JP2009302420A - 圧粉磁心及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】室温で低圧成形を行っても優れた直流特性、磁気特性を有する圧粉磁心を提供する。
【解決手段】2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を均一に分散させた複合磁性材料粉末と、結着性樹脂とから圧粉磁心を作製する。非晶質軟磁性合金粉末は、平均粒径が30〜100μmの第1の非晶質軟磁性合金粉末と、平均粒径が1〜15μmの第2の非晶質軟磁性合金粉末とからなる。結着性樹脂は、メチルフェニル系シリコーン樹脂または平均粒径が1〜15μmのポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末からなる。結着性樹脂の分量を少なくするためにシランカップリング剤を使用することもできる。その後、非晶質軟磁性合金粉末と結着樹脂を含む組成物を室温で加圧成形し、成形体を作製する。その成形体を、非晶質軟磁性合金の結晶化温度より低い温度で焼鈍処理する。
【選択図】図1

Description

本発明は、スイッチング電源等に用いられる平滑用チョークコイル等の磁心とその製造方法に関する。
各種電子機器の高性能化及び多機能化に伴い大電流化が進み、それに使用されるチョークコイル等の磁心に用いられる軟磁性材料においては、大電流でも特性変化が小さい特性、すなわち、優れた直流重畳性と低損失が求められている。
高周波で用いられるチョークコイルとして、フェライト磁心や圧粉磁心が使用されている。これらの中で、フェライト磁心は飽和磁束密度が小さいという欠点を有している。これに対して、金属合金粉末を成型して作製される圧粉磁心は、軟磁性フェライトに比べて高い飽和磁束密度を持つため、直流重畳特性に優れている。
この金属合金粉末として、珪素とアルミと鉄の合金であるセンダスト、ニッケルと鉄の合金であるパーマロイ、珪素と鉄の合金である珪素鋼等が用いられている。また、より低損失な合金として、非晶質軟磁性合金であるアモルファス合金を使用することが検討されている。
これらの非晶質合金粉を用いて圧粉磁心を作製するためには、金属合金粉末を低融点ガラスと有機バインダーなどと混合して高圧で圧縮成型した後、熱処理を行う方法が知られている。
例えば、従来技術として、特許文献1のように、成型時に金型と粉末を高温にして高密度成型を行う方法や、特許文献2のように、金属合金粉末を低融点ガラスと有機バインダーなどと混合して、室温にて高圧で成型を行う方法がある。
しかしながら、特許文献1や特許文献2の方法は、非晶質軟磁性合金粉末の表面に低融点ガラス粉末を固着させ、ガラスの軟化点より高くしかも非晶質軟磁性合金粉末の結晶化温度よりも低い温度で加圧形成を行うものであり、装置が高価且つ工程が複雑であるために、量産化に向いていない。
さらに、特許文献1や特許文献2の方法は、低損失の圧粉磁心を得ることは可能であるが、圧粉磁心の加圧密度が十分でないため、優れた直流重畳特性を得ることができない。従って、課題である直流重畳性を向上させるには、圧粉磁心の高密度化が必要になるが実際には、圧粉磁心の高密度化が不可能であった。
そこで、特許文献3のように、直流重量特性を向上させるのを目的として、30〜60wt%の非晶質合金粉と70〜40wt%の純鉄粉を用い、5ton/cmの低圧力で成型する方法や、特許文献4のように、2種類の粒径の違う磁性合金粉末を用い、成型圧力が低くても小さな粒径の粉末が隙間を埋めることにより成型密度を高くし、圧粉磁心の特性を高める方法が提案されている。
さらに、特許文献5のように、平均粒径が異なる粉末のどちらか片方に絶縁処理を行い、その後、ホットプレス、プラズマ放電焼結、熱間静水圧焼結(HIP)などの方法を用いて、成型温度が400〜500℃、成型圧力を200〜600MPaで行う方法が提案されている。
特開平10−212503 特開2001−73062 特開平07−34183 特開2006−176817 特開2007−220876
ところが、特許文献3の方法は、非晶質軟磁性合金粉末に加えて、純鉄を微粉末に混合することで、直流重畳性は向上すると思われるが、本来の目的である高周波での低損失は望めない。
また、特許文献4の方法は、小さな粒径の磁性合金粉末を得るために、軟磁性合金に対して、水素雰囲気中で脆化処理処理を行い、その後、脆化処理処理した軟磁性合金を粉砕する。しかし、この方法では、工程が複雑になってしまい量産には向いていない。また、粉砕することで、微粉末内部に歪みが発生してヒステリシス損失の増加の問題が起こる。
さらに、特許文献5の方法は、通常のプレス成型を室温でを行うと、結着性樹脂が無いため成型すること自体ができず、成型を行うには、ホットプレス、プラズマ放電焼結及び熱間静水圧焼結(HIP)などの方法が必要となる。しかし、このような方法では、成型速度やコストなどの問題が生じる。また、放電焼結法の使用も考えられるが、放電焼結法では、平均粒径が異なる2種類の粉末の一方を絶縁処理して、片方を非絶縁処理する必要がある。このため、非絶縁処理の粉末による渦電流損失の増加などの問題も生じてしまう。
以上のように、非晶質軟磁性合金粉末による圧粉磁心においては、その優れた磁気特性にもかかわらず成型性が他の金属と比較して悪く、量産上の点で問題がある。また、粉末自身が固いため、成型時圧力を高くしても十分な密度が得られず、優れた直流特性を得ることができない。
本発明の目的は、上記問題点を解決し、従来の金属合金と同様、室温で低圧成型を行っても、優れた直流特性と磁気特性を有する圧粉磁心及び圧粉磁心の製造方法を提供することにある。
上記目的をふまえ、本発明の圧粉磁心は、2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を均一に分散させた複合磁性材料粉末と結着性樹脂とを混合し、加圧成型して成型体を作製し、その成型体を焼鈍処理してなる圧粉磁心において、前記複合磁性材料粉末が、平均粒径が30〜100μmの第1の非晶質軟磁性合金粉末と、前記第1の非晶質軟磁性合金粉末より平均粒径が小さい1〜15μmの第2の非晶質軟磁性合金粉末とからなり、加圧成型後の前記成型体が、前記焼鈍処理において、前記非晶質軟磁性合金の結晶化温度より低い温度で処理されたものであることを特徴とする。上記の構成によれば、粒径が違う2種類の非晶質軟磁性合金粉末を混ぜることにより、室温で低圧成型を行っても優れた直流重畳性や磁気特性を得ることが可能である。また、第2の粉末として水アトマイズ法で作製した非晶質軟磁性合金粉末を用いることにより、コストを抑えることも可能である。
本発明の他の態様は、前記第2の非晶質軟磁性合金粉末の添加量が5〜30wt%であることを特徴とする。すなわち、この範囲内であれば、最大磁束密度や透磁率を高く維持できるが、これよりも多いと、最大磁束密度や透磁率が低下してしまう。
本発明の他の態様は、前記複合磁性材料粉末の表面が、耐熱性保護膜としてシランカップリング剤で被覆されたことを特徴とする。この態様によれば、耐熱性保護被膜としてシランカップリング剤を使用することによって、大気中で熱処理を行う場合でも透磁率を低下することなく、当該シランカップリング剤を使用しないよりも鉄損を低減させることが可能となる。そのため、結着性樹脂の分量が少なくてもシランカップリング剤を使用することで、鉄損を低減することが可能となる。
本発明の他の態様は、前記結着性樹脂はメチルフェニル系シリコーン樹脂または平均粒径が1〜15μmのポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末であることを特徴とする。この態様によれば、酸化雰囲気中(大気中)で熱処理が行われると、このメチルフェニル系シリコーン樹脂または平均粒径が1〜15μmのポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末は、非晶質軟磁性合金粉末の表面に残り、強固なバインダーかつ絶縁膜となる。特に、メチルフェニル系シリコーン樹脂は、350℃でSi基に直結しているメチル基が熱分解し、その後シリカ(SiO)層として、これは、強固なシリカ膜であるために、大気中における高温での熱処理を行う場合にも絶縁性は劣化せず、酸化等によるヒステリシス損失の増加の影響を低減できる。
本発明の他の態様では、印加磁界H=20kA/mにおいて、最大磁束密度が600mT以上である請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧粉磁心を特徴とする。
なお、前記の様な平均粒径が異なる2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を混合し、表面を無機絶縁物質で被膜し、加圧成型し、熱処理することで直流重畳特性の優れた圧粉磁心を得る製造方法も、本発明の一態様である。
以上のような本発明によれば、平均粒径が異なる2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を混合し、表面を無機絶縁物質で被膜し、加圧成型し、熱処理することで、低損失で直流重畳特性に優れた圧粉磁心と圧粉磁心の製造方法を提供することができる。
本実施形態の圧粉磁心の製造方法は、次のような各工程を有する。
(1)平均粒径が異なる2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を均一に分散させた複合磁性材料粉末と結着性樹脂とを混合する混合工程。
(2)前記複合軟磁性粉末と結着性樹脂に対して、メチルフェニル系シリコーン樹脂またはポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末を被覆する被覆工程。
(3)メチルフェニル系シリコーン樹脂またはポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末を被覆した軟磁性粉末と結着性樹脂を、加圧成型処理して成型体を作製する成型工程。
(4)成型工程を経た成型体を焼鈍処理する焼鈍工程。
以下、各工程を具体的に説明する。
(1)混合工程
本実施形態の混合工程では、平均粒径が45μmの第1の粉末85wt%と、粒度が異なる平均粒径4〜12μmの第2の粉末を15wt%を混合機(ボールを使用しないポットミル)を使用して24時間混合する。
(2)被覆工程
前記混合工程を経た混合物を結着性樹で被覆するには、シランカップリング剤0.1wt%を混合物に対してコーティングし、室温にて24時間の乾燥を行う。次に、メチルフェニル系のシリコーン樹脂を1.0wt%混合して、180℃で2時間の乾燥を行う。さらに、潤滑剤として、ステアリン酸亜鉛を0.2wt%混合する。
本実施形態の被覆工程で使用するメチルフェニル系シリコーン樹脂は、樹脂濃度が高く溶剤が揮発した後は粘着感があり、上述した200℃前後の加熱乾燥においては成型時のバインダーとして最適に作用する。また、メチルフェニル系シリコーン樹脂の添加量は、0.5〜2.0wt%が適量である。これよりも少なければ、成型体の強度が不足して、割れが発生する。また、2.0wt%よりも多いと、密度低下による最大密度低下の低下、ヒステリシス損失の増加による磁気特性が低下する問題が発生する。
本実施形態の被覆工程では、メチルフェニル系シリコーン樹脂の代りに、結着剤としてポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末を使用しても良い。この時のポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末の添加量は、1.0〜3.0wt%が適当である。これよりも少なければ、成型体の強度が不足して、割れが発生する。また、3.0wt%より多いと、密度低下による最大磁束密度の低下、ヒステリシス損失の増加による磁気特性が低下する問題が発生する。また、粉末の平均粒径は、第2の粉末軟磁性合金粉末の平均粒径以下が良い。これより大きいと、密度低下の要因となる。
また、軟磁性合金粉末に対して、シランカップリング剤を混合し被覆させるのは、当該軟磁性合金粉末の表面に耐熱性保護皮膜を形成するためで、当該カップリング剤を使用しない手法よりも、ヒステリシス損失を格段に低減させ、鉄損を低下させることができる。なお、メチルフェニル系シリコーン樹脂と相性の良いシランカップリング剤としては、アミノ系のシランカップリング剤であり、特に、γ−アミノプロピルトキシシランがよい。また、ポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末と相性の良いシランカップリング剤としては、ビニル系のシランカップリング剤で、特に、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどがあげられる。また、メタクリロキシ系のシランカップリング剤でもよい。
さらに、本実施形態の被覆工程では、潤滑剤としてステアリン酸の金属塩であるステアリン酸亜鉛を使用することにより、金属の種類によってメチル基の熱分解速度を速めることが可能となり、より低温からでも丈夫なシリカ層が形成される。
(3)成型工程
成型工程では、前記のようにして結着剤により被覆した軟磁性合金を、室温にて成型圧力1300MPaで加圧成型することにより、成型体を形成する。ここで、加圧乾燥されたメチルフェニル系シリコーン樹脂は、成型時のバインダーとして作用する。
(4)焼鈍工程
焼鈍工程では、前記成型体に対して、480℃で焼鈍処理を行うことで圧粉磁心が作製される。ここで、480℃で熱処理を行うのは、非晶質軟磁性合金粉末の結晶化温度以下で、ある程度の圧環強度を維持し、一方で、焼鈍温度を上げ過ぎると絶縁性能の劣化から磁気特性が劣化し、特に渦電流損失が大きく増加してしまうことで、鉄損が増加するのを抑制するためである。
また、このメチルフェニル系シリコーン樹脂は、焼鈍処理中におていて350℃程度になると、Si基に直結しているメチル基が熱分解する。実際には、圧粉磁心の熱処理が大気中で行われることで、緻密で強固なシリカ膜となるので、高温で熱処理を行っても絶縁性が劣化せず、酸化などによるヒステリシス損失が増加しない。さらに、この大気中における熱処理により、熱分解したメチル基が炭素として残存しないので、機械的強度が改善できる。
次に、本発明の実施例1〜12を、図1〜5及び表1〜3を参照して、以下に説明する。
[1.測定項目]
測定項目として、透磁率と最大磁束密度と直流重畳性を次のような手法により測定する。透磁率は、作製された圧粉磁心に1次巻線(20ターン)を施し、インピーダンスアナライザーを使用することで、100kHz、0.5Vにおけるインダクタンスから算出した。
最大磁束密度は、圧粉磁心に1次巻線(170ターン)及び2次巻線(20ターン)を施し、磁気計測機器であるBHアナライザ(岩通計測株式会社:SY−8232)を用いて、印加磁界H=20000A/mでの磁束密度を測定した。また、直流重畳性は、各圧粉磁心に1次巻線(170ターン)を施し、インダクタンス、キャパシタンス、抵抗の測定が可能なLCRメータを(HP:4284A)使用することで、100kHz、0.5Vにおける各直流バイアスにおけるインダクタンスを測定し、透磁率を計算により求めた。
[2.第1の特性比較(結着剤としてシリコーン樹脂を使用した場合)]
第1の特性比較で使用する試料は、下記のように作製した。まず、平均粒径が45μmの第1の粉末85wt%と、粒度が異なる平均粒径4〜12μmの第2の粉末15wt%を混合機(ボールを使用しないポットミル)を使用して24時間混合した。そして、シランカップリング剤を0.1wt%をコーティングし、室温にて24時間の乾燥を行う。
次に、メチルフェニル系のシリコーン樹脂を1.0wt%混合して、180℃で2時間の乾燥を行う。さらに、潤滑剤として、ステアリン酸亜鉛を0.2wt%混合した。これを室温にて1300MPaの圧力で加圧成型し、圧粉磁心を作製した。そして、これらの圧粉磁心に対し、30分の間、焼鈍処理を行う。
表1における第1の粉末と第2の粉末の関係は、次のとおりである。比較例1は、第1の粉末に対して第2の粉末を添加しない比較例であり、平均粒径が45μmの第1の粉末の含有量が100wt%、第2の粉末の含有量が0wt%である。実施例1〜3は、比較例1と同じ平均粒径が45μmの第1の粉末に対して、第2の粉末を平均粒径を変化させて、第2の粉末の含有量が15wt%になるように添加させた実施例である。実施例1では、第2の粉末の平均粒径が4μmであり、実施例2では、平均粒径が6μmであり、実施例3では、平均粒径が12μmである。
本実施形態において使用した第1の粉末は、平均粒経45μmに限定するものではなく、平均粒径が30〜100μmの範囲のもので構わないが、この範囲より平均粒径が大きいと渦電流損失が増大し、一方、この範囲より平均粒径が小さいと、密度低下によるヒステリシス損失が増加する。
表1は、実施例1〜3と比較例1について、第1の粉末と第2の粉末と、シリコーン樹脂とカップリング剤、相対密度と透磁率と最大磁束密度との関係について示した表である。また、図1は、透磁率と直流重畳特性を示したグラフである。
Figure 2009302420
表1から判るように、第2の粉末を混ぜた実施例1〜3の方が、第2の粉末を混ぜない比較例1よりも、相対密度が高くなり、また100kHzにおける透磁率及び最大磁束密度が増加している。第2の粉末の平均粒径が4μmの実施例1と第2の粉末の平均粒径が12μmの実施例3の比較からは、添加する第2の粉末の平均粒径を大きくしていくに従って、相対密度と透磁率と最大磁束密度が低下することが判る。さらに、図1より、直流バイアス磁界に対する透磁率は、直流バイアス電流が0〜10000A/mでは、第2の粉末を混ぜた実施例1〜3の方が、第2の粉末を混ぜない比較例1よりも、高くなることが判る。
これらの実施例1〜3と比較例1から、第1の粉末にそれより平均粒径の小さい第2の粉末を加えることにより、成型時に第1の粉末の隙間が第2の粉末で埋められ、成型密度が高くなることが判る。この第2の粉末の作用により、成型時の圧力が同じでも、密度の高い圧粉磁心を作製可能なことも判明した。
[3.第2の特性比較(結着剤としてポリエチレン粉末もしくはポリプロピレン粉末を使用した場合)]
第2の特性比較で使用する試料は下記のように作製した。まず、平均粒径が38〜45μmの第1の粉末85wt%と、粒度が異なる平均粒径6μmの第2の粉末15wt%と、粘着性樹脂粉末であるポリエチレン粉末もしくは平均粒径5μmのポリプロピレン粉末を混合機(ボールを使用しないポットミル)を使用して24時間混合した。これを室温にて1300MPaの圧力で加圧成型し、この成型体に対し、30分の間、焼鈍処理を行う。
表2における第1の粉末と第2の粉末の関係は、次のとおりである。比較例2は、第1の粉末に対して第2の粉末を添加しない比較例であり、平均粒径が45μmの第1の粉末の含有量が100wt%、第2の粉末の含有量が0wt%である。実施例4、5は、比較例2と同じ平均粒径が45μmの第1の粉末に対して、第2の粉末を平均粒径を変化させて、第2の粉末の含有量が15wt%になるように添加させた実施例である。実施例4では、第2の粉末の平均粒径が4μmであり、実施例5では、平均粒径が6μmである。
表3における第1の粉末と第2の粉末の関係は、次のとおりである。比較例3は、第1の粉末に対して第2の粉末を添加しない比較例であり、平均粒径が45μmの第1の粉末の含有量が100wt%、第2の粉末の含有量が0wt%である。実施例6〜10は、比較例3と同じ平均粒径が45μmの第1の粉末に対して、平均粒径が6μmの第2の粉末を添加量を変化させて添加させた実施例である。
実施例6は、第1の粉末の含有量が95wt%、第2の粉末の含有量が5wt%であり、実施例7は、第1の粉末の含有量が90wt%、第2の粉末の含有量が10wt%であり、実施例8は、第1の粉末の含有量が85wt%、第2の粉末の含有量が15wt%であり、実施例9は、第1の粉末の含有量が80wt%、第2の粉末の含有量が20wt%であり、実施例10は、第1の粉末の含有量が70wt%、第2の粉末の含有量が30wt%である。
実施例11及び12は、第1の粉末の含有量と第2の粉末の含有量が同じである実施例8に対して、第1の粉末の平均粒径を変化させた実施例であって、実施例11は、第1の粉末の平均粒径が42μmであり、実施例12は、第1の粉末の平均粒径が38μmである。
本実施形態において使用した第1の粉末は、平均粒経38、42、45μmに限定するものではなく、平均粒径が30〜100μmの範囲のもので構わないが、この範囲より平均粒径が大きいと渦電流損失が増大し、一方、この範囲より平均粒径が小さいと、密度低下によるヒステリシス損失が増加する。
表2は、実施例6〜12と比較例3について、第1の粉末と第2の粉末と、ポリエチレン粉末と、相対密度と透磁率と最大磁束密度との関係について示した表である。また、図2は、透磁率と直流重畳特性を示したグラフである。
Figure 2009302420
表2から判るように、第2の粉末を混ぜた実施例4、5の方が、第2の粉末を混ぜない比較例2よりも相対密度が高くなり、透磁率及び最大磁束密度が大きくなる。第2の粉末の平均粒径は1〜15μmの間が良く、また、第2の粉末の平均粒径が4μmの実施例1と第2の粉末の平均粒径が12μmの実施例からは、第2の粉末の平均粒径を大きくすると、相対密度と透磁率と最大磁束密度が低下することが判る。
さらに、図2より直流バイアス磁界に対する透磁率は、直流バイアス電流が0〜10000A/mでは、第2の粉末を混ぜた実施例4、5の方が、第2の粉末を混ぜない比較例2よりも高くなることが判る。
表3は、実施例6〜12と比較例3について、第1の粉末と第2の粉末と、ポリプロピレン粉末と、相対密度と透磁率と最大磁束密度との関係について示した表である。図3は、透磁率と直流重畳特性を示したグラフであり、図4は、第2の粉末の添加量と最大磁束密度の関係を示したグラフである。
Figure 2009302420
表3から判るように、第2の粉末を5〜30wt%混合させることにより、ポリエチレン粉末を添加した圧粉磁心においても、相対密度、透磁率、最大磁束密度を増加させることができる。また、図4によれば、最大磁束密度は、第2の粉末の添加量が15〜20wt%の間で最大になり、そのあと減少していく。さらに、図5によれば、相対密度は15wt%の時に最大になり、その後第2の粉末の添加量を増やしても、相対密度は増加しない。
以上のことより、第2の粉末の添加量は、5〜30wt%の間が好ましい。この範囲より多くなると、透磁率の低下や最大磁束密度の低下などがおこる。さらに、図3より、直流バイアス磁界に対する透磁率は、直流バイアス電流が0〜10000A/mでは、第2の粉末を混ぜた実施例6〜10の方が、第2の粉末を混ぜない比較例3よりも高くなることが判る。
本発明の実施例の第1の特性比較における、第2の粉末の平均粒径を変化させた場合の圧粉磁心の透磁率と直流重畳特性を示したグラフ。 本発明の実施例の第2の特性比較における、第2の粉末としてポリプロピレン粉末を使用した場合の圧粉磁心の透磁率と直流重畳特性を示したグラフ。 本発明の実施例の第2の特性比較における、第2の粉末としてポリエチレン粉末を使用した場合の圧粉磁心の透磁率と直流重畳特性を示したグラフ。 本発明の実施例の第2の特性比較における、第2の粉末としてポリエチレン粉末を使用した場合の圧粉磁心の第2の粉末の添加量と最大磁束密度を示したグラフ。 本発明の実施例の第2の特性比較における、第2の粉末としてポリエチレン粉末を使用した場合の圧粉磁心の第2の粉末の添加量と相対密度を示したグラフ。

Claims (9)

  1. 2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を均一に分散させた複合磁性材料粉末と結着性樹脂とを混合し、加圧成型して成型体を作製し、その成型体を焼鈍処理してなる圧粉磁心において、
    前記複合磁性材料粉末が、平均粒径が30〜100μmの第1の非晶質軟磁性合金粉末と、前記第1の非晶質軟磁性合金粉末より平均粒径が小さい1〜15μmの第2の非晶質軟磁性合金粉末とからなり、
    前記成型体が、前記非晶質軟磁性合金の結晶化温度より低い温度で焼鈍処理されたものであることを特徴とする圧粉磁心。
  2. 前記第2の非晶質軟磁性合金粉末の添加量が5〜30wt%であることを特徴とする請求項1に記載の圧粉磁心。
  3. 前記複合磁性材料粉末の表面が、耐熱性保護膜としてシランカップリング剤で被覆されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧粉磁心。
  4. 前記結着性樹脂は、メチルフェニル系シリコーン樹脂または平均粒径が1〜15μmのポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧粉磁心。
  5. 印加磁界H=20kA/mにおいて、最大磁束密度が600mT以上である請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧粉磁心。
  6. 2種類以上の非晶質軟磁性合金粉末を均一に分散させた複合磁性材料粉末と結着性樹脂とを混合し、この混合物を加圧成型して成型体を作製し、成型された前記成型体を焼鈍する圧粉磁心の製造方法において、
    平均粒径が30〜100μmの第1の非晶質軟磁性合金粉末と、前記第1の非晶質軟磁性合金粉末より平均粒径が小さい1〜15μmの第2の非晶質軟磁性合金粉末とからなる前記複合磁性材料粉末と、結着性樹脂とを加圧成型して成型体を作製し、
    前記加圧成型後の前記成型体を、前記非晶質軟磁性合金の結晶化温度より低い温度で焼鈍処理することを特徴とする圧粉磁心の製造方法。
  7. 第2の非晶質軟磁性合金粉末の添加量が5〜30wt%であることを特徴とする請求項6に記載の圧粉磁心の製造方法。
  8. 前記複合磁性材料粉末の表面を加圧成型前において、耐熱性保護膜であるシランカップリング剤で被覆することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の圧粉磁心の製造方法。
  9. 前記結着性樹脂が、メチルフェニル系シリコーン樹脂または平均粒径が1〜15μmのポリプロピレン粉末もしくはポリエチレン粉末であることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の圧粉磁心の製造方法。
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