JP2007044739A - レーザ加工モニタリング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ加工ヘッド12の上面には、レーザ伝送用の光ファイバ14及びモニタリング用のレーザ光検出器26及び反射光検出器28が取り付けられる。光拡散板44は、光ファイバ14の終端面14aより出たレーザ光LBの一部であるベントミラー34からのビーム状の漏れ光MLBを入射角に対してランダムな角度で分散させて後方に通す。光拡散板44を抜けた光MLB'は光通路45内で径方向一様なパワー密度分布を有する拡散光MLB'となり、この拡散光MLB'の一部が光検出器26の受光面26aに入光する。反射光計測系においても、ワークWからの反射光RLBに対して光拡散板35が光拡散板44と同様の作用を奏する。
【選択図】 図2
Description
レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された受光面を有するレーザ光測定部と、前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の一部を拡散して前記レーザ光測定部の受光面に入射させる光拡散板とを有する。
10a レーザ発振器
12 レーザ加工ヘッド
14 レーザ伝送用光ファイバ
16 モニタ装置本体
18 コントローラ
20 ヘッド本体
22 レーザ出射口
24 光ファイバ取付部
26 レーザ光検出器
28 反射光検出器
30 保護ガラス
32 集束レンズ
34,40,42 ベントミラー
35,44 光拡散板
37,45 光路
38 コリメータレンズ
46,48 信号線
70,72 モニタリング用光ファイバ
74,76 筒体
78,80 集束レンズ
Claims (9)
- レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された受光面を有するレーザ光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の一部を拡散して前記レーザ光測定部の受光面に入射させる光拡散板と
を有するレーザ加工モニタリング装置。 - レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された受光面を有するレーザ光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の一部を集光して前記レーザ光測定部の受光面に入射させる集束レンズと
を有するレーザ加工モニタリング装置。 - 前記レーザ光測定部より出力された前記レーザ光の光強度を表す電気信号に基づいて、前記レーザ加工ヘッドより前記被加工物の加工点に照射される直前の前記レーザ光のレーザパワーに関するモニタリング情報を生成する信号処理部を有する請求項1または請求項2に記載のレーザ加工モニタリング装置。
- レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、
前記被加工物の加工点から前記レーザ加工ヘッド内に反射されてきた光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された受光面を有する反射光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記被加工物の加工点からの前記反射光の全部または一部を拡散して前記反射光測定部の受光面に入射させる光拡散板と
を有するレーザ加工モニタリング装置。 - レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、
前記被加工物の加工点から前記レーザ加工ヘッド内に反射されてきた光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された受光面を有する反射光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記被加工物の加工点からの前記反射光の全部または一部を集光して前記反射光測定部の受光面に入射させる集束レンズと
を有するレーザ加工モニタリング装置。 - 前記反射測定部より出力された前記反射光の光強度を表す第2の電気信号に基づいて、前記加工点におけるレーザパワーの状態に関するモニタリング情報を生成する信号処理部を有する請求項4または請求項5に記載のレーザ加工モニタリング装置。
- レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された第1の受光面を有するレーザ光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の一部を拡散して前記レーザ光測定部の受光面に入射させる第1の光拡散板と、
前記被加工物の加工点から前記レーザ加工ヘッド内に反射されてきた光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された第2の受光面を有する反射光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記被加工物の加工点からの前記反射光の全部または一部を拡散して前記反射光測定部の受光面に入射させる第2の光拡散板と
を有するレーザ加工モニタリング装置。 - レーザ発振部より発振出力されたレーザ光をレーザ伝送用の光ファイバに通してレーザ加工ヘッドまで伝送し、前記レーザ加工ヘッドより前記レーザ光を被加工物の加工点に照射するレーザ加工のモニタリング装置であって、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された第1の受光面を有するレーザ光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記光ファイバの終端面から出た前記レーザ光の一部を集光して前記レーザ光測定部の受光面に入射させる第1の集束レンズと、
前記被加工物の加工点から前記レーザ加工ヘッド内に反射されてきた光の光強度を測定するために前記レーザ加工ヘッド内に配置された第2の受光面を有する反射光測定部と、
前記レーザ加工ヘッド内で前記被加工物の加工点からの前記反射光の全部または一部を集光して前記反射光測定部の受光面に入射させる第2の集束レンズと
を有するレーザ加工モニタリング装置。 - 前記レーザ光測定部より出力された前記レーザ光の光強度を表す第1の電気信号と、前記反射測定部より出力された前記反射光の光強度を表す第2の電気信号に基づいて、前記レーザ光が通る光学部品の状態および/または前記レーザ光の加工点におけるレーザパワーの状態に関するモニタリング情報を生成する信号処理部を有する請求項7または請求項8に記載のレーザ加工モニタリング装置。
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