JPS61222695A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS61222695A JPS61222695A JP60065729A JP6572985A JPS61222695A JP S61222695 A JPS61222695 A JP S61222695A JP 60065729 A JP60065729 A JP 60065729A JP 6572985 A JP6572985 A JP 6572985A JP S61222695 A JPS61222695 A JP S61222695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- pressure
- closed space
- laser
- full
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ加工装置に関し、特にレンズを用いてレ
ーザ加工を行なう際のレンズ破損検出装置に関するもの
である。
ーザ加工を行なう際のレンズ破損検出装置に関するもの
である。
従来の技術
第６図は従来のレーザ加工装置の構成図を示す。図にお
いて、（２）ｒｉ、図示せぬレーザ発振器から出たレー
ザ光＋１１ ’ｉｉ導き、かつレンズ（３）を保持する
構造を有する伝送管、（４１はＯリング、 ＋５１は加
工アシストガス（６ａ）の導入口（６１ヲ備えたノズル
、−７）は被加工物である。
いて、（２）ｒｉ、図示せぬレーザ発振器から出たレー
ザ光＋１１ ’ｉｉ導き、かつレンズ（３）を保持する
構造を有する伝送管、（４１はＯリング、 ＋５１は加
工アシストガス（６ａ）の導入口（６１ヲ備えたノズル
、−７）は被加工物である。
グ（４１ｉ−介在して固定されたレンズ（３１に入射す
る。
る。
レンズ（３：に入射したレーザ光１１）は、収束され、
収束レーザ光（８）となり、加工アシストガス導入口（
６１よりノズル１６１の中空部（９）へ流入した加工ア
シストガスと共に、ノズル（６）の先端から出射し、レ
ーザ光の焦点付近で被加工物（７）に照射され、レーザ
加工を行なう。
収束レーザ光（８）となり、加工アシストガス導入口（
６１よりノズル１６１の中空部（９）へ流入した加工ア
シストガスと共に、ノズル（６）の先端から出射し、レ
ーザ光の焦点付近で被加工物（７）に照射され、レーザ
加工を行なう。
従来のレーザ加工装置は以上の様に構成されているので
、例えばＣＯ雪レーザの集光レンズ（３１にはＣｏ、の
波長１０．６ｐｍ１を透過するＺｎ Ｅｌｅ、ＫＯｆ等
の結晶体レンズが用いられている。これらのレンズは、
熱的９強度的に弱く、レンズ表面にゴミ等異物が付着し
た場合、異物が付着した所で局部的にレーザ光が吸収さ
れ、発熱が起こり、ひいてはレンズの破損を引き起こす
。従来のレーザ加工装置では、レンズの破損を検出する
手段を備えていなかったため、レンズの破損に気付かず
、加工を行ない、均一な加工が出来ない等の問題点があ
った。
、例えばＣＯ雪レーザの集光レンズ（３１にはＣｏ、の
波長１０．６ｐｍ１を透過するＺｎ Ｅｌｅ、ＫＯｆ等
の結晶体レンズが用いられている。これらのレンズは、
熱的９強度的に弱く、レンズ表面にゴミ等異物が付着し
た場合、異物が付着した所で局部的にレーザ光が吸収さ
れ、発熱が起こり、ひいてはレンズの破損を引き起こす
。従来のレーザ加工装置では、レンズの破損を検出する
手段を備えていなかったため、レンズの破損に気付かず
、加工を行ない、均一な加工が出来ない等の問題点があ
った。
本発明は上記の様な問題点を解消するためになされたも
ので、レーザ光集光用のレンズの破損をいち早く検出す
ることにより、信頼性の高いレーザ加工装置を得ること
を目的とする・〔問題点を解決するための手段〕 本発明に係るレーザ加工装置は、４＆Ｊｌ、レンズのレ
ーザ光入射面側および透過面側の少なくともいずれか一
方のレンズ面に接して密閉空間を設け、前記密閉空間の
圧力変動を検出する手段を備えたものである。
ので、レーザ光集光用のレンズの破損をいち早く検出す
ることにより、信頼性の高いレーザ加工装置を得ること
を目的とする・〔問題点を解決するための手段〕 本発明に係るレーザ加工装置は、４＆Ｊｌ、レンズのレ
ーザ光入射面側および透過面側の少なくともいずれか一
方のレンズ面に接して密閉空間を設け、前記密閉空間の
圧力変動を検出する手段を備えたものである。
この発明においては、レンズ面に接した密閉空間を設け
る事により、レンズ等が破損して密閉空間と外部とに貫
通部が生じた詩趣エアシストガスの慶大によシ生じる密
閉空間の圧力変動を検出することにより、レンズ等の破
損を検出する。
る事により、レンズ等が破損して密閉空間と外部とに貫
通部が生じた詩趣エアシストガスの慶大によシ生じる密
閉空間の圧力変動を検出することにより、レンズ等の破
損を検出する。
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第１図において…〜（９）は上記従来装置と同一のもの
である。θ匂は、レンズ（３１、伝送管（２１、レーザ
光（１１が透過出来る材質から成るウインドク＋１０＋
、及び０リング（４１及び（川にて囲まれた密閉空間部
、霞は密閉空間（１２＋の圧力を検知する圧力センサで
ある。
である。θ匂は、レンズ（３１、伝送管（２１、レーザ
光（１１が透過出来る材質から成るウインドク＋１０＋
、及び０リング（４１及び（川にて囲まれた密閉空間部
、霞は密閉空間（１２＋の圧力を検知する圧力センサで
ある。
上記の様に構成されたレーザ加工装置においては、第３
図に示す様にレーザ加工中にレンズ（３）に亀裂が生じ
て密閉空間部（１″４とノズル中空部（９）とく貫通部
α荀が生じた時、アシストガス導入口（６）より流入す
るアシストガス（ＩＩが貫通部α４を通り、密閉空間０
り内に流入するため、密閉空間α４内の圧力が変動する
。この圧力を圧力センサ０３ｒｃより検出し、別に設置
された圧力変動処理装置によって、レンズ（３１が破損
する以前の圧力と比較してレンズ破損の有無を判定する
ことができる。圧力情報処理のシステム構成を第８図に
示す＠レーザ加工装置αηからの圧力信号−が圧力変動
処理装置−に入り、レンズ（３１の破損を検出した場合
には、圧力変動処理装置−から、レーザ発振器ａ・から
出るレーザ光αＳｔ−停止する信号−ヲ送ると共にレー
ザ加工装置ａηへは、加工を停止させる信号−を送る。
図に示す様にレーザ加工中にレンズ（３）に亀裂が生じ
て密閉空間部（１″４とノズル中空部（９）とく貫通部
α荀が生じた時、アシストガス導入口（６）より流入す
るアシストガス（ＩＩが貫通部α４を通り、密閉空間０
り内に流入するため、密閉空間α４内の圧力が変動する
。この圧力を圧力センサ０３ｒｃより検出し、別に設置
された圧力変動処理装置によって、レンズ（３１が破損
する以前の圧力と比較してレンズ破損の有無を判定する
ことができる。圧力情報処理のシステム構成を第８図に
示す＠レーザ加工装置αηからの圧力信号−が圧力変動
処理装置−に入り、レンズ（３１の破損を検出した場合
には、圧力変動処理装置−から、レーザ発振器ａ・から
出るレーザ光αＳｔ−停止する信号−ヲ送ると共にレー
ザ加工装置ａηへは、加工を停止させる信号−を送る。
同時に警報信号例をレンズ異常％報装童＠に出力し、レ
ンズ（３）の破損を自動的に知らせる事が出来、直ちに
レンズ（３１を交換する事にニジ、加工ミスを防ぐ事が
出来る。
ンズ（３）の破損を自動的に知らせる事が出来、直ちに
レンズ（３１を交換する事にニジ、加工ミスを防ぐ事が
出来る。
なお、上記実施例では、密閉空間部αｌレンズ（３１の
ｌザ光入射面側に設けたが、第４図に示す様に、密閉空
間部（１′４ヲレ一デ光透過面側に設けてもよい。この
場合、破損し易いのはフィンへドク（１０１になるため
、クインドク（ｌＯ）が実質的にレンズ（３）の保護の
役割をする。また価格的にクインドク叫の方がレンズ（
３１より安価なためランニングコスト上有利となる。
ｌザ光入射面側に設けたが、第４図に示す様に、密閉空
間部（１′４ヲレ一デ光透過面側に設けてもよい。この
場合、破損し易いのはフィンへドク（１０１になるため
、クインドク（ｌＯ）が実質的にレンズ（３）の保護の
役割をする。また価格的にクインドク叫の方がレンズ（
３１より安価なためランニングコスト上有利となる。
また上記実施例では、クインドク叫により、固定された
密閉空間部（１１を設けたが、第６図に示す様に、クイ
ンドク叫のかわりにゲートパルプ翰を閉じる事によシ密
閉空間（１″４を構成し、圧力調整口（至）により密閉
空間Ｑ匂の圧力とノズル中空部（９）の圧力に差を設け
る事により、レーザ加工中でなくてもし一ズ破損検出を
行なう事が出来る効果がある。
密閉空間部（１１を設けたが、第６図に示す様に、クイ
ンドク叫のかわりにゲートパルプ翰を閉じる事によシ密
閉空間（１″４を構成し、圧力調整口（至）により密閉
空間Ｑ匂の圧力とノズル中空部（９）の圧力に差を設け
る事により、レーザ加工中でなくてもし一ズ破損検出を
行なう事が出来る効果がある。
以上の様に、本発明によれば、レンズ両面の少くともい
ずれか一方に密閉空間を形成して、その圧力を検出する
ようにしたので、レンズの破損金属ちに検出する事が出
来、レンズ破損によるレーザ加工ミスを無くす事が出来
るので、信頼性の高いレーザ加工装置が得られる効果が
ある。
ずれか一方に密閉空間を形成して、その圧力を検出する
ようにしたので、レンズの破損金属ちに検出する事が出
来、レンズ破損によるレーザ加工ミスを無くす事が出来
るので、信頼性の高いレーザ加工装置が得られる効果が
ある。
第１図は本発明の一実施例によるレーザ加工装置の断面
図、第２図は本発明によるレンズ破損時の状態断面図、
第８図は本発明の信号処理システム構成図、第４図及び
第５図は本発明の他の実施例による断面図、第６図は従
来のレーザ加工装置の断面図である。図にお−てＩｎ
（ａｌ ｉレーザ光、（３）はレンズ、（５）はノズル
、（６ａ）は茄エアシストガス、ｔｙｌｆｌ被加工物、
（９）はノズル中空部、叫はクインドク、Ｈｔ：を密閉
空間部、−は圧力センサである・ なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
図、第２図は本発明によるレンズ破損時の状態断面図、
第８図は本発明の信号処理システム構成図、第４図及び
第５図は本発明の他の実施例による断面図、第６図は従
来のレーザ加工装置の断面図である。図にお−てＩｎ
（ａｌ ｉレーザ光、（３）はレンズ、（５）はノズル
、（６ａ）は茄エアシストガス、ｔｙｌｆｌ被加工物、
（９）はノズル中空部、叫はクインドク、Ｈｔ：を密閉
空間部、−は圧力センサである・ なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）発振器から出たレーザ光をレンズにより集光し、
加工アシストガスを通して被加工物に照射するレーザ加
工装置において、前記レンズのビーム入射面側及び透過
面側の少なくともいずれか一方のレンズ面に接して密閉
空間を設け、この密閉空間の密閉機能が低下して上記加
工アシストガスに基づき前記密閉空間に生じる圧力変動
を検出する手段を備えた事を特徴とするレーザ加工装置
。 - （２）圧力変動を検出する事によりレーザ出力制御信号
、レーザ加工制御信号、レンズ異常信号を送出すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60065729A JPS61222695A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60065729A JPS61222695A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61222695A true JPS61222695A (ja) | 1986-10-03 |
Family
ID=13295396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60065729A Pending JPS61222695A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61222695A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519132A (ja) * | 2005-12-15 | 2009-05-14 | トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 光学要素の状態識別又は状態変化識別方法及びレーザ装置 |
-
1985
- 1985-03-27 JP JP60065729A patent/JPS61222695A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519132A (ja) * | 2005-12-15 | 2009-05-14 | トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 光学要素の状態識別又は状態変化識別方法及びレーザ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5272312A (en) | Process for quality control of laser beam welding and cutting | |
| JP2000271768A (ja) | Ｙａｇレーザ溶接部の品質モニタリング方法 | |
| Kratzsch et al. | Coaxial process control during laser beam welding of tailored blanks | |
| WO2019021539A1 (ja) | レーザピーニング加工装置 | |
| US6849821B2 (en) | Laser welding head-controlling system, a laser welding head and a method for controlling a laser welding head | |
| KR20220150815A (ko) | 보호렌즈 점검유닛을 갖는 레이저 가공헤드 및 이를 이용한 보호렌즈 모니터링 방법 | |
| JP2000221108A (ja) | 光ファイバ健全性検査装置 | |
| JPS61222695A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| DE10108955C2 (de) | Verfahren zum Ermitteln des Verschleissgrades einer Linsenanordnung in einem Laserbearbeitungskopf sowie Laserbearbeitungskopf | |
| JPS5641091A (en) | Welding method of pipe | |
| JPS63203291A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS5982184A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JP2732117B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPS61235092A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS57137084A (en) | Cross-sectional shape detector for outside surface weld zone of welded pipe | |
| JPS63256289A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS6316888A (ja) | レ−ザ光異常監視装置 | |
| JP7462211B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH115187A (ja) | レーザ加工装置 | |
| US20220324181A1 (en) | System for joining thermoplastic workpieces by laser transmission welding | |
| JPS5722555A (en) | Ultrasonic defect detection method for welded part of electrically welded tube | |
| JP2006055879A (ja) | レーザ出射口保護ガラスの破損検出方法と破損検出装置 | |
| JPS63171286A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPH0515427Y2 (ja) | ||
| JP2822794B2 (ja) | 特定波長光透過検知装置 |