JP2672324B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JP2672324B2 JP2672324B2 JP63075054A JP7505488A JP2672324B2 JP 2672324 B2 JP2672324 B2 JP 2672324B2 JP 63075054 A JP63075054 A JP 63075054A JP 7505488 A JP7505488 A JP 7505488A JP 2672324 B2 JP2672324 B2 JP 2672324B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- absorber
- generating
- sensing means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ装置に関し、特にレーザ・ビームを受
け止めて吸収する為のビーム・アブソーバを内蔵するレ
ーザ装置に関する。
け止めて吸収する為のビーム・アブソーバを内蔵するレ
ーザ装置に関する。
従来、高出力のレーザ装置においては、レーザ・ビー
ムを装置の外部へ出射しない場合にはシャッタ・ミラー
にてレーザ・ビームを遮って反射させ、その反射したレ
ーザ・ビームをビーム・アブソーバにて受け止めて吸収
している。
ムを装置の外部へ出射しない場合にはシャッタ・ミラー
にてレーザ・ビームを遮って反射させ、その反射したレ
ーザ・ビームをビーム・アブソーバにて受け止めて吸収
している。
従来のレーザ装置においては、シャッタ・ミラーある
いはビーム・アブソーバが故障した場合には、ビームが
意図に反して外部へ出射されたりレーザ装置内部の部品
にビームが照射されて部品の破損を招いたりする危険性
があった。
いはビーム・アブソーバが故障した場合には、ビームが
意図に反して外部へ出射されたりレーザ装置内部の部品
にビームが照射されて部品の破損を招いたりする危険性
があった。
意図しない出射は火災の原因となり、人体に対する危
険もある。万一、眼を照射した場合には、視覚障害を引
き起こすおそれがある。
険もある。万一、眼を照射した場合には、視覚障害を引
き起こすおそれがある。
本発明は、従来の技術のこうした問題点に鑑みてなさ
れたものであり、意図に反してビームが出射されること
の無いレーザ装置を提供することを目的とする。
れたものであり、意図に反してビームが出射されること
の無いレーザ装置を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、レーザ・ビー
ムを発生させるレーザ発振器と、前記レーザ・ビームを
必要に応じて反射させ得るシャッタ・ミラーと、前記シ
ャッタ・ミラーにより反射されたレーザ・ビームを受け
取り、受けとったレーザ・ビームを吸収するビーム・ア
ブソーバと、前記ビーム・アブソーバ内に設けられ、前
記ビーム・アブソーバにレーザ・ビームが入射されたこ
とを感知するビーム入射感知手段と、外部へレーザ・ビ
ームを出射しない制御ステップであり、かつ前記レーザ
発振器がレーザ・ビームを発生させており、かつ前記ビ
ーム入射感知手段がレーザ・ビームを感知していない時
には前記レーザ発振器の電源をオフにする制御手段と、
を有することを特徴とするレーザ装置が提供される。
ムを発生させるレーザ発振器と、前記レーザ・ビームを
必要に応じて反射させ得るシャッタ・ミラーと、前記シ
ャッタ・ミラーにより反射されたレーザ・ビームを受け
取り、受けとったレーザ・ビームを吸収するビーム・ア
ブソーバと、前記ビーム・アブソーバ内に設けられ、前
記ビーム・アブソーバにレーザ・ビームが入射されたこ
とを感知するビーム入射感知手段と、外部へレーザ・ビ
ームを出射しない制御ステップであり、かつ前記レーザ
発振器がレーザ・ビームを発生させており、かつ前記ビ
ーム入射感知手段がレーザ・ビームを感知していない時
には前記レーザ発振器の電源をオフにする制御手段と、
を有することを特徴とするレーザ装置が提供される。
上記のビーム入射感知手段は、熱電対等の熱センサで
あってよい。
あってよい。
また、前記ビーム入射感知手段は、金−ゲルマニウム
・センサ等の光センサであってもよい。
・センサ等の光センサであってもよい。
また、前記レーザ装置には、ビーム入射感知手段の出
力を表示するための表示装置を設けることもできる。
力を表示するための表示装置を設けることもできる。
さらに、前記レーザ装置には、レーザ・ビームを外部
へ出射しない制御ステップであり、かつ、前記レーザ発
振器がレーザ・ビームを発生させており、かつ、前記ビ
ーム入射感知手段が出力を生じていない時にはアラーム
メッセージを発生させる手段を設けることもできる。
へ出射しない制御ステップであり、かつ、前記レーザ発
振器がレーザ・ビームを発生させており、かつ、前記ビ
ーム入射感知手段が出力を生じていない時にはアラーム
メッセージを発生させる手段を設けることもできる。
外部へレーザ・ビームを出射しない制御ステップであ
り、かつレーザ発振器がレーザ・ビームを発生させてい
る状態でシャッタ・ミラー等が正しく機能していれば、
レーザ発振器により発生させられたレーザ・ビームはシ
ャッタ・ミラーで反射してビーム・アブソーバに入射す
る。ビーム・アブソーバに入射したレーザ・ビームは、
ビーム・アブソーバで吸収されるとともに、ビーム・ア
ブソーバに設けられたビーム入射感知手段で感知され
る。すると、制御手段は、レーザ発振器の電源をオンの
状態に保つ。一方、レーザ・ビームを外部へ出射しない
制御ステップであり、かつレーザ装置がレーザ・ビーム
を発生させている状態で何らかの異常が発生し、レーザ
・ビームがビーム・アブソーバに入射されなかった場
合、ビーム入射感知手段はレーザ・ビームを感知しな
い。すると、制御手段により、レーザ発振器の電源がオ
フにされ、レーザ・ビームの出力が停止する。
り、かつレーザ発振器がレーザ・ビームを発生させてい
る状態でシャッタ・ミラー等が正しく機能していれば、
レーザ発振器により発生させられたレーザ・ビームはシ
ャッタ・ミラーで反射してビーム・アブソーバに入射す
る。ビーム・アブソーバに入射したレーザ・ビームは、
ビーム・アブソーバで吸収されるとともに、ビーム・ア
ブソーバに設けられたビーム入射感知手段で感知され
る。すると、制御手段は、レーザ発振器の電源をオンの
状態に保つ。一方、レーザ・ビームを外部へ出射しない
制御ステップであり、かつレーザ装置がレーザ・ビーム
を発生させている状態で何らかの異常が発生し、レーザ
・ビームがビーム・アブソーバに入射されなかった場
合、ビーム入射感知手段はレーザ・ビームを感知しな
い。すると、制御手段により、レーザ発振器の電源がオ
フにされ、レーザ・ビームの出力が停止する。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例であるレーザ装置を示す。
図において、レーザ発振器２にて発生させられたレーザ
・ビーム４は、「閉」位置にあるシャッタ・ミラー６に
より反射されてビーム・アブソーバ８に入射する。ビー
ム・アブソーバ８は素材として銅を用いたコーン型ビー
ム・アブソーバであり、円錐面10をカーボン・ブラック
で被覆されレーザ光を完全に吸収する構造となってい
る。ビーム・アブソーバ８に入射するレーザ・ビーム４
は未だ集束されていないある程度の拡がりを有するビー
ムであるから、ビームの大部分は円錐の先端部に達する
までに円錐面10にて何度も反射されて急速に減衰し、熱
エネルギーに変換される。
図において、レーザ発振器２にて発生させられたレーザ
・ビーム４は、「閉」位置にあるシャッタ・ミラー６に
より反射されてビーム・アブソーバ８に入射する。ビー
ム・アブソーバ８は素材として銅を用いたコーン型ビー
ム・アブソーバであり、円錐面10をカーボン・ブラック
で被覆されレーザ光を完全に吸収する構造となってい
る。ビーム・アブソーバ８に入射するレーザ・ビーム４
は未だ集束されていないある程度の拡がりを有するビー
ムであるから、ビームの大部分は円錐の先端部に達する
までに円錐面10にて何度も反射されて急速に減衰し、熱
エネルギーに変換される。
熱電対12は、ビーム入射感知手段として円錐面10の先
端部に埋め込まれている。熱電対12は円錐面10の先端部
にわずかに露出して設けられており、減衰したレーザ・
ビーム４の一部が直接照射され、レーザ・ビームを熱に
変換して出力する。
端部に埋め込まれている。熱電対12は円錐面10の先端部
にわずかに露出して設けられており、減衰したレーザ・
ビーム４の一部が直接照射され、レーザ・ビームを熱に
変換して出力する。
シャッタ・ミラー・アクチュエータ14（第２図に示
す）が作動してシャッタ・ミラー６をその「開」位置16
へ移動させると、レーザ・ビーム４は、破線により示さ
れている様に直進して外部へ出射される。
す）が作動してシャッタ・ミラー６をその「開」位置16
へ移動させると、レーザ・ビーム４は、破線により示さ
れている様に直進して外部へ出射される。
第２図は本実施例のレーザ装置のブロック図である。
判断手段18は、入力手段20より入力された制御指令に基
づいてレーザ発振器電源22及びシャッタ・ミラー・アク
チュエータ14を制御する。熱電対12の出力は、A/D変換
回路24にてディジタル値に変換されて判断手段18に入力
されている。
判断手段18は、入力手段20より入力された制御指令に基
づいてレーザ発振器電源22及びシャッタ・ミラー・アク
チュエータ14を制御する。熱電対12の出力は、A/D変換
回路24にてディジタル値に変換されて判断手段18に入力
されている。
レーザ発振器電源22が作動しておりしかもレーザ・ビ
ームをレーザ装置の外部へ出射してはならない制御ステ
ップにおいては、判断手段18は常に熱電対12が出力を生
じているか否かを監視しており、もし熱電対12の出力が
入力されないならば異常が発生したものと判断する。異
常が生じたと判断したならば判断手段18は、レーザ発振
器電源22をオフすると共にCRT26上に異常発生を表示す
るよう表示制御回路28に指令し、さらに、警報ベル30を
鳴らすようアラーム回路32に指令する。
ームをレーザ装置の外部へ出射してはならない制御ステ
ップにおいては、判断手段18は常に熱電対12が出力を生
じているか否かを監視しており、もし熱電対12の出力が
入力されないならば異常が発生したものと判断する。異
常が生じたと判断したならば判断手段18は、レーザ発振
器電源22をオフすると共にCRT26上に異常発生を表示す
るよう表示制御回路28に指令し、さらに、警報ベル30を
鳴らすようアラーム回路32に指令する。
よって、異常が生じた場合には直ちにレーザ・ビーム
４の発生が停止され、アラーム音と異常表示等のアラー
ムメッセージにより、オプレーターは発生した異常を知
ることが出来る。
４の発生が停止され、アラーム音と異常表示等のアラー
ムメッセージにより、オプレーターは発生した異常を知
ることが出来る。
上記の判断手段等の制御はマイクロプロセッサ構成で
構成され、ソフトウェアによって処理される。
構成され、ソフトウェアによって処理される。
本発明は、以上説明したように構成されているので、
シャッタ・ミラーの反射面損傷、又はシャッタ・ミラー
・アクチュエータの故障、もしくはビーム・アブソーバ
の故障が起き、シャッタ・ミラーで反射すべきレーザ・
ビームがビーム・アブソーバへ入射されていない場合に
は、直ちにレーザ・ビームの発生を停止させることが出
来る。よって、レーザ・ビームの意図せぬ出射による人
体への障害、又は器物の損傷、もしくは火災発生の危険
を防ぐことが出来る。
シャッタ・ミラーの反射面損傷、又はシャッタ・ミラー
・アクチュエータの故障、もしくはビーム・アブソーバ
の故障が起き、シャッタ・ミラーで反射すべきレーザ・
ビームがビーム・アブソーバへ入射されていない場合に
は、直ちにレーザ・ビームの発生を停止させることが出
来る。よって、レーザ・ビームの意図せぬ出射による人
体への障害、又は器物の損傷、もしくは火災発生の危険
を防ぐことが出来る。
第１図は本発明の一実施例であるレーザ装置の要部を示
す解図、 第２図は第１図のレーザ装置のブロック図である。 ２……レーザ発振器 ４……レーザ・ビーム ６……シャッタ・ミラー ８……ビーム・アブソーバ 10……円錐面 12……熱電対 14……シャッタ・ミラー・アクチュエータ 16……シャッタ・ミラーの「開」位置 18……判断手段 20……入力手段 22……レーザ発振器電源 24……A/D変換回路 26……CRT 28……表示制御回路 30……警報ベル 32……アラーム回路
す解図、 第２図は第１図のレーザ装置のブロック図である。 ２……レーザ発振器 ４……レーザ・ビーム ６……シャッタ・ミラー ８……ビーム・アブソーバ 10……円錐面 12……熱電対 14……シャッタ・ミラー・アクチュエータ 16……シャッタ・ミラーの「開」位置 18……判断手段 20……入力手段 22……レーザ発振器電源 24……A/D変換回路 26……CRT 28……表示制御回路 30……警報ベル 32……アラーム回路
Claims (5)
- 【請求項１】レーザ・ビームを発生させるレーザ発振器
と、 前記レーザ・ビームを必要に応じて反射させ得るシャッ
タ・ミラーと、 前記シャッタ・ミラーにより反射されたレーザ・ビーム
を受け取り、受けとったレーザ・ビームを吸収するビー
ム・アブソーバと、 前記ビーム・アブソーバ内に設けられ、前記ビーム・ア
ブソーバにレーザ・ビームが入射されたことを感知する
ビーム入射感知手段と、 外部へレーザ・ビームを出射しない制御ステップであ
り、かつ前記レーザ発振器がレーザ・ビームを発生させ
ており、かつ前記ビーム入射感知手段がレーザ・ビーム
を感知していない時には前記レーザ発振器の電源をオフ
にする制御手段と、 を有することを特徴とするレーザ装置。 - 【請求項２】前記ビーム入射感知手段は熱電対であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ装
置。 - 【請求項３】前記ビーム入射感知手段は金−ゲルマニウ
ム・センサであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のレーザ装置。 - 【請求項４】前記ビーム入射感知手段の出力を表示する
表示装置を有することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のレーザ装置。 - 【請求項５】外部へレーザ・ビームを出射しない制御ス
テップであり、かつ前記レーザ発振器がレーザ・ビーム
を発生させており、かつ前記ビーム入射感知手段がレー
ザ・ビームを感知していない時にはアラームメッセージ
を発生させるアラーム発生手段を有することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63075054A JP2672324B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63075054A JP2672324B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246885A JPH01246885A (ja) | 1989-10-02 |
| JP2672324B2 true JP2672324B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13565104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63075054A Expired - Lifetime JP2672324B2 (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2672324B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0718197Y2 (ja) * | 1989-10-16 | 1995-04-26 | 三洋電機株式会社 | 移動通信機 |
| KR100916656B1 (ko) * | 2002-10-22 | 2009-09-08 | 삼성전자주식회사 | 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 다결정 규소 박막트랜지스터의 제조 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56106638A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Mochida Pharm Co Ltd | Laser beam double shutter of laser knife apparatus |
| JPS60247488A (ja) * | 1985-05-08 | 1985-12-07 | Hitachi Ltd | レーザ装置 |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP63075054A patent/JP2672324B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56106638A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Mochida Pharm Co Ltd | Laser beam double shutter of laser knife apparatus |
| JPS60247488A (ja) * | 1985-05-08 | 1985-12-07 | Hitachi Ltd | レーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01246885A (ja) | 1989-10-02 |
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