JP2009220226A - 球面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子の表面を球面研磨皿に摺り合わせてその表面を球面状に研磨する球面研磨装置である。前記光学素子を前記球面研磨皿に当てた状態で支持する研磨シャフトと、軸心が、前記光学素子の表面の研磨目標球面の曲率中心を通り前記研磨シャフトを回転させる回転駆動部と、当該回転駆動部と前記研磨シャフトとの間に設けられ、前記研磨目標球面の曲率中心を中心とする球面状又は円筒状の曲面を有し、この曲面に沿って前記研磨シャフトをずらすことで当該研磨シャフトをその軸心又は軸心の延長線が前記曲率中心を常に通るように傾けて支持し、当該研磨シャフトの回転に伴って当該研磨シャフトに支持された前記光学素子を前記研磨目標球面に沿って移動させる支持機構とを備えた。
【選択図】 図1
Description
前記実施形態では、支持機構4の基板4Aの基板側スライド面4C及び可動板4Bの可動板側スライド面4Dを球面状にしたが、前記研磨目標球面の曲率中心Gを中心とする円筒面の一部で構成しても良い。研磨シャフト2は、中心Gを基準にして傾斜することができる構成であればよいため、球面に限らず、円筒面でも良い。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (5)
- 光学素子の表面を球面研磨皿に摺り合わせてその表面を球面状に研磨する球面研磨装置において、
前記光学素子を前記球面研磨皿に当てた状態で支持する研磨シャフトと、
軸心が、前記光学素子の表面の研磨目標球面の曲率中心を通り前記研磨シャフトを回転させる回転駆動部と、
当該回転駆動部と前記研磨シャフトとの間に設けられ、前記研磨目標球面の曲率中心を中心とする球面状又は円筒状の曲面を有し、この曲面に沿って前記研磨シャフトをずらすことで当該研磨シャフトをその軸心又は軸心の延長線が前記曲率中心を常に通るように傾けて支持し、当該研磨シャフトの回転に伴って当該研磨シャフトに支持された前記光学素子を前記研磨目標球面に沿って移動させる支持機構と
を備えたことを特徴とする球面研磨装置。 - 請求項1に記載の球面研磨装置であって、
前記支持機構の曲面が、前記研磨目標球面の曲率中心を中心とする球面の一部であることを特徴とする球面研磨装置。 - 請求項1に記載の球面研磨装置であって、
前記支持機構の曲面が、前記研磨目標球面の曲率中心を中心とする円筒面の一部であることを特徴とする球面研磨装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の球面研磨装置であって、
前記研磨シャフトが伸縮可能に形成され、前記光学素子の凸面を研磨するとき前記研磨目標球面の曲率中心よりも長く伸ばされ、前記光学素子の凹面を研磨するとき前記曲率中心よりも短く縮められることを特徴とする球面研磨装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の球面研磨装置であって、
前記球面研磨皿を支持して回転させると共に、前記研磨シャフトの伸縮に合わせて高さを調整する研磨皿回転駆動部を備えたことを特徴とする球面研磨装置。
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