JP2009519132A - 光学要素の状態識別又は状態変化識別方法及びレーザ装置 - Google Patents
光学要素の状態識別又は状態変化識別方法及びレーザ装置Info
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Abstract
Description
図1は、レーザ装置の略図、
図2は、レーザ加工ヘッドの部分断面図、
図3a−3dは、超音波信号の種々異なる信号経路の例を説明するための略図、
図4は、検出された経過時間変化を時間に亘って示した例の図である。
Claims (19)
- 例えば、レーザ加工機器のような、レーザ装置(1)の光学要素(6,7,8)の状態識別又は状態変化識別方法であって、前記光学要素(6.7.8)の温度変化時に変化する量が検出される方法において、光学要素(6,7,8)内に超音波信号(21)を入力し、該超音波信号(21)の経過時間及び/又は経過時間変化(Δt1)を、予め設定された、又は、予め設定可能な区間に沿って前記光学要素(6,7,8)によって検出することを特徴とする方法。
- 経過時間及び/又は経過時間変化(Δt1)を、光学要素(6,7,8)の電磁波ビームの吸収度で、又は、当該吸収度の変化で推定する請求項1記載の方法。
- 経過時間及び/又は経過時間変化(Δt1)を、光学要素(6,7,8)の温度で、又は、当該温度の変化で推定する請求項1又は2記載の方法。
- 予め設定された、又は、予め設定可能な区間を、光学要素(6,7,8)の中心、殊に、中間点を通るようにする請求項1から3迄の何れか1記載の方法。
- 超音波信号(21)を光学要素(6,7,8)内に入力する請求項1から4迄の何れか1記載の方法。
- 区間を、光学要素(6,7,8)の縁領域だけを通るようにし、殊に、中間点を通らないようにする請求項1から3迄の何れか1又は請求項5記載の方法。
- 超音波信号(21)を、反射を用いて、複数回、光学要素(6,7,8)に案内する請求項1から6迄の何れか1記載の方法。
- 経過時間のグラジエント乃至勾配を求める請求項1から7迄の何れか1記載の方法。
- 光学要素(6,7,8)に電磁波ビーム、殊に、レーザを照射し、該照射の間、及び、予め設定された、又は、前記照射の終了後、予め設定可能な時間期間の間、経過時間及び/又は経過時間の変化(Δt1)を検出する請求項1から8迄の何れか1記載の方法。
- 光学要素(6,7,8)に、複数回、順次連続してインターバル状に電磁波ビームを照射する請求項9記載の方法。
- 経過時間及び/又は経過時間の変化(Δt1)を予め設定された又は予め設定可能な時間間隔で検出する請求項1から10迄の何れか1記載の方法。
- 光学要素(6,7,8)の周囲環境を記述する量を検出し、及び/又は、設定し、経過時間及び/又は経過時間の変化(Δt1)の評価の際に考慮する請求項1から11迄の何れか1記載の方法。
- 前記周囲環境を記述する量に依存して、特性フィールドが形成され、実際の経過時間又は経過時間の変化(Δt1)を前記特性フィールドを用いて解析する請求項1から12迄の何れか1記載の方法。
- レーザビーム(5)のビーム路内に設けられた、少なくとも1つの光学要素(6,7,8)と、温度変化時に変化する量の検出用の検出装置(10−12)を有するレーザ装置(1)、例えば、レーザ加工機器において、光学要素(6,7,8)内に超音波を入力するための超音波送信器(31)が設けられており、検出装置(10−12)は、超音波受信器(34)を有していることを特徴とするレーザ装置。
- 検出装置(10−12)は、超音波送信器と超音波受信器を有している請求項14記載のレーザ装置。
- 少なくとも1つのレフレクタが、超音波信号(21)の反射のために設けられている請求項14又は15記載のレーザ装置。
- 少なくとも1つの結合要素(20)が設けられており、該結合要素(20)は、超音波送信器(31)又は超音波受信器(34)と、光学要素(6,7,8)との間に設けられている請求項14から16迄の何れか1記載のレーザ装置。
- 結合要素(20)は、光学要素(6,7,8)に適合可能である請求項14から17迄の何れか1記載のレーザ装置。
- 検出装置(10−12)と結合された評価装置(13−15)が設けられている請求項14から18迄の何れか1記載のレーザ装置。
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