JPS63203291A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS63203291A JPS63203291A JP62035689A JP3568987A JPS63203291A JP S63203291 A JPS63203291 A JP S63203291A JP 62035689 A JP62035689 A JP 62035689A JP 3568987 A JP3568987 A JP 3568987A JP S63203291 A JPS63203291 A JP S63203291A
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- JP
- Japan
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- nozzle
- pressure
- laser beam
- damage
- condenser lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、集光レンズを用いてレーザ加工を行なうレ
ーザ加工装置に関するものである。
ーザ加工装置に関するものである。
第４図は例えば実公昭５７−５６７２号公報に示された
従来のレーザ加工装置の構成図であり、図において（２
）は、レーザ発振器（図示せず）から出たレーザ光（１
）を集光レンズ（３）に導き、かつ集光レンズ（３）を
保持する構造を有する伝送管、（４）は０リング、（５
）ハ伝送管（２）に連設され加工アシストガス（６ａ）
の導入口（６）および加工アシストガス（６ａ）の噴出
口（２５）を有するノズル、（７）はレーザ光（１）に
より溶接等の加工がなされる被加工物である。
従来のレーザ加工装置の構成図であり、図において（２
）は、レーザ発振器（図示せず）から出たレーザ光（１
）を集光レンズ（３）に導き、かつ集光レンズ（３）を
保持する構造を有する伝送管、（４）は０リング、（５
）ハ伝送管（２）に連設され加工アシストガス（６ａ）
の導入口（６）および加工アシストガス（６ａ）の噴出
口（２５）を有するノズル、（７）はレーザ光（１）に
より溶接等の加工がなされる被加工物である。
次に、動作について説明する。レーザ発振器から出たレ
ーザ光（１）は、伝送管（２）に入り、伝送管（２〕に
０リング（４）を介在して固定された集光レンズ（３）
に入射する。集光レンズ（３）に入射したレーザ光（１
）は、そこで収束され収束レーザ光（８）となり、加工
アシストガス導入口（６）からノズル（５）の中空部（
９）へ流入した加工アシストガスと共に、噴出口（２５
）から出てレーザ光（１）の焦点付近で被加工物（７）
に照射され、レーザ加工を行なう・ 〔発明が解決しようとする問題点〕 以上のように構成された従来のレーザ加工装置において
は、例えばＣ０２レーザの集光レンズ（３）にはｃｏ、
の波長１ｏ、６μｍｙａ／透過するＺｎ５ｅ、 ＫＯ４
等の結晶体レンズが用いられ、これらの集光レンズ（３
）は熱的、強度的に弱く、集光レンズ（３）の表面にゴ
ミ等異物が付着した場合、異物が付着した所で局部的に
レーザ光（１）が吸収され発熱が起こり、ひいては集光
レンズ（３）の破損を引き起こし、集光レンズ（３）の
破損に気付かず被加工物（７）の加工を行ない、均一な
加工ができない等の問題点があった、この発明は、上記
のような問題点を解消するためになされたもので、集光
レンズの破損ないち早（検出することにより、信頼性の
高いレーザ加工装置を提供することを目的とする。
ーザ光（１）は、伝送管（２）に入り、伝送管（２〕に
０リング（４）を介在して固定された集光レンズ（３）
に入射する。集光レンズ（３）に入射したレーザ光（１
）は、そこで収束され収束レーザ光（８）となり、加工
アシストガス導入口（６）からノズル（５）の中空部（
９）へ流入した加工アシストガスと共に、噴出口（２５
）から出てレーザ光（１）の焦点付近で被加工物（７）
に照射され、レーザ加工を行なう・ 〔発明が解決しようとする問題点〕 以上のように構成された従来のレーザ加工装置において
は、例えばＣ０２レーザの集光レンズ（３）にはｃｏ、
の波長１ｏ、６μｍｙａ／透過するＺｎ５ｅ、 ＫＯ４
等の結晶体レンズが用いられ、これらの集光レンズ（３
）は熱的、強度的に弱く、集光レンズ（３）の表面にゴ
ミ等異物が付着した場合、異物が付着した所で局部的に
レーザ光（１）が吸収され発熱が起こり、ひいては集光
レンズ（３）の破損を引き起こし、集光レンズ（３）の
破損に気付かず被加工物（７）の加工を行ない、均一な
加工ができない等の問題点があった、この発明は、上記
のような問題点を解消するためになされたもので、集光
レンズの破損ないち早（検出することにより、信頼性の
高いレーザ加工装置を提供することを目的とする。
この発明に係るレーザ加工装置は、加工アシストガスを
高圧で噴出するノズルにノズル内の圧力を検出する圧力
センサを設けたものである。
高圧で噴出するノズルにノズル内の圧力を検出する圧力
センサを設けたものである。
この発明においては、集光レンズが破損した場合には、
集光レンズのレーザ光入射側に加工アシストガスが流出
することによるノズル内圧力の減少を圧力センサが検知
し、集光レンズの破損を知ることができる。
集光レンズのレーザ光入射側に加工アシストガスが流出
することによるノズル内圧力の減少を圧力センサが検知
し、集光レンズの破損を知ることができる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す構成図であり、第４図と
同一または相当部分は同一符号を付し、その説明は省略
する。
図はこの発明の一実施例を示す構成図であり、第４図と
同一または相当部分は同一符号を付し、その説明は省略
する。
図において、（＋０）はノズル（５）に取付けられノズ
ル（５）内の圧力を検出するための圧力センナである。
ル（５）内の圧力を検出するための圧力センナである。
圧力センサ（１０）の使用方法としては、例えば、アシ
ストガス導入口（６）からノズル（５）内に流入する一
定圧力の加工アシストガス（６ａ）と噴出口（２５）か
ら流出する加工アシストガスとのバランスにより生じる
ノズル（５）内の圧力の値を圧力センサ（１０）の設定
圧力値としておき、その値以下になると圧力センサ（１
０）が検出信号を出力するようにしてお（。
ストガス導入口（６）からノズル（５）内に流入する一
定圧力の加工アシストガス（６ａ）と噴出口（２５）か
ら流出する加工アシストガスとのバランスにより生じる
ノズル（５）内の圧力の値を圧力センサ（１０）の設定
圧力値としておき、その値以下になると圧力センサ（１
０）が検出信号を出力するようにしてお（。
上記のように構成されたレーザ加工装置においては、第
２図に示すようにレーザ加工中に集光レンズ（３）に亀
裂が生じて集光レンズ（３）のレーザ光入射側（１１）
とノズル中空５（９）とが貫通部（１２）を通じて連通
し、アシストガス導入口（６）から流入する加工アシス
トガス（１５）は貫通部（１２）を通り、レーザ光入射
側（＋１）Ｋ流入する。この流出した加工アシストガス
（１５）のため、ノズル（５）内の圧力は、正常時に噴
出口（２５）から被加工物（７）に向けて流出している
ときよりも、流出面積が増加した分だけ低下する。その
低下を圧力センサ（１０）が検知し、集光レンズ（６）
の破損を知ることができる。
２図に示すようにレーザ加工中に集光レンズ（３）に亀
裂が生じて集光レンズ（３）のレーザ光入射側（１１）
とノズル中空５（９）とが貫通部（１２）を通じて連通
し、アシストガス導入口（６）から流入する加工アシス
トガス（１５）は貫通部（１２）を通り、レーザ光入射
側（＋１）Ｋ流入する。この流出した加工アシストガス
（１５）のため、ノズル（５）内の圧力は、正常時に噴
出口（２５）から被加工物（７）に向けて流出している
ときよりも、流出面積が増加した分だけ低下する。その
低下を圧力センサ（１０）が検知し、集光レンズ（６）
の破損を知ることができる。
第３図はノズル（５）円の圧力検出情報処理システムを
示すブロック図である。レーザ加工装置（１７）からの
ノズル内圧力に勤信号（１９）がノズル内圧力検知信号
処理装置（２０）に入り、レーザ発振器（１６）から出
るレーザ光（１８）を停止する信号（２１）を送ると共
に、レーザ加工装置（１７）へは加工を停止させる信号
（２２）を送る。同時にノズル内圧力検知信号処即装置
（２０）は警報信号（２４）をレンズ異常警報装置（２
６）に出力し、集光レンズ（５）の破損を自動的に知ら
せることができ、直ちに集光レンズ（３）を交換するこ
とにより、加工ミスを最少限に防ぐことができる。
示すブロック図である。レーザ加工装置（１７）からの
ノズル内圧力に勤信号（１９）がノズル内圧力検知信号
処理装置（２０）に入り、レーザ発振器（１６）から出
るレーザ光（１８）を停止する信号（２１）を送ると共
に、レーザ加工装置（１７）へは加工を停止させる信号
（２２）を送る。同時にノズル内圧力検知信号処即装置
（２０）は警報信号（２４）をレンズ異常警報装置（２
６）に出力し、集光レンズ（５）の破損を自動的に知ら
せることができ、直ちに集光レンズ（３）を交換するこ
とにより、加工ミスを最少限に防ぐことができる。
なお、上記実施例では圧力センサ（１０）の使用方法と
して、集光レンズ（３）の破損によるノズル（５）内圧
力変動を検出する手段として用いたが、圧力センサ（１
０）の別の使用方法として、集光レンズ（３）カ破損し
ていない通常時にはノズル（５）へ流入する加工アシス
トガスの圧力を検出することができるので、加工アシス
トガスの圧力の変動による加工ミスを防止する手段とし
ても用いてもよい。
して、集光レンズ（３）の破損によるノズル（５）内圧
力変動を検出する手段として用いたが、圧力センサ（１
０）の別の使用方法として、集光レンズ（３）カ破損し
ていない通常時にはノズル（５）へ流入する加工アシス
トガスの圧力を検出することができるので、加工アシス
トガスの圧力の変動による加工ミスを防止する手段とし
ても用いてもよい。
以上のように、この発明のレーザ加工装置は、ノズル内
の圧力変動を圧力センサを用いて検知するようにしたの
で、集光レンズの破損を直ちに検・出することができ、
集光レンズ破損による加工ミスを防ぐことができるので
、信頼性が同上するという効果がある。
の圧力変動を圧力センサを用いて検知するようにしたの
で、集光レンズの破損を直ちに検・出することができ、
集光レンズ破損による加工ミスを防ぐことができるので
、信頼性が同上するという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装置の要
部断面図、第２図はこの発明による集光レンズ破損時の
状態説明図、第３図はノズル内圧力検出情報処理のシス
テムを示すブロック図、第４図は従来のレーザ加工装置
の一例を示す要部断面図である。 図において、（１）はレーザ光、（３）は集光レンズ、
（５）ハノズル、（６）は加工アシストガス導入口、（
６ａ）、（１５）は加工アシストガス、（７）は被加工
物、（１０）は圧力センサである。 なお、各図中、同一符号は同−又は和尚部分を示す。 市１図
部断面図、第２図はこの発明による集光レンズ破損時の
状態説明図、第３図はノズル内圧力検出情報処理のシス
テムを示すブロック図、第４図は従来のレーザ加工装置
の一例を示す要部断面図である。 図において、（１）はレーザ光、（３）は集光レンズ、
（５）ハノズル、（６）は加工アシストガス導入口、（
６ａ）、（１５）は加工アシストガス、（７）は被加工
物、（１０）は圧力センサである。 なお、各図中、同一符号は同−又は和尚部分を示す。 市１図
Claims (1)
- 発振器から出たレーザ光を集光レンズにより集光し、
加工アシストガスを高圧で噴出するノズルを通して被加
工物上に照射するレーザ加工装置において、前記ノズル
に取付けられ集光レンズの破損に基づくノズル内の圧力
変動を検知する圧力センサを備えたことを特徴とするレ
ーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035689A JPS63203291A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035689A JPS63203291A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63203291A true JPS63203291A (ja) | 1988-08-23 |
Family
ID=12448865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62035689A Pending JPS63203291A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63203291A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05185267A (ja) * | 1992-01-16 | 1993-07-27 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2001334381A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-04 | Aisin Seiki Co Ltd | レーザー加工機の出力ヘッド |
| JP2008114228A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
| JP2010058157A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Koyo Giken:Kk | 金属材料のレ−ザスポット溶接方法 |
| CN102205462A (zh) * | 2011-05-21 | 2011-10-05 | 无锡创科源软件有限公司 | 非金属切割中的激光焦距跟踪装置 |
| JP2015208775A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | ファナック株式会社 | 加工再開準備機能を有するレーザ加工システム |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62035689A patent/JPS63203291A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05185267A (ja) * | 1992-01-16 | 1993-07-27 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| JP2001334381A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-04 | Aisin Seiki Co Ltd | レーザー加工機の出力ヘッド |
| JP2008114228A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
| JP2010058157A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Koyo Giken:Kk | 金属材料のレ−ザスポット溶接方法 |
| CN102205462A (zh) * | 2011-05-21 | 2011-10-05 | 无锡创科源软件有限公司 | 非金属切割中的激光焦距跟踪装置 |
| JP2015208775A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | ファナック株式会社 | 加工再開準備機能を有するレーザ加工システム |
| US10252375B2 (en) | 2014-04-30 | 2019-04-09 | Fanuc Corporation | Laser processing system having function of preparing to restart processing |
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