JP2014020789A - 光測定装置 - Google Patents
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Abstract
高出力レーザの光量を測定するために光束の中心の光を受光すると、光の強度が大きいため、熱レンズ効果が生じ、波面が乱れることと、光量の損失が大きいことと、光束の位置の変化を測定できないという不具合があった。
【解決手段】高出力レーザ加工装置用光検出装置において集束光の光束の周辺部の光を検出することで、光量、光束中心位置及び位置の変化量、光束の形状、特定の波長の光量、加工対象物からの反射光を検出するため、光束の周辺部の受光器が複数個であり、前記受光器が回転対称の位置に配置していて、受光器の側に電子回路がある光検出装置
【選択図】 図1
Description
平成21年度戦略的基盤技術高度支援事業「レーザ溶接数値化アルゴリズムでのインライン判定システムの開発」 研究会開発成果等報告書
1 レーザ光
2 集光レンズ
3 電子回路基板
4a,4b,4c,4d,4e,4f,4g、101、102、103、104 受光器
5、106、108 電子回路基板
6 集光レンズの焦点
201 レーザ光源
202 光ファイバ
203 コリメートレンズ
204 ハーフミラー
205 集光レンズ
206 溶接対象物
207 CCDカメラ
Claims (6)
- レーザ加工装置の光量を検出する装置において、光束の周辺部の光を検出する受光器が集束光の一部を検出し、前記受光器が複数であり、前記受光器より出力される電流信号を増幅する電子回路とからなることを特徴とする光検出装置
- 前記受光器が回転対称の位置に配置することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光検出装置
- 前記受光器が集束光の焦点側に受光面が配置していることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記載の光検出装置
- 前記受光器が集束光の焦点側と反対側に受光面が配置していることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記載の光検出装置
- 前記受光器の受光面が集束光の焦点側に向いている受光器の出力信号と受光面が集束光の焦点と反対側に向いている受光器の出力信号との信号を加算または減算または積算または除算することを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項または第3項または第4項記載の光検出装置
- 前記受光器の受光面の前面に波長選択フィルタを配置したこと特徴とする特許請求の範囲第1項、2項、5項記載の光検出装置
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