JPS61235092A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
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- JPS61235092A JPS61235092A JP60077689A JP7768985A JPS61235092A JP S61235092 A JPS61235092 A JP S61235092A JP 60077689 A JP60077689 A JP 60077689A JP 7768985 A JP7768985 A JP 7768985A JP S61235092 A JPS61235092 A JP S61235092A
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- JP
- Japan
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- lens
- laser beam
- machining
- laser
- assist gas
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1494—Maintenance of nozzles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ加工装置に関し、特に集光レンズを用い
てレーザ加工を行なう際のレンズ破損検出装置に関する
ものである。
てレーザ加工を行なう際のレンズ破損検出装置に関する
ものである。
第４図は従来のレーザ加工装置の構成図を示す。
図において、（２）は、図示せぬレーザ発振器から出た
レーザ光（１）を導き、かつレンズ（３）を保持する構
造を有する伝送管、（４）けＯリング、（５）は加工ア
シストガス（６ａ）の導入口（６）ｆ備えたノズル、（
７）は被加工物である。
レーザ光（１）を導き、かつレンズ（３）を保持する構
造を有する伝送管、（４）けＯリング、（５）は加工ア
シストガス（６ａ）の導入口（６）ｆ備えたノズル、（
７）は被加工物である。
次に動作について説明する。図示せぬレーザ発振器から
出たレーザ光（１）は伝送管（２）に入り、伝送管（２
）と０リング（４）を介在して固定されたレンズ（３）
に入射する。レンズ（３）に入射したレーザ光（１）は
、収束され、収束レーザ光（８）となり、加工アシスト
ガス導入口（６）よりノズル（５）の中空部（９）へ流
入した加工アシストガスと共に、ノズル先端から出射し
、レーザ光の焦点付近で被加工物（７）に照射され、レ
ーザ加工を行なう。
出たレーザ光（１）は伝送管（２）に入り、伝送管（２
）と０リング（４）を介在して固定されたレンズ（３）
に入射する。レンズ（３）に入射したレーザ光（１）は
、収束され、収束レーザ光（８）となり、加工アシスト
ガス導入口（６）よりノズル（５）の中空部（９）へ流
入した加工アシストガスと共に、ノズル先端から出射し
、レーザ光の焦点付近で被加工物（７）に照射され、レ
ーザ加工を行なう。
従来のレーザ加工装置は以上の様に構成されているので
、例えばＣＯ２レーザのレンズ（３）にけＣＯ２の波長
１０．６）ｔｒｎ ｆｒ透過するＺｎ５ｅ、ＫＣＡ’等
の結晶体レンズ、が用いられてｂる。これらのし、ズケ
、熱的９強蜜的に弱く、レンズ表面にゴミ等異物が付着
した場合、異物が付着した所で同品的にレーザ光が吸収
され、発熱が起こり、ひいてはレンズの破損を引き起こ
す０従来のレーザ加工装置では、レンズの破損を検出す
る手段を備えていなかったため、レンズの破損に気付か
ず加工を行ない、均一な加工が出来ない等の問題点があ
った。
、例えばＣＯ２レーザのレンズ（３）にけＣＯ２の波長
１０．６）ｔｒｎ ｆｒ透過するＺｎ５ｅ、ＫＣＡ’等
の結晶体レンズ、が用いられてｂる。これらのし、ズケ
、熱的９強蜜的に弱く、レンズ表面にゴミ等異物が付着
した場合、異物が付着した所で同品的にレーザ光が吸収
され、発熱が起こり、ひいてはレンズの破損を引き起こ
す０従来のレーザ加工装置では、レンズの破損を検出す
る手段を備えていなかったため、レンズの破損に気付か
ず加工を行ない、均一な加工が出来ない等の問題点があ
った。
本発明は上記の様な問題点を解消するためになされたも
ので、レーザ光集光用のレンズの破損をいち早く検出す
る事により、信頼性の高いレーザ加工装置を得ることを
目的とする。
ので、レーザ光集光用のレンズの破損をいち早く検出す
る事により、信頼性の高いレーザ加工装置を得ることを
目的とする。
本発明に係るレーザ加工装置は、レンズのレーザ光入射
側に、加工アシストガスを検出するガス検知器を設けた
ものである。
側に、加工アシストガスを検出するガス検知器を設けた
ものである。
この発明においては、レンズの破損により、レンズのレ
ーザ光入射側に流出した加工アシストガスを前記加工ア
シストガスの検知器にて検知する事により、レンズの破
損を検出する。
ーザ光入射側に流出した加工アシストガスを前記加工ア
シストガスの検知器にて検知する事により、レンズの破
損を検出する。
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第１図において（１）〜（９）は上記従来装置と同一の
ものである。αＯけレンズのレーザ光入射面（ＩＩＩ（
ロ）のレンズ近傍に設けられた加工アシストガス検知器
である。
ものである。αＯけレンズのレーザ光入射面（ＩＩＩ（
ロ）のレンズ近傍に設けられた加工アシストガス検知器
である。
加工アシストガス検知器としては、例えば、加工アシス
トガスとして酸素を用いる場合には、公知なジルコニア
酸素ガス検知器等が使用出来る。
トガスとして酸素を用いる場合には、公知なジルコニア
酸素ガス検知器等が使用出来る。
これは、ジルコニア系固体電解質の両面に白金電極が塗
布されているもので、両面の酸素濃度差による起電力の
余生を利用したものである。
布されているもので、両面の酸素濃度差による起電力の
余生を利用したものである。
上記の様に構成されたレーザ加工装置においては、第２
図に示す様にレーザ加工中にレンズ（３）に亀裂が生じ
てレンズ（３）のレーザ光入射側（ロ）とノズル中空部
（９）とに貫通部（２）が発生した時、加工アシストガ
ス導入口（６）より流入する加工アシストガス（２）が
貫通部υを通り、レーザ光入射側（ロ）内に流入する。
図に示す様にレーザ加工中にレンズ（３）に亀裂が生じ
てレンズ（３）のレーザ光入射側（ロ）とノズル中空部
（９）とに貫通部（２）が発生した時、加工アシストガ
ス導入口（６）より流入する加工アシストガス（２）が
貫通部υを通り、レーザ光入射側（ロ）内に流入する。
この流入した加工アシストガス（至）を加工アルゴンガ
ス検知器αＯにより検知する。加工アシストガス検知情
報処理のシステム構成を第３図に示す。レーザ加工装置
αηからのガス検知信号α嗜が、ガス検知信号処理装置
（１）に入り、レーザ箔振器α・から出るレーザ光（至
）を停止する信号＠を送ると共にレーザ加工装置（Ｌ″
りへは加工を停止させる信号（イ）を送る。同時に警報
信号（ハ）をレンズ異常警報装置−に出力し、レンズ（
３）の破損を自動的に知らせる事が出来、直ちにレンズ
（３）を交換する事により、加工ミスを防ぐ事が出来る
。
ス検知器αＯにより検知する。加工アシストガス検知情
報処理のシステム構成を第３図に示す。レーザ加工装置
αηからのガス検知信号α嗜が、ガス検知信号処理装置
（１）に入り、レーザ箔振器α・から出るレーザ光（至
）を停止する信号＠を送ると共にレーザ加工装置（Ｌ″
りへは加工を停止させる信号（イ）を送る。同時に警報
信号（ハ）をレンズ異常警報装置−に出力し、レンズ（
３）の破損を自動的に知らせる事が出来、直ちにレンズ
（３）を交換する事により、加工ミスを防ぐ事が出来る
。
なお上記実施例では、加工アシストガス検知器αＯを１
個設置したが、レンズのレーザ入射面周囲に複数個設置
する事によりレンズ破損検出精度が向上する。また、加
工アシストガスをかえてレーザ加工する場合に備えて、
異なった種類のガス検知器例えば切断加工に使用する酸
素検知器、溶接加工に使用するアルゴンガス検知器又は
ヘリウムガス検知器を併設しておいても良い。
個設置したが、レンズのレーザ入射面周囲に複数個設置
する事によりレンズ破損検出精度が向上する。また、加
工アシストガスをかえてレーザ加工する場合に備えて、
異なった種類のガス検知器例えば切断加工に使用する酸
素検知器、溶接加工に使用するアルゴンガス検知器又は
ヘリウムガス検知器を併設しておいても良い。
以上の様に、本発明によればレンズのレーザ光入射側で
加工アシストガスを検知するようにしたので、レンズの
破損を直ちに検出する事ができ、レンズ破損によるレー
ザ加工ミスを無くす事が出来るので信頼性の高いレーザ
加工装置が得られる効果がある。
加工アシストガスを検知するようにしたので、レンズの
破損を直ちに検出する事ができ、レンズ破損によるレー
ザ加工ミスを無くす事が出来るので信頼性の高いレーザ
加工装置が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例によるレーザ加工装置の断面
図、第２図は本発明によるレンズ破損時の状態断面図、
第３図は信号処理システム構成図、第４図は従来のレー
ザ加工装置の断面図である。 図におりで（１）はレーザ光、（３）はレンズ、（５）
はノズル、（６）はアシストガス導入口％ （６ａ）、
（至）は加工アシストガス、αＯけ加工アシストガス検
知器である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
図、第２図は本発明によるレンズ破損時の状態断面図、
第３図は信号処理システム構成図、第４図は従来のレー
ザ加工装置の断面図である。 図におりで（１）はレーザ光、（３）はレンズ、（５）
はノズル、（６）はアシストガス導入口％ （６ａ）、
（至）は加工アシストガス、αＯけ加工アシストガス検
知器である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）発振器から出たレーザ光をレンズにより集光し加
工アシストガスを噴出するノズル部を通して被加工物上
に照射するレーザ加工装置において、前記レンズの破損
に基づき前記レンズのレーザ光入射側に流出する前記加
工アシストガスを検出する事により、レンズの破損を検
出する事を特徴とするレーザ加工装置。 - （２）レンズの破損を検出する事により、レーザ出力制
御信号、レーザ加工制御信号、レンズ異常信号を送出す
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ
加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60077689A JPS61235092A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60077689A JPS61235092A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61235092A true JPS61235092A (ja) | 1986-10-20 |
Family
ID=13640857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60077689A Pending JPS61235092A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61235092A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519132A (ja) * | 2005-12-15 | 2009-05-14 | トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 光学要素の状態識別又は状態変化識別方法及びレーザ装置 |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP60077689A patent/JPS61235092A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519132A (ja) * | 2005-12-15 | 2009-05-14 | トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 光学要素の状態識別又は状態変化識別方法及びレーザ装置 |
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