KR950002910A - 레이저조사장치 - Google Patents

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KR950002910A
KR950002910A KR1019940016699A KR19940016699A KR950002910A KR 950002910 A KR950002910 A KR 950002910A KR 1019940016699 A KR1019940016699 A KR 1019940016699A KR 19940016699 A KR19940016699 A KR 19940016699A KR 950002910 A KR950002910 A KR 950002910A
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KR
South Korea
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laser
wark
laser beam
intensity distribution
predetermined
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Application number
KR1019940016699A
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Inventor
마사키 콘도
마모루 후루타
Original Assignee
모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
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    • B23K26/705—Beam measuring device

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Abstract

본 발명은, 비교적 넓은 면적에 레이저가공할 경우에 사용하는 레이저조사장치에서, 워어크와, 이 워어크에 집적된 레이저광의 소단면적의 빔을 겹치면서 조사하는 광학계와의 상대이동에 의해, 워어크의 소정의 부분을 상기 레이저광에 의해서 스캔하여 가공을 행하는 레이저조사장치에 관한 것으로서, 레이저를 조사해서 가공하는데에, 소정이외의 에너지강도분포의 레이저광에 의한 가공의 실패를 없애도록 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 집적레이저광(51a)의 워어크(52)에의 조사광로에, 이 레이저광(51a)의 에너지강도분포를 측정하는 측정부재(64)와, 이 측정부제(64)를 투과하는 상기 레이저광(51a)가 소정의 에너지분포라면 투과하고 소정이외의 에어지강도분포라면 차단하는 차단수단(65)를 구비한 것을 특징으로 한 것이다.

Description

레이저조사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예로서의 레이저조사장치를 표시한 사시도, 제2도는 제1도의 장치가 사용되고 있는 레이저광의 정규의 에너지강도분포를 표시한 특성도, 제3도는 본 발명의 제2실시예로서의 레이저조사장치를 표시한 사시도.

Claims (1)

  1. 워어크와, 이 워어크에 집적된 레이저광으로 소단면적의 빔을 겹치면서 조사하는 광학계와의 상대이동에 의해, 워어크의 소정부분을 상기 레이저광에 의해서 스캔하여 가공을 행하는 레이저조사장치에 있어서, 상기 집적레이저광의 조사광로에, 이 레이저광의 에너지광도분포를 측정하는 측정부재와, 이 측정부재를 투과하는 상기레이저광이 소정의 에너지분포라면 투과하고 소정이외의 에너지강도 분포라면 차단하는 차단수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저조사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940016699A 1993-07-13 1994-07-12 레이저조사장치 KR950002910A (ko)

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JP5172896A JPH0724587A (ja) 1993-07-13 1993-07-13 レーザ照射装置
JP93-172896 1993-07-13

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KR950002910A true KR950002910A (ko) 1995-02-16

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JPH0724587A (ja) 1995-01-27
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