JP2009283761A - 搬送パッドのクリーニング機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ搬送パッド5の表面に当接させて搬送パッド5表面の付着物を除去するスクレーパ1と、スクレーパ1により除去された付着物を収容する収容部2と、スクレーパ1と収容部2とを取付けるベース(不図示)と、ベースの昇降装置(不図示)とを備え、クリーニング実施時は、ベースを昇降装置にて所定位置に上昇させ、パッド5の表面にスクレーパ1のエッジ部1aを押し当てるとともに、パッド5の表面を水平に保ちつつパッド5をスクレーパ1に対して移動させ、クリーニング不実施時は、ベースを所定位置から下降させて、パッド5と上記エッジ部1aとが干渉しないように構成される。
【選択図】図1
Description
請求項2の発明は、さらに、上記ベースは、該ベースと上記スクレーパとの取付け角度を調整する調整手段を備えることを特徴とする。これにより、搬送パッドとスクレーパのエッジ部との当接角度を最適に調整することができる。
また、搬送パッドの付着物が除去されるため、これに起因するウェーハの割れの発生を防止することができる。
さらに、従来操作者がオイルストーンを用いて行なっていたクリーニング作業が上記構成のクリーニング機構により自動化されるため、作業負荷の軽減が図れる。
図1は、本発明の搬送パッドのクリーニング機構の一実施形態を示す模式図であり、(a)は平面図、(b)は搬送パッドの移動方向に平行な断面における断面図を示す。符号1はスクレーパ、符号2は収容部、符号5は搬送パッドをそれぞれ示す。
図2及び図3に示すように、直方体のスクレーパ1が、搬送パッド5の下面に当接する長手方向の一辺(以下「エッジ部」と記す。)1aを水平に保って搬送パッド5の進行方向に上部を傾けられて配設されている。スクレーパ1の向かい側には、スクレーパによって除去されたパッドの付着物を収納する収容部2が設置されており、収容部2の上端2aはエッジ部1aより低くなっている。
スクレーパ1が任意の角度、高さで取付けられるように、角度調整機能3aが第1のブラケット3cと第2のブラケット3dの間に、高さ調整機能3bが第3のブラケット3eとベース3の間に各々備えられている。さらに、スクレーパ1と移動中の搬送パッド5との当接時の衝撃を緩和し、その後、搬送パッド5の下面にスクレーパ1を押し付けるために、バネ3gが第3のブラケット3eに、スクレーパ1の長手方向に複数箇所設けられている。
なお、本実施形態ではスクレーパ1は図2及び図3に示すように傾斜して取り付けられているが、傾斜角度θはエッジ部1aの磨耗状態、搬送パッド5の材質、付着物の付着状態等に応じて最適な角度に調整される。スクレーパ1の上面を水平(θ=0°)にして図1(b)のように取り付けてもよい。
搬送パッド5によりウェーハの搬送が行なわれている間は、ベース3は下降位置(図2において実線により示される。)にあり、スクレーパ1は搬送パッド5に干渉しない位置に待機している。
上記構成により、搬送パッド5の通常の搬送サイクルの中で時間的ロスを生じさせずにクリーニング動作を行うことを可能とした。
また、上記構成のクリーニング機構によるクリーニング動作は、ウェーハの搬送サイクルの中に組み込まれており、ウェーハを1枚搬送する毎に行なわれるため、操業を止める必要のある従来のクリーニング作業に較べて操業能率が向上する。
さらに、従来操作者がオイルストーンを用いて行なっていたクリーニング作業が上記構成のクリーニング機構により自動化されるため、作業負荷の軽減が図れる。
1a エッジ部
2 収容部
2a 上端
2b 吸引配管
3 ベース
3a 角度調整機能
3b 高さ調整機能
3c 第1のブラケット
3d 第2のブラケット
3e 第3のブラケット
3g バネ
4 昇降装置
5 搬送パッド
Claims (2)
- 搬送パッドのクリーニング機構であって、
ウェーハ搬送パッドの表面に当接させて上記搬送パッド表面の付着物を除去するスクレーパと、
上記スクレーパにより除去された付着物を収容する収容部と、
上記スクレーパと上記収容部とを取付けるベースと、
上記ベースの昇降装置と、を備え、
クリーニング実施時は、上記ベースを上記昇降装置にて所定位置に上昇させ、上記パッドの表面に上記スクレーパのエッジ部を押し当てるとともに、上記パッドの表面を水平に保ちつつ上記パッドを上記スクレーパに対して移動させ、
クリーニング不実施時は、上記ベースを上記所定位置から下降させて、上記パッドと上記エッジ部とが干渉しないように構成される
ことを特徴とする搬送パッドのクリーニング機構。 - 上記ベースは、該ベースと上記スクレーパとの取付け角度を調整する調整手段を備える、請求項1に記載の搬送パッドのクリーニング機構。
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JP5094554B2 JP5094554B2 (ja) | 2012-12-12 |
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- 2008-05-23 JP JP2008135491A patent/JP5094554B2/ja active Active
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