JP5102095B2 - 圧縮成形用半導体封止エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Description
で表されるビフェニル骨格を有する結晶性エポキシ樹脂をエポキシ樹脂の全体量に対して30〜100質量%の割合で含有し、前記硬化促進剤は、次式(2)
表1に示す配合物(配合量の単位は質量部)をブレンダーで30分混合し均一化した後、80℃に加熱した2本ロールで混練溶融させて押出し、冷却後、粉砕機で所定粒度に粉砕して、実施例1〜5及び比較例1〜4のエポキシ樹脂組成物を粒状材料として得た。これらのエポキシ樹脂組成物のプリフォーム性、充填性、ワイヤースイープ性、パッケージ反り性について評価した。
エポキシ樹脂1:前記式(1)で表されるビフェニル骨格を有する結晶性エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、YX4000H、エポキシ当量196)
エポキシ樹脂2:多官能型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN−502、エポキシ当量175)
硬化剤1:フェノールノボラック樹脂(荒川化学工業(株)製、タマノール752、水酸基当量104)
硬化剤2:多官能型フェノール樹脂(昭和化成(株)製、MEH7500、水酸基当量100)
硬化促進剤1:前記式(2)で表される化合物(テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボラート)(北興化学(株)製、TPP−K)
硬化促進剤2:トリフェニルホスフィン(北興化学(株)製、TPP)
無機充填材:溶融シリカ(電気化学工業(株)製、FB820)
カップリング剤:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、KBM403)
離型剤:カルナバワックス(大日化学(株)製、F1−100)
カーボンブラック:三菱化学製、40B
上記粒状材料の成形条件、評価方法は下記のとおりである。
<圧縮成形条件>
金型温度:175℃
圧縮圧力:10MPa
圧縮時間:150秒
後硬化:175℃/6時間
<プリフォーム性>
金型温度80℃にて、圧縮圧力1MPaで30秒間、粒状材料を圧縮し、その広がり距離(mm)を計測してプリフォーム性を評価した(広がり距離が大きい程、良好なプリフォーム性を示す)。
<充填性>
42×140×0.2mmtの有機基板上に8mm×9×0.3mmtの半導体チップを銀ペーストを用いて3×10列に均等に搭載し、金線径20μmワイヤー長3mmのワイヤーをボンディングしたものを、外形38×135×0.5mmtの粒状材料のプリフォーム品を用いて上記圧縮成形条件にて圧縮成形したFBGAパッケージを用いて、外観検査により、0.1mm以上の未充填ボイドの有無を実体顕微鏡にて確認した。試験パッケージ数に対する未充填発生パッケージ数で充填性を評価した。
<ワイヤースイープ性>
充填性で評価したパッケージを、軟X線装置にてワイヤースイープ率を測定し、その平均値にてさらに比較評価した。単位は%である。
<パッケージ反り性>
充填性で評価したパッケージを、表面粗さ計にてパッケージの対角線を計測し、その最大値−最小値を、パッケージ反り量として評価した。単位はmmである。
Claims (5)
- 前記硬化剤は、前記エポキシ樹脂と前記硬化剤との当量比(OH当量/エポキシ当量)が0.5〜1.5の範囲内で含有することを特徴とする請求項1に記載の圧縮成形用半導体封止エポキシ樹脂組成物。
- 前記硬化促進剤は、前記エポキシ樹脂と前記硬化剤の合計量に対して0.1〜5.0質量%の割合で含有することを特徴とする請求項1または2に記載の圧縮成形用半導体封止エポキシ樹脂組成物。
- 前記無機充填材は、エポキシ樹脂組成物全量に対して60〜93質量%の割合で含有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の圧縮成形用半導体封止エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1から4のいずれかに記載の圧縮成形用半導体封止エポキシ樹脂組成物の硬化体で半導体素子が封止されていることを特徴とする半導体装置。
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