JP2009211782A - ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】記録ディスク用のガラス基板の製造方法であって、ガラス板から円板状のガラス基板を成形するガラス基板成形工程と、粒径が0.1〜0.8μmの大径研磨砥粒を含む研磨液と硬質研磨パッドとを用いて前記成形したガラス基板を研磨する粗研磨工程と、粒径が0.01〜0.1μmの小径研磨砥粒を含む研磨液と軟質研磨パッドとを用いて前記研磨したガラス基板をさらに研磨する精密研磨工程と、を含む。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係るガラス基板の製造方法のフロー図である。本実施の形態に係るガラス基板の製造方法は、磁気ディスク基板等に用いられるドーナツ状のガラス基板の製造方法であって、図1に示すように、はじめに、原材料となるガラス板を製造する(ステップS101)。つぎに、ステップS101において製造したガラス板をコアリングして、このガラス板からドーナツ状のガラス基板を成形する(ステップS102)。つぎに、粒径が0.1〜0.8μmの大径研磨砥粒を含む研磨液と硬質研磨パッドとを用いて、ステップS102において成形したガラス基板を研磨する粗研磨工程を行う(ステップS103)。つぎに、粒径が0.01〜0.1μmの小径研磨砥粒を含む研磨液と軟質研磨パッドとを用いて、ステップS103において研磨したガラス基板をさらに研磨する精密研磨工程を行い(ステップS104)、製品となるガラス基板を製造する。
リドロー法を用いてアルミノシリケートガラスからなるガラス板を製造し、このガラス板をコアリングして成形したドーナツ状のガラス基板に対して、図3、4に示す両面同時研磨機を用いて粗研磨工程および精密研磨工程を行い、実施例1に係るガラス基板を製造した。
実施例2として、実施例1と同様にガラス基板を製造した。ただし、実施例2は、粗研磨工程において、粒径が0.3〜0.8μmで平均粒径が0.5μmの酸化セリウム研磨砥粒に水を加えて遊離砥粒とした研磨液とを用いた点が実施例1とは異なる。なお、このとき、粗研磨工程における研磨時間は17分であり、研磨速度は0.36μm/minであった。
比較例1として、実施例1と同様にガラス基板を製造した。ただし、比較例1は、粗研磨工程において、粒径が0.7〜2.5μmで平均粒径が1.7μmの酸化セリウム研磨砥粒に水を加えて遊離砥粒とした研磨液とを用いた点が実施例1とは異なる。なお、このとき、粗研磨工程における研磨時間は14分であり、研磨速度は0.45μm/minであった。
1a、9a 主表面
1b、9b 外周端面
1c 孔
2 両面同時研磨機
3 上定盤
4 下定盤
5 研磨パッド
6 キャリアー
7 太陽車
8 インターナルギア
D1、D2 ダブオフ値
R1〜R4 点
Claims (6)
- 記録ディスク用のガラス基板の製造方法であって、
ガラス板から円板状のガラス基板を成形するガラス基板成形工程と、
粒径が0.1〜0.8μmの大径研磨砥粒を含む研磨液と硬質研磨パッドとを用いて前記成形したガラス基板を研磨する粗研磨工程と、
粒径が0.01〜0.1μmの小径研磨砥粒を含む研磨液と軟質研磨パッドとを用いて前記研磨したガラス基板をさらに研磨する精密研磨工程と、
を含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記硬質研磨パッドはウレタンからなり、前記軟質研磨パッドは発泡ウレタンからなることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記大径研磨砥粒は酸化セリウムからなり、前記小径研磨砥粒はコロイダルシリカからなることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記成形したガラス基板は、表面に形成された傷の深さが5μm以下のものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス板は、母材ガラス板を加熱して軟化し所望の厚さに延伸するリドロー法を用いて製造したものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のガラス基板の製造方法。
- 前記精密研磨工程は、前記ガラス基板の外周端部のダブオフ値が0〜9nmになるように研磨することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のガラス基板の製造方法。
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