JP2012072209A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】特定のジヒドロアントラセン骨格含有エポキシ樹脂を30〜100質量%含有するエポキシ樹脂、フェノール硬化剤、半導体封止用エポキシ樹脂組成物の全量に対して85〜95質量%の無機充填剤、および半導体封止用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.5〜2.0質量%のステアリン酸ワックスを含有することを特徴とする。
【選択図】なし
Description
(エポキシ樹脂1)
ビフェニル型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製「YX4000H」、エポキシ当量195
(エポキシ樹脂2)
式(I)で表されるジヒドロアントラセン骨格含有エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製「YL7172」、エポキシ当量180、軟化点104℃
(フェノール硬化剤)
フェノールノボラック樹脂、明和化成(株)製「DL−92」、水酸基当量105
(無機充填剤)
溶融シリカ、電気化学工業(株)製「FB820」
(シランカップリング剤)
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製「KBM403」
(ステアリン酸ワックス)
WO2
(離型剤)
カルナバワックス、大日化学工業(株)製「F1−100」
(着色剤)
カーボンブラック、三菱化学(株)製「40B」
(硬化促進剤)
北興化学工業(株)製「TPP」
表1に示す各配合成分を、表1に示す割合で配合し、ミキサー、ブレンダー等で均一に混合した後、ニーダーやロールで加熱、混練し、その後冷却固化し、次いで粉砕機で所定粒度に粉砕して粒状の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を得た。
金型温度:175℃
注入圧力:70kgf/cm2
成形時間:90秒
後硬化:175℃/6h
次の測定および評価を行った。
1.測定
[スパイラルフロー]
ASTMD3123に準じたスパイラルフロー測定金型を用いて前記の条件にて成形し、流動距離(cm)を測定した。
[パッケージ反り量[μm](常温)、パッケージ反り変化量[μm](常温〜260℃)]
35×35×0.5mmtPBGA(封止サイズ29×29×1.17mmt、BT基板、レジストPSR4000)を175℃、90sキュアにて成形し後硬化してPBGAのパッケージを作製した。このパッケージについて、AKROMETRIX社製のシャドウモアレ(PS200)を用いて、常温(25℃)および260℃の反り(コプラナリティー)を測定した。
[ガラス転移温度および線膨張係数]
前記のトランスファー成形条件にて5mmφ×30mmの試験片を得た。これを東京工業株式会社製の線膨張係数試験機にセットし、昇温5℃/分にて常温から260℃まで測定した。
[成形収縮率]
前記のトランスファー成形条件にて、試験片を得た。成形後の試験片の寸法を測定し、金型寸法に対する試験片の寸法により収縮率[%]を算出した。
2.評価
[流動性]
前記のスパイラルフローの測定結果より次の基準に基づき評価した。
◎:200cm以上
○:160cm以上200cm未満
△:140cm以上160cm未満
×:140cm未満
[パッケージ反り(常温)]
上記の常温でのパッケージ反り量の測定結果より次の基準に基づき評価した。
◎:160μm以上190μm未満
○:140μm以上160μm未満または190μm以上210μm未満
△:210μm以上220cm未満
×:140μm未満または220μm以上
[パッケージ反り(変化量)]
上記の常温および260℃でのパッケージ反り量の測定結果より、反り変化量から次の基準に基づき評価した。
◎:400μm未満
○:400μm以上450μm未満
△:450μm以上500μm未満
×:500μm以上
その結果を表1に示す。
Claims (3)
- 成形収縮率が0.17%以上であり、線膨張係数α2が3.5×10-5以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1または2に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体チップが封止されていることを特徴とする半導体装置。
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