JP6109010B2 - 研削装置 - Google Patents
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Images
Description
4 基台
4a,4b 開口
6 搬送機構
8a,8b カセット
10 位置合わせ機構
12 搬入機構
14 X軸移動テーブル
16 防水カバー
18 チャックテーブル
18a 保持面
18b 頂点
20 支持柱
22 Z軸移動機構
24 Z軸移動テーブル
26 Z軸ガイドレール
28 Z軸ボールネジ
30 Z軸パルスモータ
32 研削機構(研削手段)
34 スピンドルハウジング
36 研削ホイール
38 搬出機構
40 洗浄機構
42 異物除去機構(異物除去手段)
44 支持部
46 昇降機構
48 移動テーブル
50 ガイドレール
52 パルスモータ
54 研磨工具
56,70 検出機構(検出手段)
58,72 支持アーム
60,74 連結機構
62 カメラ(撮像手段)
64 制御装置
66 記憶装置(記憶手段)
68 比較判定装置(比較判定手段)
76 接触式センサ
78 シリンダケース
80 ピストンロッド
82 接触パッド
11 ウェーハ
11a 表面
11b 裏面
11c 外周面
13 デバイス領域
15 外周余剰領域
17 分割予定ライン(ストリート)
19 デバイス
21 環状補強部
Claims (4)
- 表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを有するウェーハの、該デバイス領域に対応する裏面側の領域を所定厚さ研削し、該外周余剰領域に対応する裏面に環状補強部を形成する研削装置であって、
該ウェーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、
研削砥石が環状に配設された研削ホイールが回転可能に支持され、該チャックテーブルの該保持面に保持された該ウェーハの裏面側を研削して該環状補強部を形成する研削手段と、
該チャックテーブルの該保持面に研摩工具を当接させて異物を除去する異物除去手段と、
該チャックテーブルの該保持面の高さを確認する高さ確認手段と、を備え、
該チャックテーブルの該保持面は、回転中心を頂点とする傾斜を有する略円錐形状に形成されており、
該高さ確認手段は、該保持面の略円錐形状の頂点付近の高さを検出する検出手段と、該検出手段で検出した高さの初期値を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された初期値となる高さと該検出手段で検出した高さとの差が所定量を超えるか否かを判定する比較判定手段と、を備えることを特徴とする研削装置。 - 前記検出手段は、撮像手段であり、焦点位置を基準に前記保持面の略円錐形状の頂点付近の高さを検出することを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 前記検出手段は、接触式センサであることを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 前記検出手段は、レーザー光線を利用する非接触式センサであることを特徴とする請求項1記載の研削装置。
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