JPH07161784A - クリーニング装置及びこの装置を用いたプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】プロ−ブ針のガイド部材の底面に付着した付着
物をプロ−ブ針を破損させずに除去してプロ−ブカ−ド
を延命させる。 【構成】プロ−ブカ−ド１０に設けられたプロ−ブ針３
と対向して設けられたブラシ５と、このブラシ５に断続
的にエア−を噴射してブラシ５を振動させる振動機構１
９とを備え、振動したブラシ５とエア−によりブロ−ブ
カ−ド１０の付着物を除去することを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はプロ−ブカ−ドのクリ
−ニング装置および、この装置を用いたプロ−ブ装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プロ−ブカ−ドには傾斜形プロ−ブカ−
ドと垂直型プロ−ブカ−ドがある。前者は基板（積層
板）に放射状で且つほぼ７度に傾斜してプロ−ブ針が配
置されたプロ−ブカ−ドである。後者は基板（積層板）
にガイド板を平行に設け、プロ−ブ針をウエハ面に直交
するように配置しプロ−ブカ−ドである。傾斜形プロ−
ブカ−ド、または垂直型プロ−ブカ−ド双方とも、プロ
−ビングすると、ウエハから剥離された粉塵、例えば、
アルミ粉塵がプロ−ブ針の周りに浮遊する。垂直型プロ
−ブカ−ドでは剥離した粉塵がプロ−ブ針をガイドして
いる絶縁性のガイド板の底面（ウエハ上面の対向面に該
当する）に付着する。この付着物がプロ−ビングを重ね
る度に堆積する。この堆積した粉塵、即ち付着物は、プ
ロ−ブ針に電気的の絶縁不良等の不具合点を引きを起こ
す。それを回避する為、従来、堆積した付着物はエア−
の吹き付けによる風圧で除去していた。このエア−を吹
き付ける傾斜形プロ−ブカ−ドは、実開平６３−７５０
４１号公報に記載されている。

【０００３】一方、カメラ業界ではレンズクリ−ニング
ブラシ５０が知られている。このクリ−ニングブラシ
は、図８（ａ）に示すように、ハケ５１の中に設けられ
たノズル５２からエア−を噴射させてレンズ５３に付着
した塵５４を除去する構成である。上記レンズクリ−ニ
グブラシ５０を、垂直型プロ−ブカ−ドに使用する場合
を考えると、垂直型プロ−ブカ−ドではプロ−ブ針が太
いところで直径７０ミクロン、針先で直径２０ミクロ
ン、及びプロ−ブ針軸間距離１００ミクロンの微細な構
造であり、微小な力でもプロ−ブ針を破損させてしまう
が、もし、このレンズクリ−ニングブラシを自動的に用
いると、メカ機構５５でハケ５１の先端を左右に−θ、
＋θ揺動運動させ、上述したガイド基板底面の付着物を
剥離し粉塵５４を除去するとができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、垂直型
プロ−ブカ−ドにおけるガイド板５６に付着した付着物
を除去する際に、ハケ５１の先端をメカ的に揺動運動さ
せて、ガイド板５６の底面に付着した付着物を除去する
と、ハケ５１の先端が絡まって機械的に揺動運動させる
と、絡まった部分でプロ−ブ針５が引っかかり、さらに
揺動運動を続行するのでプロ−ブ針３を曲げてしまう問
題があった。

【０００５】そこで、本発明者は例えば合成繊維を数百
乃至数千本束ね、合成繊維の一端を結束してブラシの遊
端を高圧エア−の噴射で振動させ、ガイド板の底面に付
着した付着物及びプロ−ブ針に付着した付着物を除去す
る研究を行った。従って、

【０００６】この発明第１の目的は、プロ−ブ針のガイ
ド部材の底面に付着した付着物を、プロ−ブ針を破損さ
せず、振動したブラシで擦り付着物を除去し、剥離され
た粉塵をエア−で除去し、プロ−ブカ−ドを延命させる
クリ−ニング装置を提供することにある。

【０００７】この発明第２の目的は、プロ−ブ針軸間距
離が微細に配置されており、軸間の空隙が僅かなもので
も、ガイド部材の底面にブラシの先端が容易に到達でき
るように、ブラシの長手方向とプロ−ブ針の長手方向と
を同方向に配置したことにより、ブラシの曲がり、ブラ
シ破損等を少なくし、クリ−ニング装置の寿命を向上さ
せたクリ−ニグ装置を提供することにある。

【０００８】この発明第３の目的は、プロ−ブカ−ドの
位置にクリ−ニング装置を搬送してクリ−ニングするこ
とにより、メンテナンス性の向上を実現したプロ−ブ装
置を提供することにある。

【０００９】この発明第４の目的は、収納庫からプロ−
ブカ−ドを取り出し、測定部まで搬送し、測定部に取り
付けて測定する装置において、この搬送路内にクリ−ニ
ング装置を設け、プロ−ブカ−ド移動時に一時停止させ
てクリ−ニングすることによりスル−プットを向上させ
たプロ−ブ装置を提供することにある。

【００１０】この発明第５の目的は、複数の測定部とこ
の測定部のそれぞれに被測定体を導くロ−デイング機構
を有するプロ−ブ装置において、単一のクリ−ニング装
置でそれぞれのプロ−ブカ−ドをクリ−ニングすること
により、小型化が可能なプロ−ブ装置を提供することに
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

【手段１】プロ−ブカ−ドに設けられたプロ−ブ針と対
向して設けられたブラシと、このブラシに断続的にエア
−を噴射して上記ブラシを振動させる振動機構とを備
え、振動した上記ブラシと上記エア−により上記ブロ−
ブカ−ドの付着物を除去することを特徴としている。

【００１２】

【手段２】請求項１項記載のクリ−ニング装置におい
て、上記ブラシの長手方向と上記プロ−ブ針の長手方向
とを同方向に配置したことを特徴としている。

【００１３】

【手段３】プロ−ブカ−ドを測定位置に配置し、プロ−
ブ針を被測定体の電極に接触させて電気的特性を検査す
るプロ−ブ装置において、所定位置から請求項１項記載
のクリ−ニング装置を上記測定位置まで移動させる移動
手段を設け、上記プロ−ブカ−ドをクリ−ニングするこ
とを特徴としている。

【００１４】

【手段４】プロ−ブカ−ド収納部から選択されたプロ−
ブカ−ドを取り出し、測定位置に配置し、電気的特性を
検査する装置において、請求項１項記載のクリ−ニング
装置を上記収納部と上記測定位置との間の搬送路に設
け、プロ−ブカ−ド搬送時にクリ−ニングすることを特
徴としている。

【００１５】

【手段５】被測定体を測定する複数の測定部と、この測
定部のそれぞれに被測定体を導くロ−デイング機構とを
有するプロ−ブ装置において、上記測定部のそれぞれの
プロ−ブカ−ドに請求項１項記載のクリ−ニング装置を
単一のハンドリングア−ム機構で導き、この導かれたク
リ−ニング装置でそれぞれのプロ−ブカ−ドをクリ−ニ
ングすることを特徴としている。

【００１６】

【作用１】断続エア−をブラシの方向に噴射してブラシ
先端を振動させ、この振動した先端はガイド部材の底面
に接触し、ブラシ振動により付着物を物理的に擦るの
で、付着物が剥離され、ガイド部材から浮き上がる。こ
の浮き上がった付着物は粉塵となり、この粉塵はエア−
で外部に除去することができる。この除去によって、プ
ロ−ブ針軸間の空隙に堆積した導電性付着物による短絡
等が解消でき、プロ−ブカ−ドの寿命の延長が可能であ
る。即ち、プロ−ビング回数は、例えば４倍から６倍ま
で延びることが実証されている。この寿命の延長により
プロ−ブカ−ド交換の回数が激減し、メンテナンス時間
が短縮され生産性の効率が向上する。ちなみに、半導体
製造ラインにおいて、プロ−ブカ−ドが破損すると、こ
のプロ−ブカ−ドを交換するに止まらず、交換後のプロ
−ブ針と電極パッドの位置合せをする作業時間等の余分
な時間が必要であり、この時間も解消される。また、プ
ロ−ブ針の付着物も同時に除去される。

【００１７】

【作用２】垂直型プロ−ブカ−ドでは、プロ−ブ針間の
空隙が微細であり、ブラシの長手方向とプロ−ブ針の長
手方向とを同方向に配置した後、ガイド部材の底面にブ
ラシの遊端が到達するように移動するに際し、同方向に
配置しているので、ブラシがプロ−ブ針に絡みにくくな
り、また効率的なクリ−ニングが可能となり、更にクリ
−ニング装置が延命される。

【００１８】

【作用３】格納された位置から、プロ−ブカ−ドが配置
された測定部まで、クリ−ニング装置を移動し、ガイド
部材のクリ−ニングを行うので、従来のようにプロ−ブ
カ−ドをヘッドプレ−トから外し、クリ−ニングする際
の着脱時間を短縮させることができて作業性が向上す
る。

【００１９】

【作用４】プロ−ブカ−ド収納部から選択されたプロ−
ブカ−ドを取り出し、測定位置に配置し、電気的特性を
検査する装置において、クリ−ニング装置を収納庫と測
定部との搬送路内に設けているので、ウエハの種類に対
応してプロ−ブカ−ドを自動交換する時、プロ−ブカ−
ドを上記搬送路内にあるクリ−ニング装置でクリ−ニン
グした後、測定位置に装着するのでクリ−ニング後のプ
ロ−ブカ−ドで常に測定することができ、安定した測定
が可能となる。

【００２０】

【作用５】複数の測定部のそれぞれのプロ−ブカ−ドを
単一のクリ−ニング装置でクリ−ニングすることによ
り、プロ−ブ装置の小型化が可能になる。

【００２１】

【実施例】この発明のクリ−ニング装置をウエハプロ−
バに適用した実施例について、図面を参照しながら説明
する。本実施例のウエハプロ−バに設けられるプロ−ブ
針の先端は、半導体ウエハの上面に対して垂直に接続す
るように形成されており、上記プロ−ブ針の接触部分は
ウエハ面に対して垂直、即ち直線状に形成されている。
従って、説明の中で「プロ−ブ針の長手方向」とはこの
直線方向を意味し、「ブラシの長手方向」も同様に定義
して説明する。

【００２２】図１（ａ），（ｂ）に示すように、上記ウ
エハプロ−バは、ウエハ１の電極パッド２にプロ−ブ針
３を接触させて検査する測定部４と、被測定体のウエハ
１を支持する載置台１１を有し、ウエハ１を測定部４ま
で搬送する搬送部と、プロ−ブ針３に付着した付着物を
ブラシ５を振動させて除去するクリ−ニング装置６とを
備えている。そして、ダミ−ウエハ（図示せず）を用い
てプロ−ブ針３と電極パッド２の位置合わせをし、載置
台１１上のウエハ１の電極パッド２にプロ−ブ針３を接
触させ、チップを順次プロ−ビングし、所定回数のプロ
−ビング終了後、クリ−ニング装置６によりプロ−ブ針
３を自動的にクリ−ニングし、終了後再度プロ−ビング
を開始するように構成されている。

【００２３】上記ウエハプロ−バの測定部４には、ウエ
ハプロ−バの基台７から立設された支柱を介して基台７
と平行に配置されたヘッドプレ−ト８が設けられ、この
ヘッドプレ−ト８の中央に開口部があり、この開口部に
リングインサ−ト部材９を介して垂直型のプロ−ブカ−
ド１０が装着され、このプロ−ブカ−ド１０のプロ−ブ
針３の先端がウエハ１面に直交するように配設されてい
る。また、ウエハ１が載置された載置台１１はＸＹイン
デックス機構を有するＸＹステ−ジ１２に搭載され、移
載位置においてロ−ダ１３側からウエハ１を受け取り、
測定部４まで移動可能に構成されている。

【００２４】上記ウエハプロ−バの搬送部（図示せず）
は特公平５−２９１４３号、特開昭６２−１６９３４１
号公報等多数の文献に開示され周知なので簡単に説明す
る。まず、図１（ａ）で２点鎖線で示す移載位置で上記
ウエハプロ−バの基台７の右側に設けられたハンドリン
グア−ム（図示せず）でウエハカセット（図示せず）か
らウエハ１を取り出し、ウエハ１を載置台１１上に受け
取り、ＸＹステ−ジ１２の駆動で測定部４まで搬送す
る。

【００２５】搬送後に測定部４では、プロ−ブ針３とウ
エハ１の電極パッド２との位置合わせを行ない、載置台
１１を昇降機構１４で上昇させ、順次プロ−ビングを行
なう。ここで、例えば４万回のプロ−ビング毎に自動的
にクリ−ニングを実施するように制御される。図１
（ｂ）（ｃ）に示すようにクリ−ニングの際には、載置
台１１を測定部４から退避させ、次に基台７の左側にあ
るクリ−ニング用のハンドリングア−ム１５を駆動させ
て、クリ−ニング装置６をプロ−ブ針３の下に到達さ
せ、クリ−ニング装置６でクリ−ニングした後に元の位
置に戻り、再びプロ−ビングを開始するようになってい
る。

【００２６】上記ハンドリングア−ム１５の駆動機構に
は制御部１６が接続され、この制御部１６の指令によ
り、ハンドリングア−ム１５がクリ−ニング装置６を測
定部４のプロ−ブ針３の下に移動させ、昇降機構１７に
よってクリ−ニング装置６を長手方向に移動させてブラ
シ５の先端をプロ−ブ針列に干渉させてクリ−ニングす
るようになっている。

【００２７】次に、上記クリ−ニング装置の構成につい
て説明する。図１（ｃ）に示すように、基台７には支柱
１５ｄが立設されており、この支柱１５ｄにはハンドリ
ングア−ム１５の一端が回転自在に固定されている。こ
こで、ハンドリングア−ム１５は主ア−ム１５ａと従ア
−ム１５ｂとから構成されており、従ア−ム１５ｂの自
由端には昇降機構１７が設けられている。この昇降機構
１７には周調整機構１７ａが固定されており、周調整機
構１７ａに上記クリ−ニング装置６が装着されている。
そして、支柱１５ｄの近傍で待機していたクリ−ニング
装置６を測定部４に配置されているプロ−ブカ−ド１０
の中心位置まで移動するようになっている。

【００２８】図２（ａ）に示すように、上記クリ−ニン
グ装置６は、大別すると振動機構１９と移動機構である
昇降機構１７とから構成されており、振動機構１９はブ
ラシ機構１８とエア−供給機構２５とで構成されてい
る。

【００２９】上記ブラシ機構１８は、ハンドリングア−
ム１５の自由端に固定されたクリ−ニング基台２０に設
けられている。そして、このブラシ機構１８にはプロ−
ブ針３の長手方向と同方向に整列した繊維束５ａが設け
られ、繊維束５ａの基端部は固定金具２１によって結束
されている。この繊維束５ａは、例えばナイロン系繊維
を２つ折りにして断面が長方形状になるように束ねられ
ている。例えば、長さ３５ミリの繊維で６×４ミリ長方
形の繊維束５ａの遊端を上記プロ−ブ針３の先端と対向
するように配置し、その基端を固定金具２１で固定して
いる。そして、図２（ｄ）に示すように、繊維束５ａの
遊端５ｂをプロ−ブ針３の列方向に集束させるガイド部
材２２がクリ−ニング基台２０に固定されている。

【００３０】上記ガイド部材２２は、断面が長方形状、
例えばｔ＝０．５、幅８×高さ６ミリのアルミ材で形成
され、また、風洞２３がプロ−ブ針３の長手方向と直交
方向でガイド部材２２に固定されている。この風洞２３
の長手方向の中心付近には、ブラシ５の繊維束５ａが挿
着される長方形の開口部２３ａが余裕を持って開口され
ている。この開口部２３ａは繊維束５ａの遊端５ｂがエ
ア−により振動、正確には遊端５ｂが搖動運動するに際
し、必要な領域（別名、搖動運動しろ、とも言う）で開
口されているのは言うまでもない。

【００３１】また、上記風洞２３の長手方向の一方から
他方に向けてエア−を断続的に噴射するエア−ガン２４
が設けられている。このエア−ガン２４はエア−供給機
構２５に連結されている。そして、エア−供給機構２５
で調節されたエア−が断続的にエア−ガン２４を介して
風洞２３に噴射されるようになっている。図３（ｂ）に
示すように上記エア−供給機構２５は、高圧発生器２５
ａと、エア−フイルタ２５ｆ（例えば約０，５ミクロン
のフイルタ、必要に応じてエア−ドライヤ付加）と、圧
力調整器２５ｂ（例えば入力３乃至１０ｋｇ、出力０乃
至３ｋｇ／０．５ｋｇ）と、流量調整器２５ｃ（ニ−ド
ルバルブ）と、タイミングコントロ−ラ２５ｄ（ソレノ
イドバルブを用いて、０．２乃至２ｓｅｃ／周期、デウ
テイ−比２０乃至８０％可変）とから構成され、エア−
を断続的にブラシに噴射するようになっている。

【００３２】図３（ｃ）に示すように、断続エア−はタ
イミングコントロ−ラ２５ｄにパルスを入力し、電磁弁
２５ｅを駆動することにより発生し、この断続的に設定
されたエア−をブラシの一種である繊維束５ａに噴射す
るように構成されている。ここで、エア−ガン２４から
噴射されたエア−は繊維束５ａと直交するように配置さ
れている、また、到達したクリ−ニング装置の繊維束５
ａの遊端５ｂが適正な位置に補正できるように上記周調
整機構１７ａが配置されている。上記エア−ガン２４の
内部は、図２（ｃ）に示すように円形の配管から断面が
長方形に形成されているので乱流が発生する。そこで、
この乱流を層流に近づける整流羽２９が複数配置されて
いる。

【００３３】ここで、整流羽２９を用いる例について説
明したが用いなくても良い。また、図２（ａ）に示す別
系統で設けられたエア−ノズル２８には、エア−がプロ
−ブ針３の先端付近に噴射するように方向を調整する調
整機構が設けられている。上記ハンドリングア−ム１５
には、図４に示すように支柱１５ｄと主ア−ム１５ａと
従ア−ム１５ｂとからなる２軸のア−ム機構が採用され
ている。支柱１５ｄにはパルスモ−タ（図示せず）が内
臓され、ウエハプロ−バの基台７から立設された支柱１
５ｄの頂面から突出したパルスモ−タの軸に主ア−ム１
５ａの一端が連結されており、制御部の指令により回転
駆動するように構成されている。

【００３４】上記昇降機構１７は、プロ−ブ針３にブラ
ジ５が触れるまでクリ−ニング基台２０を上昇するよう
に予めプログラムされている。また、測定部４の両側に
は、クリ−ニング時に発生する塵埃を除去するエアブロ
−噴射口２６と吸引口２７とが設けられ、図示しないエ
ア−供給源と吸引源に各々接続されている。上記クリ−
ニング装置６は、主ア−ム１５ａと従ア−ム１５ｂが一
直線となる周角度θ１の時、測定部４の中心にクリ−ニ
ング装置６の中心が位置するように予め設定されてい
る。ここで、片持型のハンドリングア−ム１５を用いる
長所は、駆動時に粉塵の発生が他の搬送装置より押さえ
られることである。なお、このハンドリングア−ム１５
の代わりに後述する平行移動装置３１を使用してもよ
い。

【００３５】次に、上記ハンドリングア−ム１５に代わ
って両持型の平行移動装置３１の構成について説明す
る。図４（ｄ）〜（ｇ）に示すように上記平行移動装置
３１は、ヘッドプレ−ト８の下方において測定部４を中
心として、その両側に平行に設けられた一対のガイドレ
−ル３２と、このガイドレ−ル３２に沿って移動するＨ
形の移動部材３３とからなり、この移動部材３３の中央
には昇降機構１７が設けられ、この昇降機構１７の上面
にはクリ−ニング基台２０が設けられている。そして、
予め設定された位置（図では左側）に格納されていた平
行移動装置３１を駆動させてクリ−ニング装置６の中心
を測定部４の中心まで移動させ、昇降機構１７でブラシ
５がプロ−ブ針３に干渉するまで上昇するように構成さ
れている。

【００３６】図３（ｂ）に示すように上記制御部１６
は、予め記憶されているプログラムまたはキ−ボ−ド３
４で入力可能になっている。上記制御部１６ではクリ−
ニング指令を受けると、測定部４に載置台１１が有るか
否かを確認し、測定部４に載置台１１がない場合にはハ
ンドリングア−ムを駆動して測定部４にクリ−ニング基
台２０を移動させる。次に、クリ−ニング基台２０を上
昇させ、エア−の流量、圧力及び振動等が適正値に制御
される。

【００３７】次に、上記プロ−ブ装置及びクリ−ニング
装置の動作について説明する。まず、ダミ−ウエハを用
いてプロ−ブ針３と電極パッド２の位置合わせを行う。
その後、ウエハカセット（図示せず）からウエハ１を取
り出し、粗位置合わせを行う。そして、図１に示すよう
に載置台１１に載置してＸＹステ−ジ１２で測定部４ま
で移動し、この移動したウエハ１のチップの電極パッド
２と、予め測定部４の上方に配置された垂直型プロ−ブ
カ−ド１０のプロ−ブ針３とを合致させ、ウエハ１が載
置された載置台１１の上昇で、チップの電極パッド２に
プロ−ブ針３を接触させる。更にオ−バ−ドライブを加
えて、例えば４万回プロ−ビングし、各チップの電気回
路の良否を検査する。

【００３８】予め決められた条件、例えば４万回プロ−
ビングした後にクリ−ニングを実行するようにプログラ
ムしてあれば、この条件に従って、制御部１６の指令に
より所定位置に格納されていたハンドリングア−ム１５
はクリ−ニング装置６を測定部４の位置まで移動させ
る。図２に示すように、測定部４に到達したクリ−ニン
グ装置６は昇降機構１７で所定の高さ、即ちガイド部材
１０ａの底面にブラシ５の先端が接触するまで上昇する
と停止する。この位置を保った状態で、図３（ｄ）に示
すようにエア−ガン２４のから断続的にエア−を噴射さ
せ、ブラシ５を振動させてブラシ５の先端５ｂの振動で
ガイド部材１０ａに付着した付着物を物理的に擦って剥
がし、粉塵５４として浮かび上がらせる。また、２次的
効果としてプロ−ブ針３に付着した付着物も物理的に擦
ってプロ−ブ針３から付着物を剥がして、粉塵５４とし
て浮かび上がらせる。

【００３９】これらの浮き上がった粉塵５４は、別系統
のエア−ノズル２８からの高圧エア−で吹き飛ばす。こ
の動作を１〜２分継続すると、十分に付着物をプロ−ブ
針３から除去することができる。この動作時間は予め設
定しておく。ここで別系統のエア−ノズル２８からの高
圧エア−で吹き飛ばすと述べたが、同系統の高圧エア−
で吹き飛ばすようにしても良い。

【００４０】上記プロ−ブカ−ドのクリ−ニング終了
後、クリ−ニング装置６を昇降機構１７の駆動で降下さ
せて元の位置に戻す。その後、載置台１１を測定位置に
戻して再びウエハをプロ−ビングする。上記第１の実施
例では、クリ−ニング装置６を用いないウエハプロ−バ
と比べて、垂直型プロ−ブカ−ド１０の寿命、通常プロ
−ビング回数４万回を３倍乃至６倍まで延長することが
できる。

【００４１】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。本発明のクリ−ニング装置をプロ−ブカ−ド自動
交換ウエハプロ−バに適用した一実施例について図５を
参照しながら説明する。図５に示すように、このウエハ
プロ−バは多品種に対応させるために複数のプロ−ブカ
−ド１０を専用カセット３５に収納し、このカセット３
５から対応するプロ−ブカ−ド１０を取り出し、測定部
４のヘッドプレ−ト８に取付け、ウエハ１を検査する装
置である。この装置も測定部４と、搬送部（図示せず）
と、クリ−ニング装置６とから構成されている。

【００４２】上記測定部４にはウエハプロ−バの基台７
から立設された支柱（図示せず）を介してヘッドプレ−
ト８が配設されている。このヘッドプレ−ト８の中心に
開口された中空部８ａに垂直型プロ−ブカ−ド１０がリ
ングインサ−ト部材９を介して装着される。この垂直型
プロ−ブカ−ド１０は、上記カセット３５内においてプ
ロ−ブ針３の長手方向の先端（ウエハと接触する先端）
を下にして、更にプロ−ブ針３のＸＹ方向（平面方向）
を規制し、Ｚ方向（上下方向）に移動可能に収納されて
いる。

【００４３】上記クリ−ニング装置６は、測定部４とプ
ロ−ブカ−ド１０の専用カセット３５との間の搬送路３
６内に設けられ、昇降手段１７により昇降するようにな
っている。

【００４４】次に動作について説明する。ウエハの種類
に応じたプロ−ブカ−ド１０を専用カセット３５から選
択し、この選択した垂直型プロ−ブカ−ド１０を取出機
構（図示せず）で取り出し、測定部４のヘッドプレ−ト
８まで搬送する途中にクリ−ニング装置６の上方位置で
一時停止させる。その後、到達した垂直型プロ−ブカ−
ド１０をクリ−ニング装置６でクリ−ニングし、終了
後、垂直型プロ−ブカ−ド１０をヘッドプレ−ト８の中
空部に装着し、ウエハ１の検査を行う。上記第２の実施
例では、プロ−ブカ−ドを測定部まで搬送する際に、途
中のクリ−ニング装置でプロ−ブ針をクリ−ニングして
から測定部に装着し、プロ−ビングする。そのため、プ
ロ−ビング開始時に必ずクリ−ニング済なので安定した
検査が可能となり、作業の効率を向上させることができ
る。

【００４５】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。この第３の実施例は、図６に示すように複数の検
査ステ−ジ４ａ，４ｂを設け、各検査ステ−ジの垂直型
プロ−ブカ−ド１０ａ，１０ｂにクリ−ニング装置６を
導くハンドリング機構を設けたものである。つまり、単
一のクリ−ニング装置６で複数のプロ−ブカ−ドをクリ
−ニングできるウエハプロ−バを示している。

【００４６】図６に示すように、上記ウエハプロ−バの
２箇所の測定部４ａ，４ｂに各々垂直型プロ−ブカ−ド
１０ａ、１０ｂが配設されている。この測定部４ａ、４
ｂにウエハ１をロ−デングする搬送機３７が測定部４
ａ、４ｂに挟まれるように配置されている。さらに、ク
リ−ニング装置６を各垂直型プロ−ブカ−ド１０ａ、１
０ｂまで移動させるハンドリングア−ム１５の支柱１５
ｄが搬送機３７内に立設されている。この支柱１５ｄを
軸にして、各垂直型プロ−ブカ−ド１０ａ、１０ｂの各
中心位置にクリ−ニング装置６を移動するように構成さ
れている。

【００４７】この第３の実施例では、ハンドリングア−
ム１５に設けられたクリ−ニング装置６は、制御部の指
令により各垂直型プロ−ブカ−ド１０ａ，１０ｂのうち
クリ−ニングが必要なものをクリ−ニングするようにな
っている。この第３の実施例では、単一のハンドリング
ア−ム１５で複数のプロ−ブカ−ドをクリ−ニングでき
るので、複数の検査ステ−ジを有するウエハプロ−バを
小型化及び軽量化することができる。

【００４８】次に、上記クリ−ニング装置の変形例につ
いて説明する。図７に示すようにこのクリ−ニング装置
は、プロ−ブ針を上にして載置される置台３８と、クリ
−ニング装置６をＸＹＺ方向に移動させる移動機構３９
と、小筆のように直線状に固定されたブラシ４０と、こ
のブラシの長手方向にエア−を直交または斜めに噴射す
るノズル４１とで構成されている。そして、直線方向に
移動するエア−の噴射を制御するための手動弁４２が設
けられている。

【００４９】この変形例では、エア−を断続的に噴射す
る機構は第１の実施例と同じであるため説明を省略す
る。また、マイクロスコ−プ４５を設けることによりプ
ロ−ブ針３のクリ−ニング状態を把握することができ
る。なお、本発明は上記実施例及び変形例に限定される
ことなく様々な態様で実施できることは当然のことであ
る。

【００５０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように請求項１に記
載の発明では、プロ−ブ針等の付着物を振動したブラシ
で擦り付着物を除去するので、プロ−ブカ−ドの耐久性
が５倍乃至６倍延びて効率的な検査が可能となる。しか
も検査の信頼性を向上させることができる。請求項２に
記載の発明では、上記ブラシの長手方向の遊端をプロ−
ブ針先端と対向して配置し、上記ブラシの長手方向と同
方向に配置したので、ブラシの振動はプロ−ブ針の周面
及びこのプロ−ブ針を支えているガイド部材の付着物を
均等に除去することができる。

【００５１】請求項３に記載の発明では、ハンドリング
ア−ムでクリ−ニング装置をプロ−ブ針の位置まで移動
させクリ−ニングするので、作業性を向上させることが
できる。請求項４に記載の発明では、プロ−ブカ−ドが
収納される収納庫と測定部とが離れ、収納庫と測定部と
のプロ−ブカ−ドの搬送路内にクリ−ニング装置を設
け、プロ−ブカ−ド移動時にクリ−ニングするので、安
定したプロ−ビングが可能となる。

【００５２】請求項５に記載の発明では、複数のステ−
ジ機構とこのステ−ジ機構のそれぞれに被測定体を導く
ロ−デイング機構を有するプロ−ブ装置において、単一
のクリ−ニング装置で複数のプロ−ブカ−ド機構をクリ
−ニングするので、プロ−ブ装置の小型化及びスル−プ
ットを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例に係わるクリ−ニング装
置を適用したウエハプロ−バの部分断面図。

【図２】図１に示すクリ−ニング装置の説明図。

【図３】図１に示すクリ−ニング装置の説明図。

【図４】（ａ）〜（ｃ）は図１に示すクリ−ニング装置
の動作を示す説明図、（ｄ）〜（ｇ）は他の実施例の動
作を示す説明図。

【図５】本発明の第２の実施例に係わるクリ−ニング装
置の側面図。

【図６】本発明の第３の実施例に係わるクリ−ニング装
置の説明図。

【図７】本発明の第４の実施例に係わるクリ−ニング装
置の説明図。

【図８】従来のレンズクリ−ニング装置を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１…ウエハ ２…電極パッド ３…プロ−ブ針 ４…測定部 ５…ブラシ ５ａ…繊維束 ５ｂ…遊端 ６…クリ−ニング装置 ７…基台 ８…ヘッドプレ−ト １０…垂直型プロ−ブカ−ド １１…載置台 １２…ＸＹステ−ジ １３…ロ−ダ １４…昇降機構 １５…ハンドリングア−ム（移動手段） １６…制御部 １７…昇降機構 １７ａ…周調整機構 １８…ブラシ機構 １９…振動機構 ２０…クリ−ニング基台 ２１…固定金具 ２２…ガイド部材 ２３…風洞 ２４…エア−ガン ２５…エア−供給機構 ２６…噴射口 ２７…吸引口 ２８…補助ノズル ２９…整流羽 ３１…平行移動装置 ３２…ガイドレ−ル ３３…移動部材 ３４…キ−ボ−ド ３５…専用カセット ３６…搬送路 ３７…搬送機 ３８…載置台 ３９…移動機構 ４０…ブラシ ４１…ノズル ４２…手動弁

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プロ−ブカ−ドに設けられたプロ−ブ針
   と対向して設けられたブラシと、このブラシに断続的に
   エア−を噴射して上記ブラシを振動させる振動機構とを
   備え、振動した上記ブラシと上記エア−により上記ブロ
   −ブカ−ドの付着物を除去することを特徴としたプロ−
   ブカ−ドのクリ−ニング装置。
2. 【請求項２】 請求項１項記載のクリ−ニング装置にお
   いて、 上記ブラシの長手方向と上記プロ−ブ針の長手方向とを
   同方向に配置したことを特徴としたプロ−ブカ−ドのク
   リ−ニング装置。
3. 【請求項３】 プロ−ブカ−ドを測定位置に配置し、プ
   ロ−ブ針を被測定体の電極に接触させて電気的特性を検
   査するプロ−ブ装置において、所定位置から請求項１項
   記載のクリ−ニング装置を上記測定位置まで移動させる
   移動手段を設け、上記プロ−ブカ−ドをクリ−ニングす
   ることを特徴としたプロ−プ装置。
4. 【請求項４】 プロ−ブカ−ド収納部から選択されたプ
   ロ−ブカ−ドを取り出し、測定位置に配置し、電気的特
   性を検査する装置において、請求項１項記載のクリ−ニ
   ング装置を上記収納部と上記測定位置との間の搬送路に
   設け、プロ−ブカ−ド搬送時にクリ−ニングすることを
   特徴としたプロ−プ装置。
5. 【請求項５】 被測定体を測定する複数の測定部と、こ
   の測定部のそれぞれに被測定体を導くロ−デイング機構
   とを有するプロ−ブ装置において、上記測定部のそれぞ
   れのプロ−ブカ−ドに請求項１項記載のクリ−ニング装
   置を単一のハンドリングア−ム機構で導き、この導かれ
   たクリ−ニング装置でそれぞれのプロ−ブカ−ドをクリ
   −ニングすることを特徴としたプロ−ブ装置。