JP5225233B2 - 光電変換装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。
図6は、本発明の第2の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。
図10は、本発明の第3の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。第1、第2の実施形態と同じ機能を有するものに関しては同様の符号を付し、詳細な説明は省略する。
図11は、本発明の第4の実施形態による光電変換装置の模式的断面図である。第1、第2、第3の実施形態と同じ機能を有するものに関しては同様の符号を付し、詳細な説明は省略する。
2 素子分離領域
3 第1の絶縁膜
4 第1のパターン
5 第2の絶縁膜
6 第2のパターン
7 第3の絶縁膜
8 層内レンズ
8’ 層内レンズ形成膜
9 第1の平坦化膜
10 カラーフィルタ層
11 第1の平坦化膜
12 マイクロレンズ
13 半導体部材
14 パッド部
20 エッチングマスク
21 レジストパターン
121 有効画素領域
122 遮光領域
123 第1の絶縁層
124 第1のパターン
125 第2の絶縁層
126 第2のパターン
127 第3の絶縁層
128 第3のパターン
129 第4の絶縁層
130 遮光部材
Claims (9)
- 複数の光電変換素子と、該光電変換素子の上方に設けられた第1のパターンおよび該第1のパターンの上方に設けられた第2のパターンを少なくとも含む複数の配線層と、前記第2のパターンの上に設けられた絶縁層と、を有し、
前記複数の光電変換素子のうち一部の光電変換素子が設けられた有効画素領域と、前記複数の光電変換素子のうち他の一部の光電変換素子が設けられ、基準信号を得るためのオプティカルブラック領域と、を有する光電変換装置において、
前記有効画素領域は、前記光電変換素子の光路中に配され、光の入射方向に対して凸形状に形成された複数の層内レンズを含む層内レンズ層を有し、
前記オプティカルブラック領域は、前記他の一部の光電変換素子の上方に配された遮光部材を有し、
前記層内レンズ層は、前記オプティカルブラック領域の前記遮光部材の上に、少なくとも一部が形成されており、
前記層内レンズ層の前記有効画素領域に設けられた部分と、前記遮光部材は、前記絶縁層の上で同一高さに位置しており、
前記有効画素領域と前記オプティカルブラック領域において、前記層内レンズ層の上方にマイクロレンズ層を有していることを特徴とする、光電変換装置。 - 前記第1のパターンと前記第2のパターンとの間には、他の絶縁層が設けられており、前記絶縁層は前記他の絶縁層よりも薄くなっている、請求項1に記載の光電変換装置。
- 更に、前記層内レンズの上方に配されたカラーフィルタを有する、請求項1または2に記載の光電変換装置。
- 前記層内レンズの一部と前記遮光部材とが互いに接している請求項1から3のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記絶縁層の上に、外部回路が接続されるパッドを有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記パッドの外側に前記層内レンズが形成されている、請求項5に記載の光電変換装置。
- 前記層内レンズの上方に配されたカラーフィルタと、該カラーフィルタの上方に配されたマイクロレンズと、前記絶縁層の上に設けられ、外部回路が接続されるパッドと、を有し、前記層内レンズ、前記カラーフィルタ、および前記マイクロレンズの少なくともいずれかが前記パッド部の外側に形成されている、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子からの信号を増幅する増幅素子を有し、該増幅素子は前記光電変換素子を含む画素、もしくは複数の画素ごとに設けられている、請求項1から7のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記遮光部材は、前記有効画素領域に形成されていない、請求項1から8のいずれか1項に記載の光電変換装置。
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