JP2822794B2 - 特定波長光透過検知装置 - Google Patents
特定波長光透過検知装置Info
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- JP2822794B2 JP2822794B2 JP4198547A JP19854792A JP2822794B2 JP 2822794 B2 JP2822794 B2 JP 2822794B2 JP 4198547 A JP4198547 A JP 4198547A JP 19854792 A JP19854792 A JP 19854792A JP 2822794 B2 JP2822794 B2 JP 2822794B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、レーザービーム等の
特定波長光の透過を検知するための特定波長光透過検知
装置に関するものである。
特定波長光の透過を検知するための特定波長光透過検知
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、レーザービームを用いた各種加工
が行なわれるようになってきているが、レーザービーム
は「有害原因を除去するために必要な措置を講じなけれ
ばならない有害光線」(労働安全衛生規則第５７６条)に
該当するものであり、レーザービームにさらされるおそ
れのある作業を行う場合には十分な対策を講ずる必要が
ある。
が行なわれるようになってきているが、レーザービーム
は「有害原因を除去するために必要な措置を講じなけれ
ばならない有害光線」(労働安全衛生規則第５７６条)に
該当するものであり、レーザービームにさらされるおそ
れのある作業を行う場合には十分な対策を講ずる必要が
ある。
【０００３】そこで、レーザー加工を行う場合、レーザ
ービームを遮断・減衰するフィルターや板によって周囲
にレーザービームが漏れないようにしているが、短時間
でのレーザービーム遮断は可能であっても、すぐに破壊
されてレーザービームの透過を許容することとなり、安
全上問題となるおそれがあった。また、フィルター等が
破壊されるに至る時間が条件によって異なるため、フィ
ルター等の改良だけでは十分な対策とはならないという
問題があった。
ービームを遮断・減衰するフィルターや板によって周囲
にレーザービームが漏れないようにしているが、短時間
でのレーザービーム遮断は可能であっても、すぐに破壊
されてレーザービームの透過を許容することとなり、安
全上問題となるおそれがあった。また、フィルター等が
破壊されるに至る時間が条件によって異なるため、フィ
ルター等の改良だけでは十分な対策とはならないという
問題があった。
【０００４】さらに、レーザー加工自体がレーザービー
ムを材料に照射して行うものものであるため、材料表面
でのレーザービームの反射は避けられず、反射したレー
ザービームの方向が特定できないため、前記したフィル
ター等による遮断では限界がある。
ムを材料に照射して行うものものであるため、材料表面
でのレーザービームの反射は避けられず、反射したレー
ザービームの方向が特定できないため、前記したフィル
ター等による遮断では限界がある。
【０００５】つまり、フィルター等を用いた場合、レー
ザービームが漏れているか否かを検知することが難しい
ため、作業者の安全確保が不十分とならざるを得ないの
である。
ザービームが漏れているか否かを検知することが難しい
ため、作業者の安全確保が不十分とならざるを得ないの
である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は、上記の点
に鑑みてなされたもので、レーザー加工時に漏れでるレ
ーザービームを的確に検知し、作業者の安全を自動的に
確保できるようにすることを目的とするものである。
に鑑みてなされたもので、レーザー加工時に漏れでるレ
ーザービームを的確に検知し、作業者の安全を自動的に
確保できるようにすることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、上
記課題を解決するための手段として、図面に示すよう
に、レーザービーム等の特定波長光Ｌを吸収する液状あ
るいはゲル状物質からなる特定波長光吸収体２)を、前
記特定波長光Ｌの透過を許容するケーシング１内に封入
するとともに、前記特定波長光吸収体２の温度上昇を検
出する温度センサー４と、該温度センサー４により所定
の温度上昇が検出された場合に、前記特定波長光Ｌを発
生させる発生装置５に対して運転停止指令を出力する制
御手段６とを付設している。
記課題を解決するための手段として、図面に示すよう
に、レーザービーム等の特定波長光Ｌを吸収する液状あ
るいはゲル状物質からなる特定波長光吸収体２)を、前
記特定波長光Ｌの透過を許容するケーシング１内に封入
するとともに、前記特定波長光吸収体２の温度上昇を検
出する温度センサー４と、該温度センサー４により所定
の温度上昇が検出された場合に、前記特定波長光Ｌを発
生させる発生装置５に対して運転停止指令を出力する制
御手段６とを付設している。
【０００８】請求項２の発明では、上記課題を解決する
ための手段として、図面に示すように、前記請求項１記
載の特定波長光透過検知装置において、前記ケーシング
１における特定波長光Ｌの入射面１aを、特定波長光Ｌ
の吸収率の低い材質で構成している。
ための手段として、図面に示すように、前記請求項１記
載の特定波長光透過検知装置において、前記ケーシング
１における特定波長光Ｌの入射面１aを、特定波長光Ｌ
の吸収率の低い材質で構成している。
【０００９】請求項３の発明では、上記課題を解決する
ための手段として、図面に示すように、前記請求項１あ
るいは２記載の特定波長光透過検知装置において、前記
ケーシング１における透過面１bの外側に、前記特定波
長光Ｌを遮断する遮光カーテン３を付設している。
ための手段として、図面に示すように、前記請求項１あ
るいは２記載の特定波長光透過検知装置において、前記
ケーシング１における透過面１bの外側に、前記特定波
長光Ｌを遮断する遮光カーテン３を付設している。
【００１０】
【作用】請求項１の発明では、上記手段によって次のよ
うな作用が得られる。
うな作用が得られる。
【００１１】即ち、ケーシング１を透過してレーザービ
ーム等の特定波長光Ｌが入射されると、特定波長光Ｌの
エネルギーがケーシング１内に封入された特定波長光吸
収体２に吸収され、特定波長光吸収体２の温度が上昇す
る。そこで、この特定波長光吸収体２の温度上昇を温度
センサー４により検出し、所定の温度上昇が検出された
場合に、前記特定波長光Ｌを発生させる発生装置５の運
転が停止される。従って、作業者の安全確保が自動的に
行える。
ーム等の特定波長光Ｌが入射されると、特定波長光Ｌの
エネルギーがケーシング１内に封入された特定波長光吸
収体２に吸収され、特定波長光吸収体２の温度が上昇す
る。そこで、この特定波長光吸収体２の温度上昇を温度
センサー４により検出し、所定の温度上昇が検出された
場合に、前記特定波長光Ｌを発生させる発生装置５の運
転が停止される。従って、作業者の安全確保が自動的に
行える。
【００１２】請求項２の発明では、上記手段によって次
のような作用が得られる。
のような作用が得られる。
【００１３】即ち、ケーシング１へ特定波長光Ｌが入射
する際における特定波長光Ｌの吸収が可及的に抑えられ
るところから、特定波長光吸収体２によるエネルギー吸
収量が大きくなる。従って、特定波長光吸収に伴う特定
波長光吸収体２の温度上昇が顕著となるのである。
する際における特定波長光Ｌの吸収が可及的に抑えられ
るところから、特定波長光吸収体２によるエネルギー吸
収量が大きくなる。従って、特定波長光吸収に伴う特定
波長光吸収体２の温度上昇が顕著となるのである。
【００１４】請求項３の発明では、上記手段によって次
のような作用が得られる。
のような作用が得られる。
【００１５】即ち、特定波長光吸収体２により吸収され
なかった特定波長光Ｌの外部への漏れが防止されること
となる。
なかった特定波長光Ｌの外部への漏れが防止されること
となる。
【００１６】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、レーザービー
ム等の特定波長光Ｌを吸収する液状あるいはゲル状物質
からなる特定波長光吸収体２を、前記特定波長光Ｌの透
過を許容するケーシング１内に封入するとともに、前記
特定波長光吸収体２の温度上昇を検出する温度センサー
４と、該温度センサー４により所定の温度上昇が検出さ
れた場合に、前記特定波長光Ｌを発生させる発生装置５
に対して運転停止指令を出力する制御手段６とを付設し
て、ケーシング１に入射される特定波長光Ｌのエネルギ
ーを吸収することにより、特定波長光吸収体２の温度が
上昇することを利用し、当該温度上昇を検知した場合に
は、特定波長光発生装置５の運転が停止されるようにし
たので、作業者の安全確保が自動的に行えることとな
り、加工ラインにおける自動化システムの構成が可能と
なるという優れた効果がある。
ム等の特定波長光Ｌを吸収する液状あるいはゲル状物質
からなる特定波長光吸収体２を、前記特定波長光Ｌの透
過を許容するケーシング１内に封入するとともに、前記
特定波長光吸収体２の温度上昇を検出する温度センサー
４と、該温度センサー４により所定の温度上昇が検出さ
れた場合に、前記特定波長光Ｌを発生させる発生装置５
に対して運転停止指令を出力する制御手段６とを付設し
て、ケーシング１に入射される特定波長光Ｌのエネルギ
ーを吸収することにより、特定波長光吸収体２の温度が
上昇することを利用し、当該温度上昇を検知した場合に
は、特定波長光発生装置５の運転が停止されるようにし
たので、作業者の安全確保が自動的に行えることとな
り、加工ラインにおける自動化システムの構成が可能と
なるという優れた効果がある。
【００１７】請求項２の発明によれば、請求項１記載の
特定波長光透過検知装置において、ケーシング１におけ
る特定波長光Ｌの入射面１aを、特定波長光Ｌの吸収率
の低い材質で構成して、ケーシング１へ特定波長光Ｌが
入射する際における特定波長光Ｌの吸収が可及的に抑え
られ、特定波長光吸収体２によるエネルギー吸収量が大
きくなるようにしたので、特定波長光吸収に伴う特定波
長光吸収体２の温度上昇が顕著となり、温度センサー４
による検出が確実且つ容易となるという優れた効果があ
る。
特定波長光透過検知装置において、ケーシング１におけ
る特定波長光Ｌの入射面１aを、特定波長光Ｌの吸収率
の低い材質で構成して、ケーシング１へ特定波長光Ｌが
入射する際における特定波長光Ｌの吸収が可及的に抑え
られ、特定波長光吸収体２によるエネルギー吸収量が大
きくなるようにしたので、特定波長光吸収に伴う特定波
長光吸収体２の温度上昇が顕著となり、温度センサー４
による検出が確実且つ容易となるという優れた効果があ
る。
【００１８】請求項３の発明によれば、請求項１あるい
は２記載の特定波長光透過検知装置において、ケーシン
グ１における透過面１bの外側に、特定波長光Ｌを遮断
する遮光カーテン３を付設して、特定波長光吸収体２に
より吸収されなかった特定波長光Ｌの外部への漏れが防
止されるようにしたので、レーザー加工室等の監視窓と
して利用する場合における作業者の安全確保が達成でき
るという優れた効果がある。
は２記載の特定波長光透過検知装置において、ケーシン
グ１における透過面１bの外側に、特定波長光Ｌを遮断
する遮光カーテン３を付設して、特定波長光吸収体２に
より吸収されなかった特定波長光Ｌの外部への漏れが防
止されるようにしたので、レーザー加工室等の監視窓と
して利用する場合における作業者の安全確保が達成でき
るという優れた効果がある。
【００１９】
【実施例】以下、添付の図面を参照して、本願発明の好
適な実施例を説明する。
適な実施例を説明する。
【００２０】本実施例の特定波長光透過検知装置は、図
２に示すように、レーザー加工室Ａにおける監視窓Ｂに
適用されるものであり、図１に示すように、矩形箱状の
ケーシング１内に、特定波長光(本実施例の場合、ＣＯ2
レーザービーム)Ｌを吸収する特定波長光吸収体(本実施
例の場合、純水)２を封入して構成されている。
２に示すように、レーザー加工室Ａにおける監視窓Ｂに
適用されるものであり、図１に示すように、矩形箱状の
ケーシング１内に、特定波長光(本実施例の場合、ＣＯ2
レーザービーム)Ｌを吸収する特定波長光吸収体(本実施
例の場合、純水)２を封入して構成されている。
【００２１】前記ケーシング１におけるＣＯ2レーザー
ビームＬの入射面１aおよび透過面１bは、ＣＯ2レーザ
ービームの吸収率の低いガラス(例えば、ＺnＳeあるい
はＣdＴe製ガラス)により構成されている。なお、前記
入射面１aのみをＺnＳeあるいはＣdＴe製ガラスとし、
透過面１bを通常のガラスとしてもよい。
ビームＬの入射面１aおよび透過面１bは、ＣＯ2レーザ
ービームの吸収率の低いガラス(例えば、ＺnＳeあるい
はＣdＴe製ガラス)により構成されている。なお、前記
入射面１aのみをＺnＳeあるいはＣdＴe製ガラスとし、
透過面１bを通常のガラスとしてもよい。
【００２２】また、前記ケーシング１における透過面１
bの外側には、前記ＣＯ2レーザービームＬを遮断する遮
光カーテン３が付設されている。
bの外側には、前記ＣＯ2レーザービームＬを遮断する遮
光カーテン３が付設されている。
【００２３】なお、前記ケーシング１の上下面１c,１d
はＣＯ2レーザービームＬを透過させない材質で構成さ
れている。
はＣＯ2レーザービームＬを透過させない材質で構成さ
れている。
【００２４】さらに、前記ケーシング１には、前記特定
波長光吸収体２の温度上昇を検出する温度センサー４が
付設されており、該温度センサー４により検出された温
度情報は、ＣＯ2レーザービームＬを発生させる発生装
置５に対して運転停止指令を出力する制御手段として作
用するコントローラ６に入力されることとなっている。
波長光吸収体２の温度上昇を検出する温度センサー４が
付設されており、該温度センサー４により検出された温
度情報は、ＣＯ2レーザービームＬを発生させる発生装
置５に対して運転停止指令を出力する制御手段として作
用するコントローラ６に入力されることとなっている。
【００２５】前記レーザー加工室Ａは、図３に示すよう
に、ＣＯ2レーザービームＬを発生させる発生装置５
と、該発生装置５により発生せしめられたＣＯ2レーザ
ービームＬを用いて被加工物Ｍを加工する加工ステーシ
ョン７とを備えている。
に、ＣＯ2レーザービームＬを発生させる発生装置５
と、該発生装置５により発生せしめられたＣＯ2レーザ
ービームＬを用いて被加工物Ｍを加工する加工ステーシ
ョン７とを備えている。
【００２６】前記発生装置５は、一端に全反射鏡８を、
他端に半反射鏡９を備えたガラスチューブ１０内に封入
されたＣＯ2、Ｎ2、Ｈeからなる混合ガスＧを電極１１,
１２間に印加される高電圧によって励起させてレーザー
発振を得るように構成されている。また、前記ガラスチ
ューブ１０内に封入される混合ガスＧは、熱交換器１
３、ブロア１４および熱交換器１５を備えた循環路１６
を介して循環せしめられることとなっている。符号１７
は電極１１,１２に対して高電圧を印加するための電源
である。
他端に半反射鏡９を備えたガラスチューブ１０内に封入
されたＣＯ2、Ｎ2、Ｈeからなる混合ガスＧを電極１１,
１２間に印加される高電圧によって励起させてレーザー
発振を得るように構成されている。また、前記ガラスチ
ューブ１０内に封入される混合ガスＧは、熱交換器１
３、ブロア１４および熱交換器１５を備えた循環路１６
を介して循環せしめられることとなっている。符号１７
は電極１１,１２に対して高電圧を印加するための電源
である。
【００２７】一方、前記加工ステーション７には、前記
発生装置５(具体的には、ガラスチューブ１０)から発生
せしめられ、半反射鏡９を透過して照射されるＣＯ2レ
ーザービームＬを直角に進路変更させるための全反射鏡
１８と、該全反射鏡１８により進路変更されたＣＯ2レ
ーザービームＬを集光して被加工物Ｍへ照射する集光レ
ンズ１９とが設けられている。このようにして、被加工
物Ｍに照射されたＣＯ2レーザービームＬは、被加工物
Ｍの表面でアトランダムな方向に反射されることとなる
が、この反射ビームを前述の特定波長光透過検知装置で
検知するのである。
発生装置５(具体的には、ガラスチューブ１０)から発生
せしめられ、半反射鏡９を透過して照射されるＣＯ2レ
ーザービームＬを直角に進路変更させるための全反射鏡
１８と、該全反射鏡１８により進路変更されたＣＯ2レ
ーザービームＬを集光して被加工物Ｍへ照射する集光レ
ンズ１９とが設けられている。このようにして、被加工
物Ｍに照射されたＣＯ2レーザービームＬは、被加工物
Ｍの表面でアトランダムな方向に反射されることとなる
が、この反射ビームを前述の特定波長光透過検知装置で
検知するのである。
【００２８】上記のように構成された特定波長光透過検
知装置は、次のように作用する。
知装置は、次のように作用する。
【００２９】ＣＯ2レーザービームＬがケーシング１の
入射面１aを透過して入射されると、ＣＯ2レーザービー
ムＬのエネルギーがケーシング１内に封入された特定波
長光吸収体２に吸収され、特定波長光吸収体２の温度が
上昇する。この時、ケーシング１の入射面１aを吸収率
の低い材質(例えば、ＺnＣeあるいはＣdＴe製ガラス)と
しているため、ＣＯ2レーザービームＬが入射する際に
おける吸収が可及的に抑えられるところから、特定波長
光吸収体２によるエネルギー吸収量が大きくなる。従っ
て、ＣＯ2レーザービームＬの吸収に伴う特定波長光吸
収体２の温度上昇が顕著となる。
入射面１aを透過して入射されると、ＣＯ2レーザービー
ムＬのエネルギーがケーシング１内に封入された特定波
長光吸収体２に吸収され、特定波長光吸収体２の温度が
上昇する。この時、ケーシング１の入射面１aを吸収率
の低い材質(例えば、ＺnＣeあるいはＣdＴe製ガラス)と
しているため、ＣＯ2レーザービームＬが入射する際に
おける吸収が可及的に抑えられるところから、特定波長
光吸収体２によるエネルギー吸収量が大きくなる。従っ
て、ＣＯ2レーザービームＬの吸収に伴う特定波長光吸
収体２の温度上昇が顕著となる。
【００３０】上記のようにして特定波長光吸収体２の温
度が上昇すると、該温度上昇が温度センサー４により検
出され、ＣＯ2レーザービームＬの透過(即ち、ＣＯ2レ
ーザービームＬの漏れ)が検知されるのである。
度が上昇すると、該温度上昇が温度センサー４により検
出され、ＣＯ2レーザービームＬの透過(即ち、ＣＯ2レ
ーザービームＬの漏れ)が検知されるのである。
【００３１】かくして、得られた温度センサー４による
温度情報は、コントローラ６に入力され、該コントロー
ラ６からの指令により発生装置５の運転(即ち、電源１
７による高電圧印加)が停止される。
温度情報は、コントローラ６に入力され、該コントロー
ラ６からの指令により発生装置５の運転(即ち、電源１
７による高電圧印加)が停止される。
【００３２】なお、特定波長光吸収体２によって吸収し
得なかった残りのＣＯ2レーザービームＬは、遮光カー
テン３により遮断されるので、外部への漏れは防止され
る。
得なかった残りのＣＯ2レーザービームＬは、遮光カー
テン３により遮断されるので、外部への漏れは防止され
る。
【００３３】上記したように、本実施例によれば、ＣＯ
2レーザービームＬの透過(即ち、ＣＯ2レーザービーム
Ｌの漏れ)が特定波長光吸収体２の温度上昇として容易
に検知されるため、該検知に基づいてＣＯ2レーザービ
ーム発生装置５の運転が停止されることとなり、作業者
の安全確保が自動的に行えるのである。従って、加工ラ
インにおける自動化システムの構成が可能となるのであ
る。
2レーザービームＬの透過(即ち、ＣＯ2レーザービーム
Ｌの漏れ)が特定波長光吸収体２の温度上昇として容易
に検知されるため、該検知に基づいてＣＯ2レーザービ
ーム発生装置５の運転が停止されることとなり、作業者
の安全確保が自動的に行えるのである。従って、加工ラ
インにおける自動化システムの構成が可能となるのであ
る。
【００３４】また、ケーシング１における入射面１a
を、ＣＯ2レーザービームＬの吸収率の低い材質(例え
ば、ＺnＣeあるいはＣdＴe製ガラス)で構成しているた
め、ケーシング１へＣＯ2レーザービームＬが入射する
際における吸収が可及的に抑えられ、特定波長光吸収体
２によるエネルギー吸収量が大きくなる。従って、ＣＯ
2レーザービームＬの吸収に伴う特定波長光吸収体２の
温度上昇が顕著となり、温度センサー４による検出が確
実且つ容易となる。
を、ＣＯ2レーザービームＬの吸収率の低い材質(例え
ば、ＺnＣeあるいはＣdＴe製ガラス)で構成しているた
め、ケーシング１へＣＯ2レーザービームＬが入射する
際における吸収が可及的に抑えられ、特定波長光吸収体
２によるエネルギー吸収量が大きくなる。従って、ＣＯ
2レーザービームＬの吸収に伴う特定波長光吸収体２の
温度上昇が顕著となり、温度センサー４による検出が確
実且つ容易となる。
【００３５】さらに、ケーシング１における透過面１b
の外側に、ＣＯ2レーザービームＬを遮断する遮光カー
テン３を付設しているため、特定波長光吸収体２により
吸収されなかったＣＯ2レーザービームＬの外部への漏
れが防止されることとなり、レーザー加工室等の監視窓
として利用する場合における作業者の安全確保が達成で
きる。
の外側に、ＣＯ2レーザービームＬを遮断する遮光カー
テン３を付設しているため、特定波長光吸収体２により
吸収されなかったＣＯ2レーザービームＬの外部への漏
れが防止されることとなり、レーザー加工室等の監視窓
として利用する場合における作業者の安全確保が達成で
きる。
【００３６】なお、上記説明では、特定波長光としてＣ
Ｏ2レーザービームを実施例としているが、その他のレ
ーザービーム等にも本願発明が適用可能なことは勿論で
ある。その場合、特定波長光吸収体として、当該レーザ
ービーム等を吸収し得る物質が用いられることは勿論で
ある。
Ｏ2レーザービームを実施例としているが、その他のレ
ーザービーム等にも本願発明が適用可能なことは勿論で
ある。その場合、特定波長光吸収体として、当該レーザ
ービーム等を吸収し得る物質が用いられることは勿論で
ある。
【００３７】本願発明は、上記実施例の構成に限定され
るものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜設計変更可能なことは勿論である。
るものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜設計変更可能なことは勿論である。
【図１】本願発明の実施例にかかる特定波長光透過検知
装置の概略構成図である。
装置の概略構成図である。
【図２】本願発明の実施例にかかる特定波長光透過検知
装置の適用例を示す斜視図である。
装置の適用例を示す斜視図である。
【図３】本願発明の実施例にかかる特定波長光透過検知
装置を用いたレーザー加工室の概略構成図である。
装置を用いたレーザー加工室の概略構成図である。
１はケーシング、１aは入射面、１bは透過面、２は特定
波長光吸収体、３は遮光カーテン、４は温度センサー、
５は発生装置、６は制御手段(コントローラ)、Ｌはレー
ザービーム(ＣＯ2レーザービーム)。
波長光吸収体、３は遮光カーテン、４は温度センサー、
５は発生装置、６は制御手段(コントローラ)、Ｌはレー
ザービーム(ＣＯ2レーザービーム)。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/00 G01J 1/02 G01J 1/42 G01J 5/58 G02B 5/22
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザービーム等の特定波長光(Ｌ)を吸
収する液状あるいはゲル状物質からなる特定波長光吸収
体(２)を、前記特定波長光(Ｌ)の透過を許容するケーシ
ング(１)内に封入するとともに、前記特定波長光吸収体
(２)の温度上昇を検出する温度センサー(４)と、該温度
センサー(４)により所定の温度上昇が検出された場合
に、前記特定波長光(Ｌ)を発生させる発生装置(５)に対
して運転停止指令を出力する制御手段(６)とを付設した
ことを特徴とする特定波長光透過検知装置。 - 【請求項２】 前記ケーシング(１)における特定波長光
(Ｌ)の入射面(１a)を、特定波長光(Ｌ)の吸収率の低い
材質で構成したことを特徴とする前記請求項１記載の特
定波長光透過検知装置。 - 【請求項３】 前記ケーシング１における透過面(１b)
の外側には、前記特定波長光(Ｌ)を遮断する遮光カーテ
ン(３)を付設したことを特徴とする前記請求項１あるい
は２記載の特定波長光透過検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4198547A JP2822794B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 特定波長光透過検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4198547A JP2822794B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 特定波長光透過検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645666A JPH0645666A (ja) | 1994-02-18 |
| JP2822794B2 true JP2822794B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=16392986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4198547A Expired - Fee Related JP2822794B2 (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 特定波長光透過検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2822794B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10194153T1 (de) | 2000-09-11 | 2002-09-19 | Nitto Kohki Co | Elektromagnetischer Kompressor und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP4198547A patent/JP2822794B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0645666A (ja) | 1994-02-18 |
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