JPH0415528A - レーザ光減衰装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、レーザ光のモニター装置に係り、特に、レー
ザ光出力の最適化を図るためのレーザ光減衰装置に関す
るものである。

（従来の技術） 従来、レーザ加工装置などにおいては、被加工物に対す
るレーザ光出力の最適化を図るために、そのモニタ一部
にレーザ光減衰装置が用いられている。

第３図は、従来のレーザ光減衰装置の一例を示す図であ
る。即ち、レーザ光の入射口ｉ−ａと出射口１ｂを備え
、入射した１ノーザ光を反射によって減衰させ、出射口
１ｂから出射させる積分球１の入射口１ａの前方光軸上
に、部分反射ミラー等の反射型減衰器２が設けられ１．
二の反射型減衰器２を通過した１ノ−ザ光９ａか積分球
］に入射するように構成され−Ｃいる。この時、反射型
減衰器２で反射するレーザ光は高いエネルギーを持つの
で、その反射光９Ｃを受は止めるために、反射光９Ｃの
光軸上に遮蔽月３が配設されている。また、反射型減衰
器２もわずかにレーザ光を吸収するので、高いパワーの
レーザ光の場合には、反射型減衰器２の熱的破壊を防ぐ
ために、冷却水用パイプ５を介して冷却装置４が配設さ
れている。なお、第３図中、６は反射型減衰器２を支持
するホルタ−である。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記の様な構成を有する従来のレーザ光
減衰装置には、以下に述べる様な解決すベき課題があっ
た。即ち、反射型減衰器２自体がレーザ光を吸収し、ま
た、反射するので、冷却装置４や反射光９Ｃの遮蔽材３
等が必要となり、構造が複雑になるという欠点があった
。また、反射型減衰器２にかかる熱負荷が大きく、それ
に対する冷却が十分に行なわれない場合には、反射型減
衰器２の熱的破壊という故障につながる恐れもあった。

本発明は、以−１−の欠点を解消するために提案された
もので、そのｌ」的は、冷却装置及び反射光の遮蔽材が
不要で、熱的破壊の恐れがなく、簡単な構成で信頼性の
高いレーザ光減衰装置を提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するだめの手段） 本発明のレーザ光減衰装置は、レーザ光の入射口と出射
口を有し、入射したレーザ光を反射によって減衰させて
前記出射口から出射させる積分球と、吸収型減衰器とを
備え、この吸収型減衰器を前記積分球の出射口の後方光
軸−１−に配設したことを特徴とするものである。

（作用） 本発明のレーザ光減衰装置によれば、積分球で先にレー
ザ光を減衰す−るため、吸収型減衰器にかかる熱負荷を
小さくすることができ、吸収型減衰器を冷却する必要が
なく、熱的に破壊することも防Ｊ」−できる。また、吸
収型減衰器を用いているので、反射光が発生ぜず、反射
光の遮蔽Ｈも不要となる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１−図に基づいて具体的に
説明丈る。なお、第３図に示した従来型と同一の部材に
は同一の符号をイ４して、説明は省略する。

本実施例においては、第１図に示した様に、減衰率αの
積分球１−の出射口１ｂの後方光軸１−に、積分球の中
心と出射口１ｂを結ぶ線に対して直角に、減衰率βの吸
収型減衰器１０がボルダ−６によって支持されて配設さ
れている。この吸収型減衰器］−〇としては、レーザ発
振器が炭酸ガスレーザの場合には、フッ化カルシウム板
などが用いられる。

この様な構成を有する本実施例のレーザ光減衰装置にお
いては、以下に述べる様にして、レーザ光が減衰される
。即ち、レーザ光９は、まず減衰率αの積分球］に入射
され、その強度が減衰された後、出射口１ｂから出射さ
れる。この出射口１ｂから出るレーザ光９ｂは、強度が
十分弱くなっているため、吸収型減衰器１０に加わる熱
負荷は小さくなり、吸収型減衰器１０を冷却する必要は
なく、また、吸収型減衰器１０が熱的に破壊する恐れも
ない。また、吸収型減衰器１０を用いているので、反射
光が発生することがなく、遮蔽材を設ける必要もない。

この様に、本実施例によれば、先に積分球でレーザ光を
減衰し、その後、積分球から出射したレーザ光を吸収型
減衰器に入射してさらに減衰させるように構成したので
、吸収型減衰器にかかる熱負荷を大幅に軽減することが
でき、また、冷却装置を不要とすることができる。さら
に、レーザ光が反射することがないので、反射光の遮蔽
材も不要となり、構造の簡略化を図ることができる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、第２図に示した様に、レーザ光減衰装置と光検出器
を併用することもてきる。即ち、吸収型減衰器１０が積
分球１の出射口１ｂの光軸上に直接取付けられ、さらに
、吸収型減衰器１０に光検出器１１が取付けられている
。また、この光検出器１１には、ケーブル線］２を介し
て、オシロスコープ等の信号処理装置１３が接続されて
いる。この場合、光検出器１１によって検出されたレー
ザ光出力がおおき過ぎる時は、吸収型減衰器１０の厚さ
を増やしたり、設置個数を増やすことで、レーザ光の減
衰率を大きくして、レーザ光出力の最適化を図ることが
できる。

［発明の効果］ 以」二述べた様に、本発明によれば、レーザ光の入射口
と出射口を有し、入射した１ノーザ光を反射によって減
衰させて出射口から出射させる積分球の出射口の後方光
軸上に吸収型減衰器を配設することによって、冷却装置
及び反射光の遮蔽祠が不要で、熱的破壊の恐れがなく、
簡単な構成で信頼性の高いレーザ光減衰装置を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１−図は本発明のレーザ光減衰装置の平面図、第２図
は本発明の他の実施例を示す平面図、第３図は従来の１
７−ザ光減衰装置の一例を示す平面図である。 １・・・積分球、１ａ・・・入射口、１ｂ・・・出射口
、２・・・反射型減衰器、３・・・遮蔽板、４・・・冷
却装置、５・・・冷却水用パイプ、６・・・ホルダー、
９．　９ａ、　　９ｂ、９ｃ・・・レーザ光、１０・・
・吸収型減衰器、１１−・・・光検出器、１２・・・ケ
ーブル線、１，３・・・信号処理装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　レーザ光の入射口と出射口を有し、入射したレーザ光
   を反射によって減衰させて前記出射口から出射させる積
   分球と、吸収型減衰器とを備え、この吸収型減衰器を前
   記積分球の出射口の後方光軸上に配設したことを特徴と
   するレーザ光減衰装置。