JP2009247954A - 濾過式集塵機およびそれを用いた排ガス除害装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】排ガス加熱装置12からの排ガスFを受け入れ、この排ガスFを乾式処理した後、排気ファン16に導出する本体部20と、フィルタ28で濾過された後の排ガスFの一部をケーシング24の上部空間24cから下部空間24dに循環排ガスCFとして循環させる循環部22とを有する濾過式集塵機14において、ケーシング24の下部空間24dに循環排ガスCFを導入する循環用排ガス導入ダクト46をケーシング24の底部24bに接続することにより、上記課題を解決することができる。
【選択図】図1
Description
「(A)内部空間24aを有するケーシング24、
前記ケーシング24の前記内部空間24aを、上部空間24cと、半導体製造装置Aから排出され、加熱処理された排ガスFおよび粉状の消石灰Sが導入される下部空間24dとに仕切り、前記下部空間24dと前記上部空間24cとを互いに連通する連通孔40を有する仕切り部材26、
前記連通孔40に取り付けられ、前記下部空間24dから前記連通孔40を介して前記上部空間24cに導かれる前記排ガスFを濾過するフィルタ28、
一端が前記ケーシング24の前記下部空間24dを臨む部分に接続され、前記排ガスFを前記下部空間24dに導入する排ガス導入ダクト30、および
一端が前記ケーシング24の前記上部空間24cを臨む部分に接続され、前記フィルタ28で濾過された後の前記排ガスFを前記上部空間24cから導出する排ガス導出ダクト32を備える本体部20と、
(B)前記フィルタ28で濾過された後の前記排ガスFの一部を前記上部空間24cから前記下部空間24dに循環させる循環ファン42、
一端が前記ケーシング24の前記上部空間24cを臨む部分に接続され、他端が前記循環ファン42に接続された循環用排ガス導出ダクト44、および
一端が前記循環ファン42に接続され、他端が前記下部空間24dを臨む前記ケーシング24の底部24bに接続された循環用排ガス導入ダクト46を備える循環部22とで構成された」ことを特徴とする濾過式集塵機14である。
複数に分岐された前記循環用排ガス導入ダクト46のそれぞれには、循環させる前記排ガス(循環排ガスCF)の通流量を調節する流量調節手段50が設けられている」ことを特徴とする。
前記排ガス加熱装置12から排出された前記排ガスFを受け入れる請求項1ないし4のいずれかに記載の濾過式集塵機14と、
前記濾過式集塵機14から排出された前記排ガスFを外部へ排出する排気ファン16とを備える排ガス除害装置10」である。
互いに並設され、前記排ガス加熱装置12から排出された前記排ガスFを受け入れる一組の請求項1ないし4のいずれかに記載の濾過式集塵機14a、14bと、
前記濾過式集塵機14から排出された前記排ガスFを外部へ排出する排気ファン16と、
前記各濾過式集塵機14の前記排ガス導入ダクト30および前記排ガス導出ダクト32にそれぞれ設けられ、前記各排ガス導入ダクト30および前記各排ガス導出ダクト32の流路を開閉する流路開閉手段52と、
一方の前記濾過式集塵機14aとこれの上流側に設けられた前記流路開閉手段52との間における前記排ガス導入ダクト30と、他方の前記濾過式集塵機14bとこれの下流側に設けられた前記流路開閉手段52との間における前記排ガス導出ダクト32とを互いに連通する第1の連通ダクト54aと、
一方の前記濾過式集塵機14aとこれの下流側に設けられた前記流路開閉手段52との間における前記排ガス導出ダクト32と、他方の前記濾過式集塵機14bとこれの上流側に設けられた前記流路開閉手段52との間における前記排ガス導入ダクト30とを互いに連通する第2の連通ダクト54bと、
前記第1および第2の連通ダクト54a、54bにそれぞれ設けられ、前記第1および第2の連通ダクト54a、54bの流路を開閉する連通ダクト流路開閉手段56とを備える排ガス除害装置10」である。
SiH4+2O2→SiO2(粉塵)+2H2O …式(1)
2NF3+3H2O→6HF(フッ化水素)+N2O3 …式(2)
12…排ガス加熱装置
14…濾過式集塵機
16…排気ファン
20…本体部
22…循環部
24…ケーシング
24a…内部空間
24b…底部
24c…上部空間
24d…下部空間
26…仕切り部材
28…フィルタ
30…排ガス導入ダクト
32…排ガス導出ダクト
33…払い落とし装置
34…すり鉢状部
36…排ガス導入ダクト接続孔
38…排ガス導出ダクト接続孔
40…連通孔
42…循環ファン
44…循環用排ガス導出ダクト
46…循環用排ガス導入ダクト
48…循環用排ガス導出ダクト接続孔
50…流量調節手段
52…流路開閉手段
54…連通ダクト
56…連通ダクト流路開閉手段
60…ユニオン継手
Claims (6)
- 内部空間を有するケーシング、
前記ケーシングの前記内部空間を、上部空間と、半導体製造装置から排出され、加熱処理された排ガスおよび粉状の消石灰が導入される下部空間とに仕切り、前記下部空間と前記上部空間とを互いに連通する連通孔を有する仕切り部材、
前記連通孔に取り付けられ、前記下部空間から前記連通孔を介して前記上部空間に導かれる前記排ガスを濾過するフィルタ、
一端が前記ケーシングの前記下部空間を臨む部分に接続され、前記排ガスを前記下部空間に導入する排ガス導入ダクト、および
一端が前記ケーシングの前記上部空間を臨む部分に接続され、前記フィルタで濾過された後の前記排ガスを前記上部空間から導出する排ガス導出ダクトを備える本体部と、
前記フィルタで濾過された後の前記排ガスの一部を前記上部空間から前記下部空間に循環させる循環ファン、
一端が前記ケーシングの前記上部空間を臨む部分に接続され、他端が前記循環ファンに接続された循環用排ガス導出ダクト、および
一端が前記循環ファンに接続され、他端が前記下部空間を臨む前記ケーシングの底部に接続された循環用排ガス導入ダクトを備える循環部とで構成されたことを特徴とする濾過式集塵機。 - 前記循環用排ガス導入ダクトの他端側は、複数に分岐されて前記ケーシングの底部に接続されており、
複数に分岐された前記循環用排ガス導入ダクトのそれぞれには、循環させる前記排ガスの通流量を調節する流量調節手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の濾過式集塵機。 - 前記ケーシングの底部は、下向きに狭まる複数のすり鉢状部で構成されており、複数に分岐された前記循環用排ガス導入ダクトのそれぞれが前記各すり鉢状部の底部に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の濾過式集塵機。
- 前記フィルタに付着した消石灰や粉塵を払い落とすための応力を前記フィルタに付与する払い落とし装置が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の濾過式集塵機。
- 半導体製造装置から排出された排ガスを受け入れ、前記排ガスを高温で加熱処理する排ガス加熱装置と、
前記排ガス加熱装置から排出された前記排ガスを受け入れる請求項1ないし4のいずれかに記載の濾過式集塵機と、
前記濾過式集塵機から排出された前記排ガスを外部へ排出する排気ファンとを備える排ガス除害装置。 - 半導体製造装置から排出された排ガスを受け入れ、前記排ガスを高温で加熱処理する排ガス加熱装置と、
互いに並設され、前記排ガス加熱装置から排出された前記排ガスを受け入れる一組の請求項1ないし4のいずれかに記載の濾過式集塵機と、
前記濾過式集塵機から排出された前記排ガスを外部へ排出する排気ファンと、
前記各濾過式集塵機の前記排ガス導入ダクトおよび前記排ガス導出ダクトにそれぞれ設けられ、前記各排ガス導入ダクトおよび前記各排ガス導出ダクトの流路を開閉する流路開閉手段と、
一方の前記濾過式集塵機とこれの上流側に設けられた前記流路開閉手段との間における前記排ガス導入ダクトと、他方の前記濾過式集塵機とこれの下流側に設けられた前記流路開閉手段との間における前記排ガス導出ダクトとを互いに連通する第1の連通ダクトと、
一方の前記濾過式集塵機とこれの下流側に設けられた前記流路開閉手段との間における前記排ガス導出ダクトと、他方の前記濾過式集塵機とこれの上流側に設けられた前記流路開閉手段との間における前記排ガス導入ダクトとを互いに連通する第2の連通ダクトと、
前記第1および第2の連通ダクトにそれぞれ設けられ、前記第1および第2の連通ダクトの流路を開閉する連通ダクト流路開閉手段とを備える排ガス除害装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015077549A (ja) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | 宇部興産株式会社 | 集塵装置及びガスの処理方法 |
CN109248642A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-22 | 杨松 | 一种制备氟化氢颗粒层移动床过滤器的使用方法 |
JP2020058997A (ja) * | 2018-10-11 | 2020-04-16 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 排ガス処理装置及び排ガス処理方法 |
KR102406729B1 (ko) * | 2021-12-29 | 2022-06-10 | 유원컨설턴트 주식회사 | 관 내부 갱생작업을 위한 환기 및 유해물질 제거시스템 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53104575A (en) * | 1977-01-24 | 1978-09-11 | Krupp Gmbh | Method and apparatus for carrying out chemical and*or physical process in smoke |
JPS60818A (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-05 | Toyobo Co Ltd | 直列吸着装置 |
JPH04135617A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-05-11 | Babcock Hitachi Kk | スパウト流動層による乾式脱硫方法 |
JPH04358516A (ja) * | 1991-02-05 | 1992-12-11 | Teisan Kk | 排ガス処理方法 |
JP2002507474A (ja) * | 1998-03-26 | 2002-03-12 | メタルゲゼルシャフト・アクチエンゲゼルシャフト | ガス流から無水フタル酸蒸気を分離する方法 |
JP2003284918A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 排ガス処理装置 |
JP2005207377A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の排気浄化装置 |
JP2006511324A (ja) * | 2002-12-23 | 2006-04-06 | オウトクンプ テクノロジー オサケ ユキチュア | 排ガスからのガス状汚染物質除去方法および設備 |
JP2006314906A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Hitachi Ltd | 排ガス処理剤供給システム及び供給方法 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53104575A (en) * | 1977-01-24 | 1978-09-11 | Krupp Gmbh | Method and apparatus for carrying out chemical and*or physical process in smoke |
JPS60818A (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-05 | Toyobo Co Ltd | 直列吸着装置 |
JPH04135617A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-05-11 | Babcock Hitachi Kk | スパウト流動層による乾式脱硫方法 |
JPH04358516A (ja) * | 1991-02-05 | 1992-12-11 | Teisan Kk | 排ガス処理方法 |
JP2002507474A (ja) * | 1998-03-26 | 2002-03-12 | メタルゲゼルシャフト・アクチエンゲゼルシャフト | ガス流から無水フタル酸蒸気を分離する方法 |
JP2003284918A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 排ガス処理装置 |
JP2006511324A (ja) * | 2002-12-23 | 2006-04-06 | オウトクンプ テクノロジー オサケ ユキチュア | 排ガスからのガス状汚染物質除去方法および設備 |
JP2005207377A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の排気浄化装置 |
JP2006314906A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Hitachi Ltd | 排ガス処理剤供給システム及び供給方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015077549A (ja) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | 宇部興産株式会社 | 集塵装置及びガスの処理方法 |
JP2020058997A (ja) * | 2018-10-11 | 2020-04-16 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 排ガス処理装置及び排ガス処理方法 |
JP7247512B2 (ja) | 2018-10-11 | 2023-03-29 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 廃棄物焼却炉の排ガス処理装置及び排ガス処理方法 |
CN109248642A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-22 | 杨松 | 一种制备氟化氢颗粒层移动床过滤器的使用方法 |
CN109248642B (zh) * | 2018-10-17 | 2020-07-28 | 杨松 | 一种制备氟化氢颗粒层移动床过滤器的使用方法 |
KR102406729B1 (ko) * | 2021-12-29 | 2022-06-10 | 유원컨설턴트 주식회사 | 관 내부 갱생작업을 위한 환기 및 유해물질 제거시스템 |
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