JPH01246885A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH01246885A JPH01246885A JP7505488A JP7505488A JPH01246885A JP H01246885 A JPH01246885 A JP H01246885A JP 7505488 A JP7505488 A JP 7505488A JP 7505488 A JP7505488 A JP 7505488A JP H01246885 A JPH01246885 A JP H01246885A
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- JP
- Japan
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- laser
- thermocouple
- sensing means
- output
- laser device
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- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims abstract description 17
- BYDQGSVXQDOSJJ-UHFFFAOYSA-N [Ge].[Au] Chemical compound [Ge].[Au] BYDQGSVXQDOSJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 241000282414 Homo sapiens Species 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 9
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に関し、特にレーザ・ビームを受け
止めて吸収する為のビーム・アブソーバを内蔵するレー
ザ装置に関する。
止めて吸収する為のビーム・アブソーバを内蔵するレー
ザ装置に関する。
従来、高出力のレーザ装置においては、レーザ・ビーム
を装置の外部へ出射しない場合にはシャッタ・ミラーに
てレーザ・ビームを遮って反射させ、その反射したレー
ザ・ビームをビーム・アブソーバにて受け止めて吸収し
ている。
を装置の外部へ出射しない場合にはシャッタ・ミラーに
てレーザ・ビームを遮って反射させ、その反射したレー
ザ・ビームをビーム・アブソーバにて受け止めて吸収し
ている。
従来のレーザ装置においては、シャッタ・ミラーあるい
はビーム・アブソーバが故障した場合には、ビームが意
図に反して外部へ出射されたりレーザ装置内部の部品に
ビームが照射されて部品の破損を招いたりする危険性が
あった。
はビーム・アブソーバが故障した場合には、ビームが意
図に反して外部へ出射されたりレーザ装置内部の部品に
ビームが照射されて部品の破損を招いたりする危険性が
あった。
意図しない出射は火災の原因となり、人体に対する危険
もある。万一、眼を照射した場合には、視覚障害を引き
起こすおそれがある。
もある。万一、眼を照射した場合には、視覚障害を引き
起こすおそれがある。
本発明は、従来の技術のこうした問題点に鑑みてなされ
たものであり、意図に反してビームが出射されることの
無いレーザ装置を提供することを目的とする。
たものであり、意図に反してビームが出射されることの
無いレーザ装置を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、レーザ・ビーム
を発生させるレーザ発振器と、前記レーザ・ビームを必
要に応じて反射させ得るシャッタ・ミラーと、前記シャ
ッタ・ミラーにより反射された前記レーザ・ビームを受
け該レーザ・ビームを吸収するビーム・アブソーバとを
有するレーザ装置において、 前記ビーム・アブソーバがビーム入射感知手段を含むこ
とを特徴とするレーザ装置が 提供される。
を発生させるレーザ発振器と、前記レーザ・ビームを必
要に応じて反射させ得るシャッタ・ミラーと、前記シャ
ッタ・ミラーにより反射された前記レーザ・ビームを受
け該レーザ・ビームを吸収するビーム・アブソーバとを
有するレーザ装置において、 前記ビーム・アブソーバがビーム入射感知手段を含むこ
とを特徴とするレーザ装置が 提供される。
上記のビーム入射感知手段は、熱電対等の熱センサであ
ってよい。
ってよい。
また、前記ビーム入射感知手段は、金−ゲルマニウム・
センサ等の光センサであってもよい。
センサ等の光センサであってもよい。
また、前記レーザ装置には、ビーム入射感知手段の出力
を表示するための表示装置を設けることもできる。
を表示するための表示装置を設けることもできる。
さらに、前記レーザ装置には、レーザ・ビームを外部へ
出射しない制御ステップであ゛す、がっ、前記レーザ発
振器がレーザ・ビームを発生させており、かつ、前記ビ
ーム入射感知手段が出力を生じていない時にはアラーム
メツセージを発生させる手段を設けることもできる。
出射しない制御ステップであ゛す、がっ、前記レーザ発
振器がレーザ・ビームを発生させており、かつ、前記ビ
ーム入射感知手段が出力を生じていない時にはアラーム
メツセージを発生させる手段を設けることもできる。
レーザ装置の外部ヘレーザ・ビームを出射しない場合に
は、レーザ発振器により発生させられたレーザ・ビーム
はシャッタ・ミラーにより反射されてビーム・アブソー
バに入射し、ビーム・アブソーバにより熱エネルギーに
変換される。従って、ビーム・アブソーバに設けたビー
ム入射感知手段の出力を確認することにより、レーザ装
置の外部へビームが出射されていないことを確認するこ
とができる。もし、ビームを外部へ出射すべきでない時
にレーザ装置がビームを発生させており、かつ、ビーム
入射感知手段が出力を生じていない場合には、何らかの
異常が生じたものと判断し、異常のあることを表示しア
ラームメツセージを発するとともにレーザ発振器電源を
オフする。
は、レーザ発振器により発生させられたレーザ・ビーム
はシャッタ・ミラーにより反射されてビーム・アブソー
バに入射し、ビーム・アブソーバにより熱エネルギーに
変換される。従って、ビーム・アブソーバに設けたビー
ム入射感知手段の出力を確認することにより、レーザ装
置の外部へビームが出射されていないことを確認するこ
とができる。もし、ビームを外部へ出射すべきでない時
にレーザ装置がビームを発生させており、かつ、ビーム
入射感知手段が出力を生じていない場合には、何らかの
異常が生じたものと判断し、異常のあることを表示しア
ラームメツセージを発するとともにレーザ発振器電源を
オフする。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例であるレーザ装置を示す。図
において、レーザ発振器２にて発生させられたレーザ・
ビーム４は、「閉」位置にあるシャッタ・ミラー６によ
り反射されてビーム・アブソーバ８に入射する。ビーム
・アブソーバ８は素材として銅を用いたコーン型ビーム
・アブソーバであり、円錐面１０をカーボン・ブラック
で被覆されレーザ光を完全に吸収する構造となっている
。
において、レーザ発振器２にて発生させられたレーザ・
ビーム４は、「閉」位置にあるシャッタ・ミラー６によ
り反射されてビーム・アブソーバ８に入射する。ビーム
・アブソーバ８は素材として銅を用いたコーン型ビーム
・アブソーバであり、円錐面１０をカーボン・ブラック
で被覆されレーザ光を完全に吸収する構造となっている
。
ビーム・アブソーバ８に入射するレーザ・ビーム４は未
だ集束されていないある程度の拡がりを有するビームで
あるから、ビームの大部分は円錐の先端部に達するまで
に円錐面ＩＯにて何度も反射されて急速に減衰し、熱エ
ネルギーに変換される。
だ集束されていないある程度の拡がりを有するビームで
あるから、ビームの大部分は円錐の先端部に達するまで
に円錐面ＩＯにて何度も反射されて急速に減衰し、熱エ
ネルギーに変換される。
熱電対１２は、ビーム入射感知手段として円錐面１０の
先端部に埋め込まれている。熱電対１２は円錐面１０の
先端部にわずかに露出゛して設けられており、減衰した
レーザ・ビーム４の一部が直接照射され、レーザ・ビー
ムを熱に変換して出力する。
先端部に埋め込まれている。熱電対１２は円錐面１０の
先端部にわずかに露出゛して設けられており、減衰した
レーザ・ビーム４の一部が直接照射され、レーザ・ビー
ムを熱に変換して出力する。
シャッタ・ミラー・アクチュエータ１４（第２図に示す
）が作動してシャッタ・ミラー６をその「開」位置１６
へ移動させると、レーザ・ビーム４は、破線により示さ
れている様に直進して外部へ出射される。
）が作動してシャッタ・ミラー６をその「開」位置１６
へ移動させると、レーザ・ビーム４は、破線により示さ
れている様に直進して外部へ出射される。
第２図は本実施例のレーザ装置のブロック図である。判
断手段１８は、人力手段２０より入力された制御指令に
基づいてレーザ発振器電源２２及びシャッタ・ミラー・
アクチュエータ１４を制御する。熱電対１２の出力は、
Ａ／Ｄ変換回路２４にてディジタル値に変換されて判断
手段１日に入力されている。
断手段１８は、人力手段２０より入力された制御指令に
基づいてレーザ発振器電源２２及びシャッタ・ミラー・
アクチュエータ１４を制御する。熱電対１２の出力は、
Ａ／Ｄ変換回路２４にてディジタル値に変換されて判断
手段１日に入力されている。
レーザ発振器電源２２が作動しておりしかもレーザ・ビ
ームをレーザ装置の外部へ出射してはならない制御ステ
ップにおいては、判断手段１日は常に熱電対１２が出力
を生じているか否かを監視しており、もし熱電対１２の
出力が入力されないならば異常が発生したものと判断す
る。異常が生じたと判断したならば判断手段１８は、レ
ーザ発振器電源２２をオフすると共にＣＲＴ２６上に異
常発生を表示するよう表示制御回路２８に指令し、さら
に、警報ベル３０を鳴らすようアラーム回路３２に指令
する。
ームをレーザ装置の外部へ出射してはならない制御ステ
ップにおいては、判断手段１日は常に熱電対１２が出力
を生じているか否かを監視しており、もし熱電対１２の
出力が入力されないならば異常が発生したものと判断す
る。異常が生じたと判断したならば判断手段１８は、レ
ーザ発振器電源２２をオフすると共にＣＲＴ２６上に異
常発生を表示するよう表示制御回路２８に指令し、さら
に、警報ベル３０を鳴らすようアラーム回路３２に指令
する。
よって、異常が生じた場合には直ちにレーザ・ビーム４
の発生が停止され、アラーム音と異常表示等のアラーム
メツセージにより、オペレーターは発生した異常を知る
ことが出来る。
の発生が停止され、アラーム音と異常表示等のアラーム
メツセージにより、オペレーターは発生した異常を知る
ことが出来る。
上記の判断手段等の制御はマイクロプロセッサ構成で構
成され、ソフトウェアによって処理される。
成され、ソフトウェアによって処理される。
本発明は、以上説明したように構成されているので、シ
ャッタ・ミラーの反射面損傷、又はシャッタ・ミラー・
アクチュエータの故障、もしくはビーム・アブソーバの
故障が起きた場合には、直ちにレーザ・ビームの発生を
停止させ゛ることが出来る。よって、レーザ・ビームの
意図せぬ出射による人体への障害、又は器物の損傷、も
しくは火災発生の危険を防ぐことが出来る。
ャッタ・ミラーの反射面損傷、又はシャッタ・ミラー・
アクチュエータの故障、もしくはビーム・アブソーバの
故障が起きた場合には、直ちにレーザ・ビームの発生を
停止させ゛ることが出来る。よって、レーザ・ビームの
意図せぬ出射による人体への障害、又は器物の損傷、も
しくは火災発生の危険を防ぐことが出来る。
第１図は本発明の一実施例であるレーザ装置の要部を示
す解図、 第２図は第１図のレーザ装置のブロック図である。 ２−・・・−・−−−−−レーザ発振器４−・・−・・
−−−−−レーザ・ビーム６−−−−−−−・・−−−
一−−シャッタ・ミラー８−−−−−−−・・・−ビー
ム・アブソーバ１０−−−−−−−一・・−円錐面 １２−−−・−−−−−ｍ−・・−熱電対１４−−−−
−−−−−−−・シャッタ・ミラー・アクチュエータ１
６−・−・−一−−−−−−−シャッタ・ミラーの「開
」位置１ Ｂ−−−−−−・−一−−−−−判断手段２
０−・・−・−一一一−−−人力手段２２〜・−−−−
−・−−−−−・−レーザ発振器電源２４−−−−−−
−・・−・−・・−Ａ／Ｄ変換回路２６・・・−・−−
−−−−−、ＣＲＴ２８−・−・・・−・−・−表示制
御回路３０−−−−−・・・−・−・・警報ベル３２−
−−−−・・・・−・−アラーム回路特許出願人 ファ
ナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖
す解図、 第２図は第１図のレーザ装置のブロック図である。 ２−・・・−・−−−−−レーザ発振器４−・・−・・
−−−−−レーザ・ビーム６−−−−−−−・・−−−
一−−シャッタ・ミラー８−−−−−−−・・・−ビー
ム・アブソーバ１０−−−−−−−一・・−円錐面 １２−−−・−−−−−ｍ−・・−熱電対１４−−−−
−−−−−−−・シャッタ・ミラー・アクチュエータ１
６−・−・−一−−−−−−−シャッタ・ミラーの「開
」位置１ Ｂ−−−−−−・−一−−−−−判断手段２
０−・・−・−一一一−−−人力手段２２〜・−−−−
−・−−−−−・−レーザ発振器電源２４−−−−−−
−・・−・−・・−Ａ／Ｄ変換回路２６・・・−・−−
−−−−−、ＣＲＴ２８−・−・・・−・−・−表示制
御回路３０−−−−−・・・−・−・・警報ベル３２−
−−−−・・・・−・−アラーム回路特許出願人 ファ
ナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖
Claims (6)
- （１）レーザ・ビームを発生させるレーザ発振器と、前
記レーザ・ビームを必要に応じて反射させ得るシャッタ
・ミラーと、前記シャッタ・ミラーにより反射された前
記レーザ・ビームを受け該レーザ・ビームを吸収するビ
ーム・アブソーバとを有するレーザ装置において、 前記ビーム・アブソーバがビーム入射感知手段を含むこ
とを特徴とするレーザ装置。 - （２）前記ビーム入射感知手段は熱電対であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。 - （３）前記ビーム入射感知手段は金−ゲルマニウム・セ
ンサであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のレーザ装置。 - （４）前記ビーム入射感知手段の出力を表示する表示装
置を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のレーザ装置。 - （５）前記レーザ装置の外部へレーザ・ビームを出射し
ない制御ステップであり、かつ前記レーザ発振器がレー
ザ・ビームを発生させており、かつ前記ビーム入射感知
手段が出力を生じていない時にはアラームメッセージを
発生させる手段を有することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のレーザ装置。 - （６）前記レーザ装置の外部へレーザ・ビームを出射し
ない制御ステップであり、かつ前記レーザ発振器がレー
ザ・ビームを発生させており、かつ前記ビーム入射感知
手段が出力を生じていない時には前記レーザ発振器の電
源をオフすることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63075054A JP2672324B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63075054A JP2672324B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246885A true JPH01246885A (ja) | 1989-10-02 |
| JP2672324B2 JP2672324B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13565104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63075054A Expired - Lifetime JP2672324B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2672324B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0359759U (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-12 | ||
| JP2006504262A (ja) * | 2002-10-22 | 2006-02-02 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 多結晶化方法、多結晶シリコン薄膜トランジスタの製造方法、及びそのためのレーザー照射装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56106638A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Mochida Pharm Co Ltd | Laser beam double shutter of laser knife apparatus |
| JPS60247488A (ja) * | 1985-05-08 | 1985-12-07 | Hitachi Ltd | レーザ装置 |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP63075054A patent/JP2672324B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56106638A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Mochida Pharm Co Ltd | Laser beam double shutter of laser knife apparatus |
| JPS60247488A (ja) * | 1985-05-08 | 1985-12-07 | Hitachi Ltd | レーザ装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0359759U (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-12 | ||
| JPH0718197Y2 (ja) * | 1989-10-16 | 1995-04-26 | 三洋電機株式会社 | 移動通信機 |
| JP2006504262A (ja) * | 2002-10-22 | 2006-02-02 | サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 多結晶化方法、多結晶シリコン薄膜トランジスタの製造方法、及びそのためのレーザー照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2672324B2 (ja) | 1997-11-05 |
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