JP2009286841A - 封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エポキシ樹脂、フェノール性水酸基を有する硬化剤、硬化促進剤、および無機充填材を必須成分として含有する封止用エポキシ樹脂組成物であって、予めフェノール性水酸基を有する硬化剤に硬化促進剤の2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールを分散させてマスターバッチを調製し、当該マスターバッチを少なくともエポキシ樹脂および無機充填材を含む他の配合成分と共に混練して得られたものであることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
<実施例1>
表1に示す各配合成分を、表1に示す割合で配合した封止用エポキシ樹脂組成物を調製した。表1に示す配合成分として、以下のものを使用した。
エポキシ樹脂:ビフェニル型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製、YX4000H
硬化剤:フェノールノボラック樹脂、明和化成(株)製、DL92
硬化剤:ビフェニルアラルキル樹脂、明和化成(株)製、MEH7851SS
硬化促進剤:2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、四国化成工業(株)製、キュアゾール 2P4MHZ−PW
硬化促進剤:テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート含有混合物、明和化成(株)製、KXM
無機充填材:溶融シリカ、電気化学工業(株)製、FB940X
シランカップリング剤:γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、信越化学工業(株)製、KBM802
シランカップリング剤:N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製、KBM573
離型剤:天然カルナバワックス、大日化学工業(株)製、F1−100
着色剤:カーボンブラック、三菱化学(株)製、MA600MJ
封止用エポキシ樹脂組成物は、以下の手順に従って調製した。最初に硬化剤のフェノールノボラック樹脂およびビフェニルアラルキル樹脂を130℃で30分間加熱攪拌し十分に溶解させた。次いで硬化促進剤の2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールおよび明和化成(株)製 KXMを少しずつ加え、全て投入した後に液温を150℃まで上昇させた。樹脂が透明感を帯びた時点でこれを外部に取り出し、硬化剤に硬化促進剤が分散されたマスターバッチを得た。
[パッケージの反り]
封止用エポキシ樹脂組成物を用いて、28mm×28mmの封止面積を有するBGAパッケージを金型温度175℃、注入圧力70kgf/cm2、成形時間90秒、後硬化175℃/6hの条件にてトランスファー成形した。
[保存安定性]
封止用エポキシ樹脂組成物を調製後、25℃でシリカゲル入りの容器内に96h放置し、その粘度劣化をスパイラルフロー、ゲルタイム、スリット粘度で評価した。
(スパイラルフロー)
ASTM D3123に準じたスパイラルフロー測定金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力70kgf/cm2、成形時間90秒の条件にて封止用エポキシ樹脂組成物の成形を行い、流動距離(cm)を測定した。封止用エポキシ樹脂組成物の調製直後における測定値A1と、96h放置後の測定値B1より、変化率=[B1/A1]×100(%)を求めて粘度劣化の指標とした。
(ゲルタイム)
キュラストメータ((株)オリエンテック製)を用い、封止用エポキシ樹脂組成物の175℃でのゲルタイム(トルクが0.1kgfになるまでの時間)を測定した。封止用エポキシ樹脂組成物の調製直後における測定値A2と、96h放置後の測定値B2より、変化率=[B2/A2]×100(%)を求めて粘度劣化の指標とした。
(スリット粘度)
矩形粘度測定機(松下電工(株)製)を用いてスリット粘度を測定した。幅W、厚さDの長尺スリットの上流側と下流側にそれぞれ圧力センサS1、S2を設け(センサ間距離L)、金型温度を175℃として注入圧:10MPa、注入速度Q:1.3mm/s、ポット保持時間:10sの条件にて圧力センサS1上流からスリット内へ封止用エポキシ樹脂組成物を注入してスリット内を通過させ、圧力センサS1、S2により圧力損失ΔPを測定し、下記式からスリット粘度ηを求めた。
ΔP=(12η/WD3)QL
封止用エポキシ樹脂組成物の調製直後におけるスリット粘度ηの測定値A3と、96h放置後のスリット粘度ηの測定値B3より、変化率=[B3/A3]×100(%)を求めて粘度劣化の指標とした。
<比較例1>
硬化促進剤として実施例1と同じものを使用し、マスターバッチを調製せずに、硬化促進剤をそのまま表1に示す他の配合成分と共に配合し、常法に従ってこれらを混合、混練し、冷却した後に粉砕することにより封止用エポキシ樹脂組成物を得た。
<比較例2>
硬化促進剤として明和化成(株)製 KXMのみを使用し、マスターバッチを調製せずに、硬化促進剤をそのまま表1に示す他の配合成分と共に配合し、常法に従ってこれらを混合、混練し、冷却した後に粉砕することにより封止用エポキシ樹脂組成物を得た。
Claims (2)
- エポキシ樹脂、フェノール性水酸基を有する硬化剤、硬化促進剤、および無機充填材を必須成分として含有する封止用エポキシ樹脂組成物であって、予めフェノール性水酸基を有する硬化剤に硬化促進剤の2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールを分散させてマスターバッチを調製し、当該マスターバッチを少なくともエポキシ樹脂および無機充填材を含む他の配合成分と共に混練して得られたものであることを特徴とする封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1に記載の封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体チップが封止されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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