JP2009272013A - メモリの試験装置および試験方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】リフレッシュの回数不足によるデータ破壊を抑制する。
【解決手段】リフレッシュ制御回路10は、所定のタイミングごとにアサートされるDRAM(Dynamic Random Access Memory)200のリフレッシュを要求する割込信号REFTENDを受ける。リフレッシュ制御回路10は、割込信号REFTENDがアサートされた回数をカウントし、DRAM200が外部からアクセス可能なアイドル状態において、カウントした回数、DRAM200をリフレッシュさせるための割込サブルーチン開始信号IJMPをアサートする。リフレッシュ回路4は、割込サブルーチン開始信号IJMPがアサートされると、所定の割込サブルーチンを実行し、リフレッシュパターンをDRAM200に供給する。
【選択図】図2

Description

本発明は、メモリの試験装置および試験方法に関する。
パーソナルコンピュータやワークステーションなどの電子計算機の主記憶装置として、DRAM(Dynamic Random Access Memory)が使用される。DRAMはキャパシタに電荷を保持することにより、1または0のデータを保持する。キャパシタに蓄えられた電荷は、放電経路を介して放電するため、1秒間に数回のレートで、一旦データを読み出し再び書き戻すリフレッシュ動作が必要である。
リフレッシュ動作は、DRAMの試験工程においても必要である。したがってDRAMの試験装置は、被試験デバイス(DUT)であるDRAMにリフレッシュパターンを発生させるためのタイマーを有するアルゴリズミックパターン発生器(ALPG)が搭載される。
タイマは一定間隔で、リフレッシュパターンを発生させるための割込信号を発生する。DUTの試験を行うテストパターン発生プログラム内でリフレッシュパターンの発生が許可されるサイクルは、通常DUTがアイドル状態(アクセス待ち状態)になるタイミングである。試験装置はこのタイミングで割込信号の発生の有無を検出し、リフレッシュパターンを生成するための割込サブルーチンを発生させる機能をALPGのプログラムカウンタ内に有している。DUTがアクティブ状態(アクセスされている状態)ではリフレッシュパターンの発生が許されていないため、アイドル状態のサイクルになるまでリフレッシュパターンの発生は行われない。
従来のプログラムカウンタの回路では、長時間にわたりDUTにアクセスしている間に、割込信号が2回以上アサートされた場合、最初の1回分のアサートのみが保持されるため、リフレッシュ動作可能なサイクルになっても、1回しかリフレッシュ動作が行われないという問題があった。このため、試験パターン実行中にDUTのリフレッシュ回数が不足し、DUT内のデータが破壊されるという状況が発生し得た。通常DRAMはリフレッシュ回数が規格に若干満たない程度ではデータが壊れる状況とはならないが、同一の試験パターンでも、電圧や温度の条件、DUT個々の特性差によって、データが壊れたり壊れなかったりするおそれがあり、特にデータが壊れた場合にその原因の特定が困難となっていた。
本発明はかかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的のひとつは、リフレッシュの回数不足によるデータ破壊を抑制した試験装置、試験方法の提供にある。
本発明のある態様は、DRAM(Dynamic Random Access Memory)の試験装置に関する。この試験装置は、所定のタイミングごとにアサートされるDRAMのリフレッシュを要求する割込信号を受け、割込信号がアサートされた回数をカウントし、DRAMが外部からアクセス可能なアイドル状態において、カウントした回数、DRAMをリフレッシュさせるための割込サブルーチン開始信号をアサートするリフレッシュ制御回路と、割込サブルーチン開始信号がアサートされると、所定の割込サブルーチンを実行し、リフレッシュパターンをDRAMに供給するリフレッシュ回路と、を備える。
この態様によると、割込信号がアサートされた回数が保持されるため、必要な回数だけリフレッシュ動作を確実に実行することができ、DRAMのデータの破壊を防止できる。
リフレッシュ制御回路は、割込信号がアサートされるとカウントアップし、リフレッシュ回路が割込サブルーチンを開始するとカウントダウンするカウンタを含んでもよい。
アップダウンカウンタを利用することにより、リフレッシュ回数を適切に保持することができる。
リフレッシュ制御回路は、割込サブルーチン開始信号を生成する割込サブルーチン開始信号生成部を含んでもよい。当該割込サブルーチン開始信号生成部は、
・DRAMがアイドル状態であり、かつリフレッシュ回路が割込サブルーチンを実行中でなく、かつカウンタのカウント値が非ゼロのとき、または、
・リフレッシュ回路が割込サブルーチンを実行中であり、かつDRAMがアイドル状態であり、かつカウント値が非ゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたとき
に、割込サブルーチン開始信号をアサートしてもよい。
カウンタは、割込サブルーチン開始信号がアサートされると、カウントダウンしてもよい。割込サブルーチン開始信号を参照することにより、割込サブルーチンの開始に応じたカウントダウン動作を確実に実行できる。
割込サブルーチン開始信号生成部は、割込サブルーチン開始信号に加えて、割込サブルーチンからの復帰を示す割込サブルーチン復帰信号を生成してもよい。割込サブルーチン開始信号生成部は、
・リフレッシュ回路が割込サブルーチンを実行中であり、かつDRAMが非アイドル状態であり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたとき、または、
・リフレッシュ回路が割込サブルーチンを実行中であり、かつカウンタのカウント値がゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたとき
に、割込サブルーチン復帰信号をアサートしてもよい。
リフレッシュ制御回路は、割込開始信号生成部と、割込判定信号生成部とをさらに含んでも良い。割込開始信号生成部は、DRAMがアイドル状態であり、かつリフレッシュ回路が割込サブルーチンを実行中でなく、かつカウンタのカウント値が非ゼロのときアサートされる割込開始信号を生成する。割込判定信号生成部は、リフレッシュ回路が割込サブルーチンを実行中であることを示す割込判定信号を生成する。割込判定信号生成部と、をさらに含んでもよい。割込判定信号生成部は、
・割込開始信号がアサートされるとき、割込判定信号をアサートし、
・割込開始信号がネゲートされた状態において、割込サブルーチン復帰信号がアサートされると、割込判定信号をネゲートし、
・割込開始信号がネゲートされた状態において、割込サブルーチン復帰信号がネゲートされると、割込判定信号を前回の値に保持してもよい。
リフレッシュ制御回路は、カウンタのカウント値が所定の上限値を超えるとアサートされるリフレッシュエラー信号を生成するリフレッシュエラー信号生成部を含んでもよい。試験装置は、当該リフレッシュエラー信号がアサートされると、割込信号を発生するパターン発生器を停止させてもよい。
DRAMに何らかのエラーが発生すると、非アイドル状態が長期間にわたり持続する可能性がある。カウンタのカウント値はこの場合のエラー処理に利用することができる。
カウンタのカウント値の初期値を、外部から設定可能であってもよい。試験パターンの実行に先立ち、カウンタに初期値を与えることで、設定した回数、リフレッシュを実行することができる。
本発明の別の態様は、DRAM(Dynamic Random Access Memory)の試験方法に関する。この方法は、以下のステップを実行する。
1.所定のタイミングごとにアサートされるDRAMのリフレッシュを要求する割込信号を生成する。
2. 割込信号がアサートされた回数をカウントする。
3. DRAMが外部からアクセス可能なアイドル状態において、カウントした回数、DRAMをリフレッシュさせるための割込サブルーチン開始信号をアサートする。
4. 割込サブルーチン開始信号がアサートされると、所定の割込サブルーチンを実行し、リフレッシュパターンをDRAMに供給する。
この態様によると、割込信号がアサートされた回数が保持されるため、必要な回数だけリフレッシュ動作を確実に実行することができ、DRAMのデータの破壊を防止できる。
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせ、本発明の表現を、方法、装置、プログラム、プログラムを記録した媒体などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明のある態様によれば、DRAMの試験時においてリフレッシュ不足によるデータの破壊を防止できる。
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
図1は、実施の形態に係る試験装置100の全体構成を示すブロック図である。
試験装置100は、DUTであるDRAM200の良否を判定し、あるいは不良箇所を特定する機能を有する。
試験装置100は、タイミング発生器102、パターン発生器104、波形整形器106、ライトドライバ108、コンパレータ110、論理比較部112を備える。
パターン発生器104は、タイミングセット信号(以下、「TS信号」という。)を生成して、タイミング発生器102に供給する。タイミング発生器102は、TS信号により指定されたタイミングデータにもとづいて周期クロックCKp及び遅延クロックCKdを発生して、周期クロックCKpをパターン発生器104に供給し、遅延クロックCKdを波形整形器106に供給する。そして、パターン発生器104は、DRAM200が有する複数の記憶領域であるブロックのそれぞれを示すアドレスADRS、及び複数のブロックのそれぞれに書き込むべき複数の試験パターンデータDtを発生して、波形整形器106に供給する。
波形整形器106は、タイミング発生器102から供給された遅延クロックCKdにもとづいて、パターン発生器104が発生した試験パターンデータDtに応じた試験パターン信号Stを生成する。そして、波形整形器106は、パターン発生器104から供給されたアドレスADRS、及び生成した試験パターン信号Stを、ライトドライバ108を介してDRAM200に供給する。
また、パターン発生器104は、DRAM200がアドレスADRS及び試験パターン信号Stに応じて出力すべき出力データである期待値データDexpを予め発生して、論理比較部112に供給する。
コンパレータ110は、DRAM200からアドレスADRSに対応するデータDoを読み出し論理比較部112へと出力する。論理比較部112は、DRAM200から読み出されたデータDoとパターン発生器104から供給された期待値データDexpとを比較して、DRAM200の良否を判定する。
試験装置100は、上述の試験を実行する最中に、DRAM200を所定のタイミングでリフレッシュする。実施の形態に係る試験装置100は、DRAM200のリフレッシュ動作に特徴を有している。ただし試験装置100の構成は図1のそれに限定されるものではない。
図2は、実施の形態に係る試験装置100のリフレッシュ処理に関するブロック図である。試験装置100は、タイマ2、リフレッシュ回路4、リフレッシュ制御回路10を備える。図1のブロック図には、DRAM200をリフレッシュさせるリフレッシュ回路の周辺回路のみが示され、その他の回路ブロックは省略されている。なお、図中、様々な処理を行う機能ブロックとして記載される各要素は、ハードウェア的には、CPU、メモリ、機能回路、その他のLSIで構成することができ、ソフトウェア的には、メモリにロードされたプログラムなどによって実現される。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、またはそれらの組み合わせによっていろいろな形で実現できることは当業者には理解されるところであり、いずれかに限定されるものではない。
タイマ2は、アルゴリズミックパターン発生器ALPGに内蔵されており、DRAMのリフレッシュを要求する割込信号REFTEND(REFresh Time END)を生成する。タイマ2は所定のタイミングごとに割込信号REFTENDをアサートする。
リフレッシュ制御回路10は、所定のタイミングごとにアサートされる割込信号(REFTEND)を受け、割込信号REFTENDがアサートされた回数をカウントする。リフレッシュ制御回路10は、DRAM200が外部からアクセス可能なアイドル状態において、カウントした回数、割込サブルーチン開始信号IJMPをアサートする。
リフレッシュ回路4は、割込サブルーチン開始信号IJMPがアサートされると、所定の割込サブルーチンを実行し、リフレッシュパターンをDRAM200に供給する。
以上が実施の形態に係るリフレッシュ制御回路10の概要である。このリフレッシュ制御回路10によれば、割込信号REFTENDがアサートされた回数を保持することができるため、必要な回数だけリフレッシュ動作を確実に実行することができ、DRAM200のデータが破壊されるのを防止できる。
次に、上述のリフレッシュ制御回路10の機能を実現するための詳細な構成について説明する。図3は、リフレッシュ制御回路10の構成を示すブロック図である。リフレッシュ制御回路10は、カウンタ12、ゼロ判定部14、割込開始信号生成部16、割込判定信号生成部18、割込サブルーチン開始信号生成部20、リフレッシュエラー信号生成部22を含む。
リフレッシュ制御回路10には、外部から割込信号REFTEND、復帰信号RTN、最大回数設定信号ITMAX[15:0]、割込禁止信号INTINH、スタート信号PGSTART、モード信号DGMD、書き込みデータ信号WBUS[15:0]、ライトコマンド信号WE_ITCNTが入力される。
またリフレッシュ制御回路10は、上述の割込サブルーチン開始信号IJMPに加えて、リフレッシュエラー信号RFERR、割込開始信号IREF、割込サブルーチン復帰信号IRTNを生成する。
本明細書において、リフレッシュ制御回路10の内部で生成される信号は小文字で表記し、外部から入力され、あるいは外部へと出力される信号は大文字で表記する。
カウンタ12は、割込信号REFTENDがアサートされるとカウントアップし、リフレッシュ回路4が割込サブルーチンを開始するとカウントダウンする。アップダウンカウンタを利用することにより、リフレッシュ動作を指示された回数と、すでに実行したリフレッシュ動作の回数の差を保持することができる。言い換えれば現時点で実行すべきリフレッシュ動作の回数がカウント値itcntとして保持される。
ゼロ判定部14は、カウント値itcntがゼロか否かを判定し、判定結果に応じたゼロ判定信号itcntzを生成する。ゼロ判定部14はカウント値itcntzがゼロのときアサートされる。つまり、
itcntz=(itcnt==0)
である。“=”は右辺の値を左辺のシンボルに代入することを示す。“==”は2つの値が等しいときに「真」を返す演算子である。
割込サブルーチン開始信号生成部20は、割込サブルーチン開始信号IJMPを生成する。割込サブルーチン開始信号IJMPは、ALPGのパターンアドレス発生のトリガとなる信号であるから、新たに割込サブルーチンが開始されるタイミング(条件1)、または、割込サブルーチンから復帰した直後に再度割込サブルーチンを実行すべきタイミング(条件2)で、アサートされる。
条件1、条件2は以下の通りである。
条件1. DRAM200がアイドル状態であり、かつリフレッシュ回路4が割込サブルーチンを実行中でなく、かつカウンタ12のカウント値itcntが非ゼロのとき
条件2. リフレッシュ回路4が割込サブルーチンを実行中であり、かつDRAM200がアイドル状態であり、かつカウント値itcntが非ゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号RTNがアサートされたとき
DRAM200がアイドル状態か否かは、割込禁止信号INTINHに応じて判定される。この割込禁止信号はDRAM200がアクティブ状態、つまり外部からのアクセスが禁止されるときにアサートされ、アイドル状態、つまり外部からのアクセスが可能なときにネゲートされる。
リフレッシュ回路4が割込サブルーチンを実行中であるか否かは、リフレッシュ制御回路10の内部信号である割込判定信号nowintによって判定される。この割込判定信号nowintは、後述の割込判定信号生成部18により生成され、割込サブルーチンの実行中にアサートされる。
復帰信号RTNは、パターン発生命令(インストラクション)のひとつであり、何らかのサブルーチンからの復帰を指示する信号である。つまりリフレッシュのための割込サブルーチンからの復帰サイクルにおいても、復帰信号RTNはアサートされる。
割込開始信号生成部16は、条件1を満たすときにアサートされる割込開始信号IREFを生成する。つまり
IREF=(!(INTINH|nowint))&(!itcntz) …(1)
“!”は論理否定を、“&”は論理積を、“|”は論理和を示す演算子である。
以下の論理式(2)が真のとき、条件2が満たされる。
(nowint&(!(INTINH|itcntz)))&RTN …(2)
したがって、割込サブルーチン開始信号生成部20により生成される割込サブルーチン開始信号IJMPは、以下の論理式(3)で表現できる。
IJMP=IREF|((nowint&(!(INTINH|itcntz)))&RTN) …(3)
カウンタ12は、割込サブルーチン開始信号IJMPがアサートされると、カウントダウンする。割込サブルーチン開始信号IJMPを参照することにより、カウント値itcntを割込サブルーチンの開始に応じて確実にデクリメントできる。
割込サブルーチン開始信号生成部20は、割込サブルーチン開始信号IJMPに加えて、割込サブルーチンからの復帰を示す割込サブルーチン復帰信号IRTNを生成する。
割込サブルーチン復帰信号IRTNは、割込サブルーチンの実行中に復帰命令RTNを受けるたことをトリガとしてアサートされるが、インタラプトサブルーチンを繰り返すループ中ではアサートすべきでない。そのために、カウント値itcntの値も評価対象となる(条件3)。
また、DRAM200がアクティブ状態のときは割込禁止を示すので、無条件に復帰させる(条件4)。この際、カウント値itcntが非ゼロの場合は、復帰先で割込禁止が解除されたサイクルで割込サブルーチンが再開される。
割込サブルーチン復帰信号IRTNは、以下の条件3または条件4を満たすときにアサートされる。
条件3. リフレッシュ回路4が割込サブルーチンを実行中であり、かつDRAMが非アイドル状態であり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号RTNがアサートされたとき
条件4. リフレッシュ回路4が割込サブルーチンを実行中であり、かつカウンタ12のカウント値itcntがゼロであり(itcntz)、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号RTNがアサートされたとき
条件3を満たすとき、以下の論理式(4)が真となる。
nowint&itcntz&RTN …(4)
条件4を満たすとき、以下の論理式(5)が真となる。
nowint&INTINH&RTN …(5)
論理式(4)、(5)をまとめると、論理式(6)を得る。
IRTN=(nowint&(INTINH|itcntz))&RTN …(6)
割込判定信号生成部18は、リフレッシュ回路4が割込サブルーチンを実行中にアサートされる割込判定信号nowintを生成する。
割込判定信号生成部18は、割込開始信号IREFがアサートされるとき、割込判定信号nowintをアサートする。
また、割込開始信号IREFがネゲートされた状態において、割込サブルーチン復帰信号IRTNがアサートされると、割込判定信号nowintをネゲートする。
さらに、割込開始信号IREFがネゲートされた状態において、割込サブルーチン復帰信号IRTNがネゲートされると、割込判定信号nowintを前回の値に保持する。
リフレッシュエラー信号生成部22は、カウンタ12のカウント値itcntが所定の上限値を超えるとアサートされるリフレッシュエラー信号RFERRを生成する。試験装置100はリフレッシュエラー信号RFERRがアサートされると、割込信号REFTENDを発生するパターン発生器PGを停止させる。上限値は最大回数設定信号ITMAX[15:0]によって外部から設定可能となっている。実施の形態では、ITMAXは16ビットであるため、最大で64k−1回までのリフレッシュ割込を保持できる。
リフレッシュエラー信号生成部22は、itcnt==ITMAXの状態で、割込信号REFTENDがアサートされ、かつ割込サブルーチン開始信号がアサートされないときに、リフレッシュエラー信号RFERRをアサートし、その後、値を保持する。
スタート信号PGSTARTは、プログラムシーケンスの開始とともにアサートされる。スタート信号PGSTARTがアサートされると、カウンタ12のカウント値itcntがゼロクリアされ、また割込判定信号生成部18の割込判定信号nowintがネゲートされる。
モード信号DGMDはプログラムカウンタ内のモード信号である。モード信号DGMDが“1”のとき、スタート信号PGSTRTによるカウント値itcntはクリアされない。
書き込みデータ信号WBUS[15:0]は、図示しないバスからカウンタ12のカウント値itcntを直接書き換えるためのデータである。ライトコマンド信号WE_ITCNTがアサートされると、書き込みデータ信号WBUS[15:0]がカウンタ12に書き込まれる。つまりカウンタ12のカウント値itcntの初期値は、外部から設定可能である。
以上が試験装置100およびリフレッシュ制御回路10の構成である。次にいくつかのタイムチャートを参照しながら試験装置100の動作を説明する。
図4〜図6は、試験装置100の基本動作を示すタイムチャートである。
図4に示すように、割込禁止信号INTINHがアサートされた状態で、割込信号REFTENDがアサートされると(6サイクル目、11サイクル目)、カウント値itcntがインクリメントされる。15サイクル目で割込禁止信号INTINHがネゲートされると、16サイクル目で条件1を満たすため、論理式(1)で表される割込開始信号IREFがアサートされ、さらに論理式(3)にしたがい、割込サブルーチン開始信号IJMPがアサートされる。続く17サイクル目でカウンタ12がデクリメントされる。17サイクル目でリフレッシュ動作が開始し、割込判定信号nowintがアサートされる。
21サイクル目に復帰信号RTNがアサートされると、条件2を満たすため、再度割込サブルーチン開始信号IJMPがアサートされ、割込サブルーチンが実行される。続く22サイクル目でカウント値itcntがデクリメントされゼロとなる。
25サイクル目で復帰信号RTNがアサートされるが、このときカウント値itcntはゼロであるため、条件2を満たさず、割込サブルーチン開始信号IJMPはアサートされず、割込判定信号nowintがネゲートされる。
図5は、割込サブルーチンの実行中に割込信号REFTENDがアサートされたときの動作を示す。6サイクル目に1回目の割込信号REFTENDがアサートされ、7サイクル目でカウント値itcntがインクリメントされ、割込開始信号IREFがアサートされ、8サイクル目で割込サブルーチンが開始されると、割込判定信号nowintがアサートされるとともにカウント値itcntがデクリメントし、ゼロとなる。
割込判定信号nowintがアサートされている期間中の12サイクル目に、割込信号REFTENDの2回目のアサートが発生する。これを受けてカウント値itcntがインクリメントされる。17サイクル目に復帰信号RTNがアサートされるが、カウント値itcntが非ゼロであり論理式(6)を満たさないため、割込サブルーチン復帰信号IRTNはアサートされない。その代わりに、割込サブルーチン開始信号IJMPがアサートされて、再度割込サブルーチンに戻り、カウント値itcntがデクリメントされてゼロとなる。21サイクル目に再度割込サブルーチンから復帰すると、今度は論理式(6)を満たすため、割込サブルーチン復帰信号IRTNがアサートされ、ループから抜ける。
図6は、割込サブルーチンからの復帰サイクルにおいて、割込禁止信号INTINHがアサートされた場合の動作を示すタイムチャートである。この場合、無条件で、つまりカウント値itcntがゼロであると無いとにかかわらず、割込サブルーチンから復帰する
8サイクル以降、割込サブルーチンが開始し、割込判定信号nowintがアサートされる。この状態で17サイクル目に復帰信号RTNおよび割込禁止信号INTINHがアサートされると、カウント値itcntがゼロでないにもかかわらず、条件3を満たすため、割込サブルーチン復帰信号IRTNがアサートされ、続く18サイクル目で割込判定信号nowintがネゲートされる。18サイクル目に割込禁止信号INTINHがネゲートされると、直ちに割込開始信号IREFが再びアサートされて、割込サブルーチンを開始することができる。
図7は、リフレッシュエラー信号がアサートされる様子を示すタイムチャートである。図7のタイムチャートでは、ITMAX=1に設定される。割込禁止信号INTINHがアサートされた状態で、割込信号REFTENDが2回アサートされると、カウント値itcntが2となり、ITMAXで設定される上限値1を超える。このタイミングでリフレッシュエラー信号RFERRがアサートされる。
図8は、カウント値を初期設定する場合のタイムチャートである。書き込みデータ信号WBUS[15:0]=(…100)としてカウント値itcntの初期値が4に設定される。モード信号DGMDを1とした状態で、スタート信号PGSTARTをアサートすると、カウンタ12が初期化されずにプログラムが実行される。割込サブルーチン開始信号IJMPが4回アサートされると、カウント値itcntがゼロとなり、その後、割込サブルーチン復帰信号IRTNがアサートされると、リフレッシュ動作が完了する。
このように、書き込みデータ信号WBUS[15:0]によってカウント値itcntに初期値を与え、モード信号DGMDを“1”とした状態でプログラムを開始することにより、予めリフレッシュパターン(割込サブルーチン)を設定回数分、実行させることが可能となる。
実施の形態にもとづき、特定の語句を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。
実施の形態に係る試験装置の全体構成を示すブロック図である。 実施の形態に係る試験装置のリフレッシュ処理に関するブロック図である。 リフレッシュ制御回路の構成を示すブロック図である。 試験装置の基本動作を示すタイムチャートである。 割込サブルーチンの実行中に割込信号がアサートされたときの動作を示す図である。 割込サブルーチンからの復帰サイクルにおいて、割込禁止信号がアサートされた場合の動作を示すタイムチャートである リフレッシュエラー信号がアサートされる様子を示すタイムチャートである。 カウント値を初期設定する場合のタイムチャートである。
符号の説明
100…試験装置、200…DRAM、2…タイマ、4…リフレッシュ回路、10…リフレッシュ制御回路、12…カウンタ、14…ゼロ判定部、16…割込開始信号生成部、18…割込判定信号生成部、20…割込サブルーチン開始信号生成部、22…リフレッシュエラー信号生成部、102…タイミング発生器、104…パターン発生器、106…波形整形器、108…ライトドライバ、110…コンパレータ、112…論理比較部、REFTEND…割込信号、RTN…復帰信号、IRTN…割込サブルーチン復帰信号、IREF…割込開始信号、IJMP…割込サブルーチン開始信号、INTINH…割込禁止信号、RFERR…リフレッシュエラー信号、DGMD…モード信号、PGSTART…スタート信号、itcnt…カウント値、nowint…割込判定信号。

Claims (15)

  1. DRAM(Dynamic Random Access Memory)の試験装置であって、
    所定のタイミングごとにアサートされる前記DRAMのリフレッシュを要求する割込信号を受け、前記割込信号がアサートされた回数をカウントし、前記DRAMが外部からアクセス可能なアイドル状態において、カウントした回数、前記DRAMをリフレッシュさせるための割込サブルーチン開始信号をアサートするリフレッシュ制御回路と、
    前記割込サブルーチン開始信号がアサートされると、所定の割込サブルーチンを実行し、リフレッシュパターンを前記DRAMに供給するリフレッシュ回路と、
    を備えることを特徴とする試験装置。
  2. 前記リフレッシュ制御回路は、前記割込信号がアサートされるとカウントアップし、前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを開始するとカウントダウンするカウンタを含むことを特徴とする請求項1に記載の試験装置。
  3. 前記リフレッシュ制御回路は、
    前記割込サブルーチン開始信号を生成する割込サブルーチン開始信号生成部を含み、当該割込サブルーチン開始信号生成部は、
    前記DRAMがアイドル状態であり、かつ前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを実行中でなく、かつ前記カウンタのカウント値が非ゼロのとき、
    または、
    前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを実行中であり、かつ前記DRAMがアイドル状態であり、かつ前記カウント値が非ゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたときに、
    前記割込サブルーチン開始信号をアサートすることを特徴とする請求項2に記載の試験装置。
  4. 前記カウンタは、前記割込サブルーチン開始信号がアサートされると、カウントダウンすることを特徴とする請求項3に記載の試験装置。
  5. 前記割込サブルーチン開始信号生成部は、前記割込サブルーチン開始信号に加えて、前記割込サブルーチンからの復帰を示す割込サブルーチン復帰信号を生成し、
    前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを実行中であり、かつ前記DRAMが非アイドル状態であり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたとき、
    または、
    前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを実行中であり、かつ前記カウンタのカウント値がゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたときに、
    前記割込サブルーチン復帰信号をアサートすることを特徴とする請求項3に記載の試験装置。
  6. 前記リフレッシュ制御回路は、
    前記DRAMがアイドル状態であり、かつ前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを実行中でなく、かつ前記カウンタのカウント値が非ゼロのときアサートされる割込開始信号を生成する割込開始信号生成部と、
    前記リフレッシュ回路が前記割込サブルーチンを実行中であることを示す割込判定信号を生成する割込判定信号生成部と、
    をさらに含み、
    前記割込判定信号生成部は、
    前記割込開始信号がアサートされるとき、前記割込判定信号をアサートし、
    前記割込開始信号がネゲートされた状態において、前記割込サブルーチン復帰信号がアサートされるとき、前記割込判定信号をネゲートし、
    前記割込開始信号がネゲートされた状態において、前記割込サブルーチン復帰信号がネゲートされるとき、前記割込判定信号を前回の値に保持することを特徴とする請求項5に記載の試験装置。
  7. 前記リフレッシュ制御回路は、
    前記カウンタのカウント値が所定の上限値を超えるとアサートされるリフレッシュエラー信号を生成するリフレッシュエラー信号生成部を含み、
    前記試験装置は、当該リフレッシュエラー信号がアサートされると、前記割込信号を発生するパターン発生器を停止させることを特徴とする請求項2に記載の試験装置。
  8. 前記カウンタのカウント値の初期値を、外部から設定可能であることを特徴とする請求項2に記載の試験装置。
  9. DRAM(Dynamic Random Access Memory)の試験方法であって、
    所定のタイミングごとにアサートされる前記DRAMのリフレッシュを要求する割込信号を生成するステップと、
    前記割込信号がアサートされた回数をカウントするステップと、
    前記DRAMが外部からアクセス可能なアイドル状態において、カウントした回数、前記DRAMをリフレッシュさせるための割込サブルーチン開始信号をアサートするステップと、
    前記割込サブルーチン開始信号がアサートされると、所定の割込サブルーチンを実行し、リフレッシュパターンを前記DRAMに供給するステップと、
    を備えることを特徴とする試験方法。
  10. 前記カウントするステップは、前記割込信号がアサートされるとカウンタをカウントアップし、前記割込サブルーチンが開始すると前記カウンタをカウントダウンすることを特徴とする請求項9に記載の試験方法。
  11. 前記割込サブルーチン開始信号を生成するステップをさらに備え、
    前記DRAMがアイドル状態であり、かつ前記割込サブルーチンを実行中でなく、かつ前記カウンタのカウント値が非ゼロのとき、
    または、
    前記割込サブルーチンを実行中であり、かつ前記DRAMがアイドル状態であり、かつ前記カウンタのカウント値が非ゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたときに、
    前記割込サブルーチン開始信号をアサートすることを特徴とする請求項10に記載の試験方法。
  12. 前記カウンタは、前記割込サブルーチン開始信号がアサートされると、カウントダウンすることを特徴とする請求項11に記載の試験方法。
  13. 前記割込サブルーチンからの復帰を示す割込サブルーチン復帰信号を生成するステップをさらに備え、
    前記割込サブルーチンを実行中であり、かつ前記DRAMが非アイドル状態であり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたとき、
    または、
    前記割込サブルーチンを実行中であり、かつ前記カウンタのカウント値がゼロであり、かつサブルーチンからの復帰を示す復帰信号がアサートされたときに、
    前記割込サブルーチン復帰信号をアサートすることを特徴とする請求項11に記載の試験方法。
  14. 前記DRAMがアイドル状態であり、かつ前記割込サブルーチンを実行中でなく、かつ前記カウンタのカウント値が非ゼロのときアサートされる割込開始信号を生成するステップと、
    前記割込サブルーチンを実行中であることを示す割込判定信号を生成するステップと、
    をさらに備え、
    前記割込判定信号は、
    前記割込開始信号がアサートされるとき、アサートされ、
    前記割込開始信号がネゲートされた状態において、前記割込サブルーチン復帰信号がアサートされるとき、ネゲートされ、
    前記割込開始信号がネゲートされた状態において、前記割込サブルーチン復帰信号がネゲートされるとき、前回の値が保持されることを特徴とする請求項13に記載の試験方法。
  15. 前記カウンタのカウント値が所定の上限値を超えるとアサートされるリフレッシュエラー信号を生成するステップをさらに備え、
    当該リフレッシュエラー信号がアサートされると、前記割込信号の発生を停止することを特徴とする請求項10に記載の試験方法。
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