JP2009272650A - 光電変換装置 - Google Patents
光電変換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009272650A JP2009272650A JP2009188358A JP2009188358A JP2009272650A JP 2009272650 A JP2009272650 A JP 2009272650A JP 2009188358 A JP2009188358 A JP 2009188358A JP 2009188358 A JP2009188358 A JP 2009188358A JP 2009272650 A JP2009272650 A JP 2009272650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- pattern
- layer
- conversion device
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】 光電変換装置は、複数の光電変換素子1と、光電変換素子1の上方に設けられた第1のパターン4および第1のパターン4の上方に設けられた第2のパターン6を少なくとも含む複数の配線層と、を有する。また、光電変換装置は、光電変換素子1の光路中に配され、光の入射方向に対して凸形状に形成された複数の層内レンズ8を有する。また、光電変換装置は、光電変換素子1上に遮光部材130が配されて形成された、基準信号を得るためのオプティカルブラック領域122を有する。また、光電変換装置は、オプティカルブラック領域122の遮光部材130の上に、少なくとも層内レンズ8の一部が形成されている。
【選択図】 図10
Description
図1は、本発明の第1の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。
図6は、本発明の第2の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。
図10は、本発明の第3の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。第1、第2の実施形態と同じ機能を有するものに関しては同様の符号を付し、詳細な説明は省略する。
図11は、本発明の第4の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。第1、第2、第3の実施形態と同じ機能を有するものに関しては同様の符号を付し、詳細な説明は省略する。
2 素子分離領域
3 第1の絶縁膜
4 第1のパターン
5 第2の絶縁膜
6 第2のパターン
7 第3の絶縁膜
8 層内レンズ
8’ 層内レンズ形成膜
9 第1の平坦化膜
10 カラーフィルタ層
11 第1の平坦化膜
12 マイクロレンズ
13 半導体部材
14 パッド部
20 エッチングマスク
21 レジストパターン
121 有効画素領域
122 遮光領域
123 第1の絶縁層
124 第1のパターン
125 第2の絶縁層
126 第2のパターン
127 第3の絶縁層
128 第3のパターン
129 第4の絶縁層
130 遮光部材
Claims (10)
- 複数の光電変換素子と、該光電変換素子の上方に設けられた第1のパターンおよび該第1のパターンの上方に設けられた第2のパターンを少なくとも含む複数の配線層と、前記光電変換素子の光路中に配され、光の入射方向に対して凸形状に形成された複数の層内レンズを含む層内レンズ層と、を有する光電変換装置において、
光電変換素子上に遮光部材が配されて形成された、基準信号を得るためのオプティカルブラック領域を有し、
前記オプティカルブラック領域の前記遮光部材の上に、少なくとも前記層内レンズの一部が形成されていることを特徴とする光電変換装置。 - 更に、前記層内レンズ層の上にマイクロレンズ層を有する、請求項1に記載の光電変換装置。
- 更に、前記層内レンズの上に配されたカラーフィルタを有する、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記第2のパターンは前記遮光部材を含む請求項1から3のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記層内レンズの一部と前記遮光部材とが互いに接している請求項1から4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記第2のパターンは、外部回路が接続されるパッドを有する、請求項4または5に記載の光電変換装置。
- 前記パッドの外側に前記層内レンズが形成されている、請求項6に記載の光電変換装置。
- 前記層内レンズの上に配されたカラーフィルタと、該カラーフィルタの上に配されたマイクロレンズと、前記第2のパターンに設けられ、外部回路が接続されるパッドと、を有し、前記層内レンズ、前記カラーフィルタ、および前記マイクロレンズの少なくともいずれかが前記パッド部の外側に形成されている、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子からの信号を増幅する増幅素子を有し、該増幅素子は前記光電変換素子を含む画素、もしくは複数の画素ごとに設けられている、請求項1から8のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記複数の配線層は、前記第1のパターンと前記第2のパターンとの間に、更に第3のパターンを有する、請求項1から9のいずれか1項に記載の光電変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188358A JP5225233B2 (ja) | 2003-05-28 | 2009-08-17 | 光電変換装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003150604 | 2003-05-28 | ||
JP2003150604 | 2003-05-28 | ||
JP2009188358A JP5225233B2 (ja) | 2003-05-28 | 2009-08-17 | 光電変換装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004148986A Division JP4383959B2 (ja) | 2003-05-28 | 2004-05-19 | 光電変換装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272650A true JP2009272650A (ja) | 2009-11-19 |
JP5225233B2 JP5225233B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=40035105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009188358A Expired - Fee Related JP5225233B2 (ja) | 2003-05-28 | 2009-08-17 | 光電変換装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5225233B2 (ja) |
CN (1) | CN101290942B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9263491B2 (en) | 2013-10-22 | 2016-02-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging apparatus, method for manufacturing the same, and camera |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018046145A (ja) | 2016-09-14 | 2018-03-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置、及び固体撮像素子の製造方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63174359A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPH03173472A (ja) * | 1989-12-01 | 1991-07-26 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロレンズの形成方法 |
JPH0434977A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JPH04206966A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH07221277A (ja) * | 1994-02-03 | 1995-08-18 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
JPH1140787A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-12 | Sony Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JP2000164837A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Sony Corp | 層内レンズの形成方法 |
JP2001094086A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Canon Inc | 光電変換装置及びその製造方法 |
JP2001094085A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Nec Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2001230400A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-24 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2002064193A (ja) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | Sony Corp | 固体撮像装置および製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5739548A (en) * | 1995-05-02 | 1998-04-14 | Matsushita Electronics Corporation | Solid state imaging device having a flattening layer and optical lenses |
-
2004
- 2004-05-28 CN CN 200810008797 patent/CN101290942B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-17 JP JP2009188358A patent/JP5225233B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63174359A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
JPH03173472A (ja) * | 1989-12-01 | 1991-07-26 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロレンズの形成方法 |
JPH0434977A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JPH04206966A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH07221277A (ja) * | 1994-02-03 | 1995-08-18 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
JPH1140787A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-12 | Sony Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JP2000164837A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Sony Corp | 層内レンズの形成方法 |
JP2001094085A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Nec Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2001094086A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Canon Inc | 光電変換装置及びその製造方法 |
JP2001230400A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-24 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2002064193A (ja) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | Sony Corp | 固体撮像装置および製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9263491B2 (en) | 2013-10-22 | 2016-02-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging apparatus, method for manufacturing the same, and camera |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101290942A (zh) | 2008-10-22 |
CN101290942B (zh) | 2013-03-27 |
JP5225233B2 (ja) | 2013-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4383959B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4944399B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP5451547B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP5357441B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
KR101032182B1 (ko) | 반도체 패키지 및 카메라 모듈 | |
US7615399B2 (en) | Fabrication method of complementary metal oxide semiconductor image sensor | |
JP2006191000A (ja) | 光電変換装置 | |
JP5759148B2 (ja) | レンズの製造方法および固体撮像素子の製造方法 | |
JP2012186396A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
JP2007305683A (ja) | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 | |
JP5225233B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JP2009124053A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
JP2010062437A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
JP4378108B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP5425138B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP2017220620A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP2006351788A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
JP2006286873A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
KR20000044585A (ko) | 높은 광감도를 갖는 이미지센서 제조방법 | |
TW200811477A (en) | Microlens structure and fabricating method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130312 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |