徴とする液滴射出装置。
  2. ピエゾ電気材料から形成され細長く延出し電場の適用を受けて変形する相対して配置された一対のチェンバー壁によって画成され、チェンバー壁間隔で互いに分離されて、細長く延出する複数の流体チェンバーからなる列と、
    前記複数のチェンバーの延出先の端部に配置され、前記複数のチェンバーの夫々に流体連絡し前記各流体チェンバーの前記端部から外部へと液滴が射出されるノズルと、
    該複数のチェンバー壁の延出方向に並行な面に接合されて該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材と、を備え、
    該カバー部材の厚さは、該チェンバー壁間隔よりも薄い、ことを特徴とする液滴射出装置。
  3. 該チンバー壁がすべりモードで変形する請求項1又は2の装置。
  4. 該カバー部材の厚さは、該ンバー壁間隔の5分の1以下である請求項1−3のいずれか1項の装置。
  5. 該カバー部材は、100×10N/m以下のヤング率を有し、その厚さが5−150μmの範囲内である請求項1−4のいずれか1項の装置。
  6. 該カバー部材が、該チェンバーから離れるようにして流体マニホールド域と境を接している請求項1−のいずれか1項の装置。
  7. 該カバー部材がポリマーから形成されている請求項1−のいずれか1項の装置。
  8. 該カバー部材がポリイミドから形成されている請求項の装置。
  9. 該カバー部材が合金から形成されている請求項1−のいずれか1項の装置。
  10. 該カバー部材がポリマーと金属又は合金との複合材料から形成されている請求項1−のいずれか1項の装置。
  11. 該カバー部材がフォトレジスト材料からなる請求項1−のいずれか1項の装置。
  12. フォトレジスト材料がSU−8である請求項11の装置。
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0606685D0 (en) 2006-04-03 2006-05-10 Xaar Technology Ltd Droplet Deposition Apparatus
JP5032613B2 (ja) * 2010-03-02 2012-09-26 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド、インクジェット記録装置
JP5473140B2 (ja) 2010-08-11 2014-04-16 東芝テック株式会社 インクジェットヘッドおよびその製造方法
JP5427730B2 (ja) * 2010-08-19 2014-02-26 東芝テック株式会社 インクジェットプリントヘッド及びインクジェットプリントヘッド製造方法
JP5915186B2 (ja) * 2012-01-10 2016-05-11 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2014087949A (ja) 2012-10-29 2014-05-15 Sii Printek Inc 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法
JP2014091310A (ja) * 2012-11-06 2014-05-19 Sii Printek Inc 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6243720B2 (ja) 2013-02-06 2017-12-06 エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 Esd保護回路を備えた半導体装置
JP6172441B2 (ja) * 2013-03-28 2017-08-02 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
GB2520574B (en) 2013-11-26 2015-10-07 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus and method for manufacturing the same
JP6251108B2 (ja) * 2014-04-02 2017-12-20 株式会社東芝 インクジェットプリンタヘッド
KR102285832B1 (ko) 2014-07-25 2021-08-05 삼성전자주식회사 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
ES2657166T3 (es) * 2015-03-27 2018-03-01 Borealis Ag Procedimiento para separar hidrocarburos de un polímero
KR20170128801A (ko) 2016-05-16 2017-11-24 삼성전자주식회사 기판 세정 방법 및 이를 수행하기 위한 장치
BE1024613B1 (fr) * 2016-09-29 2018-05-02 Aerosint Sa Dispositif et méthode pour créer une structure de particules
GB2563235B (en) 2017-06-06 2021-05-26 Xaar Technology Ltd Method and apparatus for droplet deposition
GB2569090B (en) 2017-09-25 2021-03-10 Xaar Technology Ltd Method, apparatus and circuitry for droplet deposition
CN113272146B (zh) * 2019-01-09 2022-08-05 惠普发展公司,有限责任合伙企业 流体供给孔端口尺寸
GB2599902A (en) * 2020-10-11 2022-04-20 Mesa Tech Ltd Printing apparatus and method

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2555749C3 (de) * 1975-12-11 1980-09-11 Olympia Werke Ag, 2940 Wilhelmshaven Einrichtung zum Dämpfen des Ruckflusses der Tinte in der Düse eines Tintenspritzkopfes
JPS593273B2 (ja) * 1979-11-15 1984-01-23 富士通株式会社 インクジエツトヘツド及びその製造方法
DE3306098A1 (de) * 1983-02-22 1984-08-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisch betriebener schreibkopf mit kanalmatrize
US4992808A (en) * 1987-01-10 1991-02-12 Xaar Limited Multi-channel array, pulsed droplet deposition apparatus
US4887100A (en) 1987-01-10 1989-12-12 Am International, Inc. Droplet deposition apparatus
GB8722085D0 (en) 1987-09-19 1987-10-28 Cambridge Consultants Ink jet nozzle manufacture
GB9010289D0 (en) 1990-05-08 1990-06-27 Xaar Ltd Drop-on-demand printing apparatus and method of manufacture
JPH04241949A (ja) * 1991-01-14 1992-08-28 Citizen Watch Co Ltd インクジェットヘッド
JPH05229116A (ja) * 1992-02-25 1993-09-07 Citizen Watch Co Ltd インクジェットヘッド
JPH0671882A (ja) * 1992-06-05 1994-03-15 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド及びその製造方法
JPH05338147A (ja) * 1992-06-11 1993-12-21 Tokyo Electric Co Ltd インクジェットプリンタ
JPH06234210A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Brother Ind Ltd インク噴射装置
JPH06234215A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Brother Ind Ltd インク噴射装置
US6074048A (en) * 1993-05-12 2000-06-13 Minolta Co., Ltd. Ink jet recording head including interengaging piezoelectric and non-piezoelectric members and method of manufacturing same
GB9316605D0 (en) 1993-08-10 1993-09-29 Xaar Ltd Droplet deposition apparatus and method of manufacture
US5818481A (en) * 1995-02-13 1998-10-06 Minolta Co., Ltd. Ink jet printing head having a piezoelectric driver member
JPH0939241A (ja) * 1995-08-02 1997-02-10 Minolta Co Ltd インクジェット記録装置
DE69713845T2 (de) 1996-04-04 2003-03-13 Sony Corp., Tokio/Tokyo Druckvorrichtung und verfahren zu deren herstellung
US6234608B1 (en) * 1997-06-05 2001-05-22 Xerox Corporation Magnetically actuated ink jet printing device
JPH11138794A (ja) 1997-11-06 1999-05-25 Ricoh Co Ltd 液体噴射記録装置
JPH11138825A (ja) * 1997-11-07 1999-05-25 Hitachi Koki Co Ltd インクジェット記録ヘッドの製造方法
US6024440A (en) * 1998-01-08 2000-02-15 Lexmark International, Inc. Nozzle array for printhead
JP2001018384A (ja) * 1999-07-08 2001-01-23 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド
US6431690B1 (en) * 1999-03-26 2002-08-13 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink jet head and producing process therefor
US6345880B1 (en) * 1999-06-04 2002-02-12 Eastman Kodak Company Non-wetting protective layer for ink jet print heads
JP2001063050A (ja) * 1999-08-30 2001-03-13 Kyocera Corp インクジェットプリンタヘッド
JP4027027B2 (ja) * 1999-09-17 2007-12-26 キヤノン株式会社 インク、インクセット、インクカートリッジ、記録ユニット、画像記録装置およびインクジェット記録方法
JP2001191541A (ja) * 1999-10-29 2001-07-17 Kyocera Corp インクジェット記録へッド
JP2001246745A (ja) * 1999-12-27 2001-09-11 Kyocera Corp インクジェット記録ヘッド
EP1322476A1 (en) * 2000-09-26 2003-07-02 Xaar Technology Limited Droplet deposition apparatus
JP3711443B2 (ja) * 2000-10-25 2005-11-02 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録装置
JP2002154210A (ja) * 2000-11-20 2002-05-28 Canon Inc インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
JP2002292861A (ja) * 2001-03-30 2002-10-09 Kyocera Corp インクジェット記録ヘッド
GB0113639D0 (en) 2001-06-05 2001-07-25 Xaar Technology Ltd Nozzle plate for droplet deposition apparatus
GB0121625D0 (en) 2001-09-07 2001-10-31 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus
GB0121619D0 (en) 2001-09-07 2001-10-31 Xaar Technology Ltd Droplet depostion apparatus
US6820963B2 (en) * 2001-12-13 2004-11-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection head
WO2003061024A1 (fr) * 2002-01-15 2003-07-24 Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. Dispositif de commande piezo-electrique, tete a jet d'encre et imprimante a jet d'encre
JP2005515101A (ja) * 2002-01-16 2005-05-26 ザー・テクノロジー・リミテッド 液滴付着装置
KR100413693B1 (ko) * 2002-04-02 2004-01-03 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법
DE60332569D1 (de) * 2002-04-09 2010-06-24 Seiko Epson Corp Flüssigkeitsausstoßkopf
JP4290969B2 (ja) * 2002-04-16 2009-07-08 エスアイアイ・プリンテック株式会社 ヘッドチップ及びその製造方法
JP3999044B2 (ja) * 2002-05-24 2007-10-31 日本碍子株式会社 圧電/電歪膜型アクチュエータ及び製造方法
US20040051762A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-18 Nishi Shin-Ichi Inkjet recording head
JP2004114315A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置
JP2004330772A (ja) * 2003-04-18 2004-11-25 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェットヘッド及びそれを搭載した液滴吐出装置
DE602004005542T2 (de) * 2003-09-01 2007-12-13 Fujifilm Corp. Tintenstrahlkopf und Tintenstrahlaufzeichnungsgerät
JP4461758B2 (ja) * 2003-09-30 2010-05-12 コニカミノルタホールディングス株式会社 インクジェットヘッドの製造方法
JP2005249436A (ja) * 2004-03-02 2005-09-15 Enplas Corp 液滴吐出装置及び液滴吐出装置の製造方法
JP2006234215A (ja) 2005-02-23 2006-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 給水装置を備えた冷蔵庫
GB0606685D0 (en) * 2006-04-03 2006-05-10 Xaar Technology Ltd Droplet Deposition Apparatus

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