JP2009255181A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置1において、制御部60は、マスク基板10上の研磨部材42の移動速度が略一定になるようにXYZステージ20の作動を制御するとともに、研磨工具40(研磨部材42)の回転速度および押圧機構50による研磨圧力の少なくとも一方がマスク基板10の形状に応じて変化するように、サーボモータ33および押圧機構50の作動を制御するようになっている。
【選択図】図1
Description
10 マスク基板(被研磨物) 20 XYZステージ(移動機構)
30 ヘッド部 33 サーボモータ(回転駆動機構)
40 研磨工具
41 棒状部材 42 研磨部材(研磨部)
50 押圧機構
53 空気圧シリンダ 56 電空レギュレータ
60 制御部
Claims (4)
- 被研磨物を保持する保持機構と、
前記保持機構と対向するように設けられたヘッド部と、
前記被研磨物を研磨するための研磨部を有し、前記ヘッド部に回転可能に保持された研磨工具と、
前記研磨工具を所定の回転速度で回転駆動する回転駆動機構と、
前記研磨工具の前記研磨部を前記被研磨物の被研磨面に所定の圧力で押圧させる押圧機構と、
前記押圧機構により前記被研磨面に押圧された前記研磨部を前記被研磨面において所定の移動速度で移動させる移動機構と、
前記回転駆動機構、前記押圧機構、および前記移動機構の作動を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記移動速度が略一定になるように前記移動機構の作動を制御するとともに、前記回転速度および前記圧力の少なくとも一方が前記被研磨面の形状に応じて変化するように前記回転駆動機構および前記押圧機構の作動を制御することを特徴とする研磨装置。 - 前記制御部は、前記被研磨面の形状に応じた前記圧力が所定の許容圧力よりも大きくなるとき、前記圧力が前記許容圧力となるように前記押圧機構の作動を制御することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記研磨圧力の制御遅延を考慮して前記押圧機構の作動を制御することを特徴とする請求項1もしくは2に記載の研磨装置。
- 前記研磨工具は、棒状に延びる棒状部材をさらに有し、前記研磨部が前記被研磨物よりも小さい球状に形成されて前記棒状部材の先端部に設けられており、前記棒状部材の長手方向に延びる中心軸を中心に回転可能に前記ヘッド部に保持されることを特徴とする請求項1から3のうちいずれか一項に記載の研磨装置。
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