JP2009290614A - 固体撮像装置とその駆動方法及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【課題】画像のムラ等の品質劣化を生じさせることなく画素混合を行うことが可能な固体撮像装置を提供する。
【解決手段】VDr110は、垂直CCD210が、バリア領域で区切られる連続したウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送し、かつ、複数個のパケットの電荷転送が停止する待機期間が、パケットによる電荷転送が行われる転送期間よりも長くなり、かつ、待機期間においては、バリア領域として動作する電荷転送段が、7段以上の電荷転送段のうちの少なくとも隣接する3段となり、かつ、待機期間においてバリア領域として動作する隣接する複数段の電荷転送段のうち、最も下流に位置する電荷転送段が少なくとも電荷転送方向にポテンシャルが傾斜した電荷転送段であるように垂直CCD210による電荷転送を制御する。
【選択図】図7
【解決手段】VDr110は、垂直CCD210が、バリア領域で区切られる連続したウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送し、かつ、複数個のパケットの電荷転送が停止する待機期間が、パケットによる電荷転送が行われる転送期間よりも長くなり、かつ、待機期間においては、バリア領域として動作する電荷転送段が、7段以上の電荷転送段のうちの少なくとも隣接する3段となり、かつ、待機期間においてバリア領域として動作する隣接する複数段の電荷転送段のうち、最も下流に位置する電荷転送段が少なくとも電荷転送方向にポテンシャルが傾斜した電荷転送段であるように垂直CCD210による電荷転送を制御する。
【選択図】図7
Description
本発明は、固体撮像装置に関し、特にCCD(Charge Coupled Device)型固体撮像装置に関する。
一般的に、ビデオカメラ及びデジタルスチルカメラ等の撮像装置を構成する固体撮像装置には、CCD型固体撮像装置が利用されている。CCD型固体撮像装置においては、光入射によりフォトダイオードで生成された信号電荷が垂直CCDに読み出され、垂直CCD及び水平CCDにより電荷検出部(FD部)まで転送される。
このようなCCD型固体撮像装置に関し、画素混合を行って映像信号の出力スピードを向上させる技術が例えば特許文献1に開示されている。このCCD型固体撮像装置では、垂直CCDの最終段に、他の列の垂直CCDとは独立に駆動を制御できる転送部が設けられている。そして、垂直CCDから水平CCDへの信号電荷の読み出しが列毎に独立に制御され、水平方向に複数画素の信号電荷が水平CCD内で混合される。
特開2004−180284号公報
ところで、固体撮像装置の小型化を実現するためにCCDの面積を縮小すると、CCDのゲート寸法の仕上がり、不純物プロファイルの微妙なばらつき、あるいはゲート絶縁膜の微妙なばらつきに起因してCCDのバリア領域に転送劣化箇所が発生する。例えば12相駆動の垂直CCDにおいて、図9の垂直CCDにおけるポテンシャル分布に示されるように隣接する2つの駆動電極V1及びV2にローレベルの駆動パルスが印加され、該2つの駆動電極V1及びV2下のバリア領域に転送劣化箇所(図9のA)が発生する。この転送劣化箇所には垂直転送されているパケット(バリア領域で区切られる連続したウェル領域で転送される信号電荷)400の一部がトラップされる。そして、垂直転送を停止すると、トラップされた信号電荷が放出され、ウェル領域に蓄積されているパケットに加算される。特許文献1に記載の固体撮像装置は、この現象の影響を受け、転送されるパケットの電荷量がばらつく。これについて図10の垂直CCDにおけるポテンシャル分布の変化図を用いて詳述する。
特許文献1に記載の固体撮像装置では、例えば、画素混合を行う場合(9画素の画素混合を行う場合)、1パケット(1画素分の信号電荷)では無く3パケット(3画素分の信号電荷)を水平CCDに転送した後に垂直転送が停止される待機期間となる(図10(a))。このとき、段間のバリア領域の転送劣化箇所(図10のA)には、信号電荷がトラップされている。このトラップされた信号電荷は、垂直転送が停止されている間に、ウェル領域に蓄積されているパケットに加算される(図10(b))。そして、垂直転送が再開されると、転送劣化箇所を通過する次のパケットの一部が転送劣化箇所にトラップされる(図10(c))。このトラップされた信号電荷は、パケットを1段転送するのに要する時間(図10(d)から図10(e)に状態が変化するのに要する時間)よりも長い時間転送が停止されると放出され易くなるため、次の2パケットは転送劣化箇所の影響をほとんど受けずに連続して垂直転送される(図10(d)及び図10(e))。従って、一部のパケットについては信号電荷量が増加し、また一部のパケットについては信号電荷量が減少するので、転送される信号電荷量のばらつきが生じるのである。この信号電荷量のばらつきは、画像のムラ等の品質劣化を生じさせる。
そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、画像のムラ等の品質劣化を生じさせることなく画素混合を行うことが可能な固体撮像装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の固体撮像装置は、2次元状に配列された複数の光電変換素子と、前記光電変換素子で発生した電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、前記複数の垂直転送部によって転送された電荷を行方向に転送する水平転送部と、前記垂直転送部による電荷転送を制御する転送制御部とを備え、前記垂直転送部は、印加電圧に応じてバリア領域及びウェル領域として動作する7段以上の電荷転送段を含み、前記電荷転送段は、少なくとも電荷転送方向にポテンシャルが傾斜した第1電荷転送段を備え、前記転送制御部は、前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送し、かつ、前記複数個のパケットの電荷転送が停止する待機期間が、前記複数個のパケットによる電荷転送が行われる転送期間よりも長くなり、かつ、前記待機期間においては、前記バリア領域として動作する電荷転送段が、前記7段以上の電荷転送段のうちの少なくとも隣接する3段となり、かつ、前記待機期間においてバリア領域として動作する隣接する複数段の電荷転送段のうち、最も下流に位置する電荷転送段が前記第1電荷転送段であるように前記垂直転送部による電荷転送を制御することを特徴とする。
これにより、待機期間においてバリア領域として動作する隣接する電荷転送段のうち、最も下流に位置する電荷転送段は電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域及びウェル領域として動作し、ポテンシャルが傾斜していない電荷転送段と比較してフリンジ電界が大きくなるため転送劣化箇所に信号電荷がトラップされ難くなるかトラップされなくなるので、信号電荷量のばらつきを低くすることができる。また、待機期間中はバリア領域として動作する隣接する電荷転送段におけるバリアに挟まれた箇所にトラップされた信号電荷は転送劣化箇所から隣接するウェル領域に加算されない。その結果、特許文献1に記載の固体撮像装置のように、転送劣化箇所にトラップされた信号電荷により転送される信号電荷の量がばらつくことがないので、画像のムラ等の品質劣化を生じさせることなく画素混合を行うことが可能となる。
また、ウェル領域の面積を最小限に抑えることで暗電流の増大を抑えることができ、また、低信号量時の転送効率の劣化を抑制することができる。
また、前記転送制御部は、前記待機期間において、前記7段以上の電荷転送段のうちの前記水平転送部に最も近い電荷転送段が、前記バリア領域として動作した後にウェル領域として動作するように前記垂直転送部による電荷転送を制御してもよい。
これにより、水平転送部と垂直転送部の最終段との間の電位差を大きくすることができるので、転送残りを発生させること無くパケットを水平転送部に転送することができ、水平転送部と垂直転送部との間での転送効率の劣化を防止できる。
本発明によれば、画像のムラ等の品質劣化を生じさせることなく画素混合を行うことが可能な固体撮像装置を実現することができる。
以下、本発明の実施の形態における固体撮像装置について、図面を参照しながら説明する。
図1は本実施の形態の撮像装置(カメラ)の概略構成を示す図である。
このカメラは、入射光を光電変換し、光電変換することにより生じた信号電荷を転送するCCD型の固体撮像素子100と、クロックドライバ(VDr)110と、CDS(相関二重サンプリング)やADC(アナログ・デジタル変換)の処理を行なう前処理部(CDS/ADC)120と、画素補間や輝度・色差処理等を行なって映像信号を出力するデジタル信号処理部(DSP)130と、タイミングジェネレータ(TG)140とを備える。なお、固体撮像素子100、VDr110及びTG140は、本発明の固体撮像装置を構成する。
このカメラは、入射光を光電変換し、光電変換することにより生じた信号電荷を転送するCCD型の固体撮像素子100と、クロックドライバ(VDr)110と、CDS(相関二重サンプリング)やADC(アナログ・デジタル変換)の処理を行なう前処理部(CDS/ADC)120と、画素補間や輝度・色差処理等を行なって映像信号を出力するデジタル信号処理部(DSP)130と、タイミングジェネレータ(TG)140とを備える。なお、固体撮像素子100、VDr110及びTG140は、本発明の固体撮像装置を構成する。
VDr110は、本発明の転送制御部の一例であり、垂直CCDによる電荷転送を制御し、垂直CCDがパケットを複数個連続して転送し、かつ、複数個のパケットの区切りによって電荷転送が停止する待機期間が、パケットによる電荷転送が行われる転送期間よりも長くなり、かつ、待機期間においては、バリア領域として動作する電荷転送段が、7段以上の電荷転送段のうちの少なくとも隣接する3段となり、かつ、待機期間においてバリア領域として動作する隣接する複数段の電荷転送段のうち最も下流に位置する電荷転送段が、電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜した電荷転送段であるように垂直CCDによる電荷転送を制御する。具体的には、TG140から出力されたロジック信号V1〜V12、CH1、2、3、4、5及び6から駆動パルスφV1〜φV12、φV9R、φV9L、φV11R及びφV11Lを生成し、駆動パルスφV1〜φV12、φV9R、φV9L、φV11R及びφV11Lを固体撮像素子100の垂直CCDに供給し、垂直CCDによる電荷転送を制御する。駆動パルスφV1〜φV12、φV9R、φV9L、φV11R及びφV11Lは、ハイレベルの電位VH、電位VHよりも低いミドルレベルの電位VM、及び電位VMよりも低いローレベルの電位VLの3つの電位を持つパルスである。例えば、駆動パルスφV1〜φV12は、電位VHとしての12V、電位VMとしての0V、及び電位VLとしての−6Vの3つの電位を持つパルスとされる。
TG140は、DSP130から水平同期信号HD、垂直同期信号VD及びクロック信号MCKの各パルスの入力を受け、固体撮像素子100の駆動に用いられる駆動パルスφH1、φH2、φRと、ロジック信号V1〜V12、CH1、2、3、4、5及び6とを生成するとともに、前処理部120及びDSP130に信号処理パルスPROCを出力する。
図2Aは固体撮像素子100の概略構成図であり、図2Bは振り分け転送部230の概略構成図である。
この固体撮像素子100は、図2Aに示されるように、複数のフォトダイオード200、複数の垂直CCD210、水平CCD220及び電荷検出部250を備える。
複数のフォトダイオード200は、本発明の光電変換素子の一例であり、画素に対応して2次元状(行列状)に配列され、赤(R)、緑(G)及び青(B)の3色のカラーフィルタがそれぞれに配置される。
垂直CCD210は、本発明の垂直転送部の一例であり、駆動電極V1〜V12、V9R、V9L、V11R及びV11Lを具備するCCDにより構成される。垂直CCD210は、駆動パルスφV1〜φV12、φV9R、φV9L、φV11R及びφV11Lの印加に応じてフォトダイオード200で発生した信号電荷を列方向に転送する。
水平CCD220は、水平転送部の一例であり、駆動電極H1及びH2を具備するCCDにより構成され、駆動パルスφH1及びφH2の印加に応じて複数の垂直CCD210によって転送された信号電荷を行方向に転送する。
垂直CCD210の水平CCD220に最も近い最終段、つまり複数のフォトダイオード200及び垂直CCD210が形成されてなる撮像部240と水平CCD220との間には、垂直CCD210から水平CCD220への信号電荷の読み出しを列毎に独立に制御する振り分け転送部230が形成されている。
振り分け転送部230は、図2Bに示されるように、3列毎に同じ電極構造を有する。具体的には、1列目の垂直CCD210の振り分け転送部230は駆動電極V1、V2、V3、V4、V5、V6、V7、V8、V9L、V10、V11L及びV12を具備し、2列目の垂直CCD210の振り分け転送部230は駆動電極V1、V2、V3、V4、V5、V6、V7、V8、V9R、V10、V11R及びV12を具備し、3列目の垂直CCD210の振り分け転送部230は駆動電極V1、V2、V3、V4、V5、V6、V7、V8、V9、V10、V11及びV12を具備する。ここで、駆動電極V1、V2、V3、V4、V5、V6、V7、V8、V10及びV12は全列にわたる共通電極であり、駆動電極V9、V9R、V9L、V11、V11R及びV11Lは各列において島状に分離した独立電極である。また、V9及びV11は振り分け転送部230内にては島状の独立電極であるが、振り分け転送部230以外の垂直CCD210に置いては、全列にわたる共通電極となる。
図3は、2列目の垂直CCD210の構造を示す断面図である。
垂直CCD210の隣接する2つの駆動電極では一方の電荷転送方向の長さは他方の長さよりも相対的に長い。具体的には、駆動電極V1、V3、V5、V7、V9及びV11の電荷転送方向の長さが駆動電極V2、V4、V6、V8、V10及びV12の電荷転送方向の長さよりも長い。これにより、フォトダイオード200の信号電荷の読み出し通路上に設けられ、フォトダイオード200の信号電荷の読み出し電圧、つまり電位VHが印加される転送電極の面積が大きくなる。その結果、画素を微細化した場合でも、信号電荷の読み出しに必要な読み出しチャネル幅を確保することができる。
垂直CCD210の隣接する2つの駆動電極では一方の電荷転送方向の長さは他方の長さよりも相対的に長い。具体的には、駆動電極V1、V3、V5、V7、V9及びV11の電荷転送方向の長さが駆動電極V2、V4、V6、V8、V10及びV12の電荷転送方向の長さよりも長い。これにより、フォトダイオード200の信号電荷の読み出し通路上に設けられ、フォトダイオード200の信号電荷の読み出し電圧、つまり電位VHが印加される転送電極の面積が大きくなる。その結果、画素を微細化した場合でも、信号電荷の読み出しに必要な読み出しチャネル幅を確保することができる。
駆動電極V1〜V12の下方には、p型の基板300が配設され、この基板300内には垂直CCD210の一部としてのn型の不純物領域310が形成されている。不純物領域310内には、不純物領域310への不純物の注入段差により、不純物領域310より高濃度のn+型の不純物領域320と、不純物領域310より低濃度のn-型の不純物領域330とが形成されている。これら不純物領域は、駆動電極V1〜V12による電圧印加に応じてポテンシャルのバリア領域及びウェル領域として動作する周期的な12段の電荷転送段を構成する。具体的には、駆動電極V1が設けられた第1電荷転送段340、駆動電極V2が設けられた第2電荷転送段341、駆動電極V3が設けられた第3電荷転送段342、駆動電極V4が設けられた第4電荷転送段343、駆動電極V5が設けられた第5電荷転送段344、及び駆動電極V6が設けられた第6電荷転送段345、駆動電極V7が設けられた第7電荷転送段346、駆動電極V8が設けられた第8電荷転送段347、駆動電極V9が設けられた第9電荷転送段348、駆動電極V10が設けられた第10電荷転送段349、駆動電極V11が設けられた第11電荷転送段350、及び駆動電極V12が設けられた第12電荷転送段351を構成する。従って、これら不純物領域は、信号電荷を転送する垂直電荷転送路(VCCD)として機能する。
駆動電極V1、V3、V5、V7、V9及びV11下方の不純物領域310それぞれには、不純物領域320及び330の異なる不純物濃度の領域が設けられるため、第1電荷転送段340、第3電荷転送段342、第5電荷転送段344、第7電荷転送段346、第9電荷転送段348及び第11電荷転送段350は、電荷転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域及びウェル領域として動作する。
なお、1列目及び3列目の垂直CCD210は、駆動電極V9のいずれかが駆動電極V9R又はV9Lに、駆動電極V11のいずれかが駆動電極V11R又はV11Lに変更されるものの、図3と同様の構造を有する。
図4A及び図4Bは、上記構造を有する固体撮像装置における、60fpsモニターモードのタイミングを示す図である。図4Aは1/60秒で1画像分の信号が出力されるタイミングを示しており、垂直同期信号VDで1枚の画像が出力され、水平同期信号HDで水平CCD220が1回転送される。図4Bは図4Aの期間Tを拡大したもので、水平CCD220に3行分の信号を転送し、水平転送して出力するタイミングを示している。
このタイミングによると、駆動電極V1〜V12の12相駆動により転送の1パケットが形成されており、駆動電極V1〜V6、及びV7〜V12の6相駆動での1パケットに対しては、1/2の転送パケット密度となっているが、このタイミングにより垂直転送の高速化が図られている。
図5は、上記構造を有する固体撮像装置における、6相駆動の30fpsモニターモードのタイミングを示す図である。つまり、図5は1/30秒で1画像分の信号が出力されるタイミングを示す図である。
このタイミングによると、駆動電極V1〜V6及びV7〜V12は6相駆動による転送の1パケットを形成しており、駆動電極V1〜V12の12相駆動での1パケットに対しては、2倍の転送パケット密度となっている。このタイミングにより高画質な動画駆動が実現される。
高画質な動画記録が必要であるときには、6相駆動にて転送パケット数を増加し、高精細な画像出力を行うが、オートフォーカスや露光調整などカメラとして高速処理が必要なモードにおいては、図4A及び図4Bに示した12相駆動にて高速転送を実現している。
図6は、図4Aのタイミングに従う上記構造を有する垂直CCD210及び水平CCD220におけるパケットの転送方法を示す図である。
図11は図6におけるパケットの転送方法タイミングを示す図である。なお、同転送方法は、本発明の固体撮像装置の駆動方法の一例である。
図6のAで示される期間において、垂直CCD210の1パケットが水平CCD220に転送される。そして水平CCD220が2段転送された後、図6のBで示される期間において、別の1パケットが水平CCD220に転送される。同様に、図6のCで示される期間において更に別の1パケットが水平CCD220に転送された後、水平CCD220の電荷が転送される。そして、合計3パケットを水平CCD220に転送した後に垂直転送が停止される待機期間となる。このとき、水平CCD220の転送時間は垂直CCD210の転送時間よりも長い。
図7は、上記構造を有する垂直CCD210におけるパケットの転送方法を示すポテンシャル分布の変化図(2列目の垂直CCD210におけるポテンシャル分布の変化図)である。なお、同転送方法は、本発明の固体撮像装置の駆動方法の一例である。
時間t1〜t7において、2列目の垂直CCD210の1パケットが水平CCD220に転送される。その後、図示していないが、転送されたパケットが行方向に2画素分だけ転送され、3列目の垂直CCD210の1パケットが水平CCD220に転送される。転送されたパケットが行方向に2画素分だけ転送された後、1列目の垂直CCD210の1パケットが水平CCD220に転送される。
時間t8〜t13及びt14〜t19においても同様に、2列目の垂直CCD210の1パケットが水平CCD220に転送された後、3列目及び1列目の垂直CCD210の1パケットが水平CCD220に転送される。これにより、各列の垂直CCD210の3パケットが連続して水平CCD220に転送される。
時間t19において、駆動電極V1にローレベルの電位VLが印加され、バリア領域として動作する電荷転送段が12段の電荷転送段のうちの隣接する8段となるように垂直CCD210が制御された後、垂直転送が停止される。隣接する8段の電荷転送段は、最も下流に位置する電荷転送段が電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域として動作する電荷転送段(駆動電極V1に対応する段)である。この転送が停止している待機期間、つまり3パケットの転送の区切りによって電荷転送が停止する待機期間は、1パケットによる電荷転送が行われる転送期間(時間t1〜t7、時間t8〜t13又はt14〜t19の期間)よりも長い。その後、水平CCD220内の複数パケットが電荷検出部250に転送される。なお、3列目及び1列目の垂直CCD210においても、待機期間中にはバリア領域として動作する電荷転送段が12段の電荷転送段のうちの隣接する8段となるようにされる。
上記のようなパケット転送を行うように垂直CCD210及び水平CCD220に各駆動パルスを印加し、垂直CCD210及び水平CCD220を駆動することにより、水平CCD220内で行方向に3画素の信号電荷が混合される。
以上のように本実施の形態に係るカメラによれば、待機期間中はバリア領域として動作する電荷転送段が12段の電荷転送段のうちの隣接する8段となるようにされる。そして隣接する8段の電荷転送段の最も下流に位置する電荷転送段(最下流の電荷転送段)は電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域として動作する電荷転送段(駆動電極V1に対応する段)である。従って、最下流の電荷転送段は電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域及びウェル領域として動作し、転送劣化箇所に信号電荷がトラップされ難くなるかトラップされなくなるので、信号電荷量のばらつきを低くすることができる。また、待機期間中はバリア領域として動作する隣接する電荷転送段におけるバリアに挟まれた箇所にトラップされた信号電荷は転送劣化箇所から隣接するウェル領域に加算されない。よって、段間の転送劣化箇所にトラップされた信号電荷により転送される信号電荷の量がばらつくことがないので、画像のムラ等の品質劣化を生じさせることなく水平CCD内での画素混合を行うことが可能となる。
さらに、本実施の形態に係るカメラによれば、複数パケットの転送が行われて転送動作が停止される。そして、上述した理由により、転送動作が再開された後も転送される信号電荷の量がばらつくことがない。従って、画像のムラ等の品質劣化を生じさせることなく、手ぶれ防止及び電子ズームを行うことが出来る。
また、本発明の実施形態に係る固体撮像装置及びその駆動方法を、例えばEIS(Electric Image Stabilizer)固体撮像装置では、複数パケットの転送が行われて転送動作が停止されるため、本実施の形態に係るパケット転送をEIS固体撮像装置に利用することにより、EIS固体撮像装置における画像のムラ等の品質劣化を防止することもできる。
また、本実施の形態に係るカメラによれば、ウェル領域として動作する電荷転送段を最低限必要な数で電荷転送を制御することで、ウェル領域の面積を最小限に抑えることで暗電流の増大を抑えることができ、また、低信号量時の転送効率の劣化を抑制することができる。
また、本実施の形態に係るカメラによれば、待機期間においてバリア領域として動作させる電荷転送段には、隣接する電荷転送段に向かってポテンシャルが下がる不純物濃度分布が形成される。従って、この電荷転送段は、電荷転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域及びウェル領域として動作する。その結果、転送劣化箇所に信号電荷がトラップされ難くなるかトラップされなくなるので、さらに信号電荷量のばらつきを低くすることができる。
以上、本発明の固体撮像装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で当業者が思いつく各種変形を施したものも本発明の範囲内に含まれる。
例えば、上記実施の形態のカメラにおいて、待機期間でバリア領域として動作する電荷転送段のうちの水平CCDに最も近い電荷転送段が、バリア領域として動作した後に待機期間でウェル領域として動作するように電荷転送が行われてもよい。これによって、水平CCDと垂直CCDの最終段との間の電位差を大きくすることができるので、転送残りを発生させること無く1パケットを水平CCDに転送することができ、水平CCDと垂直CCDとの間での転送効率の劣化を防止できる。この場合には、例えば図8のポテンシャル分布の変化図(2列目の垂直CCD210におけるポテンシャル分布の変化図)に従ってパケット転送が行われる。この転送は、時間t13の後の時間t14において駆動電極V12にローレベルの電位VLを印加し、駆動電極V12が設けられた電荷転送段をバリア領域として動作させた後、時間t15において駆動電極V12に再度ミドルレベルの電位VMを印加し、駆動電極V12が設けられた電荷転送段をウェル領域として動作させるという点で図7に示されるパケット転送と異なる。
また、上記実施の形態において、垂直CCDは、転送電極V1〜V12を有する12相駆動のCCDであるとした。しかし、上記実施の形態のパケット転送が適用可能なCCDであれば、つまり7段以上の電荷転送段を有し、7相以上の駆動パルスが印加されるCCDであればこれに限られず、例えば7相駆動のCCDであってもよい。この場合には、7段以上の電荷転送段のうちの待機期間においてバリア領域として動作する電荷転送段が少なくとも隣接する3段となるように電荷転送が行われる。そして、隣接する3段は、電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域として動作する2つの電荷転送段と、この2つの電荷転送段に挟まれる、電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜しないバリア領域として動作する1つの電荷転送段とされる。そして隣接する3段の電荷転送段の最も下流に位置する電荷転送段(最下流の電荷転送段)は電荷の転送方向にポテンシャルが傾斜したバリア領域として動作する電荷転送段である。
また、上記実施の形態において、不純物領域への不純物の注入段差によりポテンシャルの傾斜を形成するとした。しかし、電荷転送のチャネル幅を転送方向に広げていく狭チャネル効果を利用することによって、ポテンシャルの傾斜を形成してもよい。
本発明は、固体撮像装置に利用でき、特に画素混合を行うCCD型固体撮像装置等に利用することができる。
100 固体撮像素子
110 クロックドライバ(VDr)
120 前処理部(CDS/AGC)
130 デジタル信号処理部(DSP)
140 タイミングジェネレータ(TG)
200 フォトダイオード
210 垂直CCD
220 水平CCD
230 振り分け転送部
240 撮像部
250 電荷検出部
300 基板
310、320、330 不純物領域
340 第1電荷転送段
341 第2電荷転送段
342 第3電荷転送段
343 第4電荷転送段
344 第5電荷転送段
345 第6電荷転送段
346 第7電荷転送段
347 第8電荷転送段
348 第9電荷転送段
349 第10電荷転送段
350 第11電荷転送段
351 第12電荷転送段
400 パケット
110 クロックドライバ(VDr)
120 前処理部(CDS/AGC)
130 デジタル信号処理部(DSP)
140 タイミングジェネレータ(TG)
200 フォトダイオード
210 垂直CCD
220 水平CCD
230 振り分け転送部
240 撮像部
250 電荷検出部
300 基板
310、320、330 不純物領域
340 第1電荷転送段
341 第2電荷転送段
342 第3電荷転送段
343 第4電荷転送段
344 第5電荷転送段
345 第6電荷転送段
346 第7電荷転送段
347 第8電荷転送段
348 第9電荷転送段
349 第10電荷転送段
350 第11電荷転送段
351 第12電荷転送段
400 パケット
Claims (10)
- 2次元状に配列された複数の光電変換素子と、
前記光電変換素子で発生した電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、
前記複数の垂直転送部によって転送された電荷を行方向に転送する水平転送部と、
前記垂直転送部による電荷転送を制御する転送制御部とを備え、
前記垂直転送部は、印加電圧に応じてバリア領域及びウェル領域として動作する7段以上の電荷転送段を含み、
前記電荷転送段は、少なくとも電荷転送方向にポテンシャルが傾斜した第1電荷転送段を備え、
前記転送制御部は、
前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送し、かつ、
前記複数個のパケットの電荷転送が停止する待機期間が、前記複数個のパケットによる電荷転送が行われる転送期間よりも長くなり、かつ、
前記待機期間においては、前記バリア領域として動作する電荷転送段が、前記7段以上の電荷転送段のうちの少なくとも隣接する3段となり、かつ、
前記待機期間においてバリア領域として動作する隣接する複数段の電荷転送段のうち、最も下流に位置する電荷転送段が前記第1電荷転送段であるように前記垂直転送部による電荷転送を制御する
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送するのは、画素混合時である
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送するのは、手ぶれ防止時または電子ズーム時である
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1電荷転送段では、不純物の注入段差によって、前記ポテンシャルの傾斜が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1電荷転送段では、電荷転送のチャネル幅を転送方向に広げていく狭チャネル効果を利用することによって、前記ポテンシャルの傾斜が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記転送制御部は、前記待機期間において、前記7段以上の電荷転送段のうちの前記水平転送部に最も近い電荷転送段が、前記バリア領域として動作した後にウェル領域として動作するように前記垂直転送部による電荷転送を制御する
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 2次元状に配列された複数の光電変換素子と、前記光電変換素子で発生した電荷を列方向に転送する複数の垂直転送部と、前記複数の垂直転送部によって転送された電荷を行方向に転送する水平転送部とを備える固体撮像装置の駆動方法であって、
前記垂直転送部は、印加電圧に応じてバリア領域及びウェル領域として動作する7段以上の電荷転送段を含み、
前記電荷転送段は、少なくとも電荷転送方向にポテンシャルが傾斜した第1電荷転送段を備え、
前記駆動方法は、
前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送し、かつ、
前記複数個のパケットの電荷転送が停止する待機期間が、前記複数個のパケットによる電荷転送が行われる転送期間よりも長くなり、かつ、
前記待機期間においては、前記バリア領域として動作する電荷転送段が、前記7段以上の電荷転送段のうちの少なくとも隣接する3段となり、かつ、
前記待機期間においてバリア領域として動作する隣接する複数段の電荷転送段のうち、最も下流に位置する電荷転送段が前記第1電荷転送段であるように前記固体撮像装置を駆動する
ことを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。 - 前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送するのは、画素混合時である
ことを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置の駆動方法。 - 前記垂直転送部が、前記バリア領域で区切られる連続した前記ウェル領域で転送される電荷であるパケットを複数個連続して転送するのは、手ぶれ防止時または電子ズーム時である
ことを特徴とする請求項7記載の固体撮像装置の駆動方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の固体撮像装置を備える
ことを特徴とするカメラ。
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