JP2009266295A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非磁性基板上に、少なくとも金属下地層、磁気記録層、少なくともカーボンを含む保護層、潤滑層がこの順に形成されてなる磁気記録媒体の製造方法であって、前記非磁性基板が絶縁体からなり、前記非磁性基板に接する層が形成される前の前記非磁性基板の帯電電圧が正であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【選択図】図2
Description
図2に、本発明の実施例の装置構成を示した。装置は、複数の真空槽を連結した構造からなるIntevac社200Leanを使用した。湿式洗浄処理が施されたガラス基板を、まずロード室から真空装置内に搬送した。基板は、外形65mm、内径20mm、厚さ0.635mmのHoya社製磁気記録…媒体用ガラス基板を使用した。次にRFプラズマ処理室に搬送し、RFプラズマ処理を行った。RFプラズマは、RF室にArを導入し、基板に所定の電圧を印加することで発生させた。RFプラズマ処理中のAr圧力は10mTorr、RFプラズマ処理時間は1.8秒とした。RFプラズマ処理のRF出力は100W(実施例1)、200W(実施例2)、300W(実施例3)とした。
図2に示す構成の装置を用い、湿式洗浄処理が施されたガラス基板をRF処理せずに帯電電圧測定室に搬送し、帯電電圧測定を行った。帯電電圧測定が終わった基板を、パーティクル付着防止性確認のため、故意にパーティクルが発生しやすい状態にした複数の真空チャンバー内を通過した後、アンロード室から搬出した。その後基板表面に付着したパーティクル個数を測定し、RFプラズマ処理の効果を確認した。その結果を各実施例の結果とともに表1に示す。
Claims (2)
- 非磁性基板上に、少なくとも金属下地層、磁気記録層、少なくともカーボンを含む保護層、潤滑層がこの順に形成されてなる磁気記録媒体の製造方法であって、前記非磁性基板が絶縁体からなり、前記非磁性基板に接する層が形成される前の前記非磁性基板の帯電電圧が正であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 前記非磁性基板を、その表面形状を変化させることなく、RFプラズマにさらすことで、前記非磁性基板の帯電電圧を正にすることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。
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