JP2009207052A - 圧電振動デバイスの周波数調整方法 - Google Patents
圧電振動デバイスの周波数調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009207052A JP2009207052A JP2008049438A JP2008049438A JP2009207052A JP 2009207052 A JP2009207052 A JP 2009207052A JP 2008049438 A JP2008049438 A JP 2008049438A JP 2008049438 A JP2008049438 A JP 2008049438A JP 2009207052 A JP2009207052 A JP 2009207052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal film
- adjustment
- frequency
- main surface
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 基部3と一対の腕部2,2とからなる音叉型圧電振動片1の、前記腕部の先端領域に周設された調整用金属膜4の質量を削減することによって、周波数調整を行う圧電振動子デバイスの周波数調整方法であって、前記調整用金属膜4は、主面金属膜41,42と側面金属膜43,44とで構成され、前記側面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う側面調整工程と、当該側面調整工程後に、前記主面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う主面調整工程とからなる。
【選択図】 図8
Description
以下、音叉型水晶振動子を例に挙げて、本発明による第1の実施形態について、周波数調整工程を中心に説明する。本実施形態で使用される音叉型水晶振動子は、音叉型水晶振動片が、上部が開口した筐体内部の搭載電極上に金属バンプを介して接合され、前記開口部を、封止材を介して板状の蓋体で接合した構成となっている。ここで、本実施形態では音叉型水晶振動子の公称周波数は32.768kHzとなっている。なお、前記公称周波数は一例であり、他の周波数にも適用可能である。
なお、本発明の第2の実施形態を、図10乃至11を用いて説明する。図10は本発明の第2の実施形態を示す側面調整工程後の腕部先端の側面図であり、図11は本発明の第2の実施形態を示す主面調整工程後の腕部先端の側面図である。なお、図10乃至11において、簡略化のために一対の腕部2、2の内、1本の腕部2についてのみ表示しているとともに、振動片に形成される各種電極の記載は省略している。また、第1の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。以下、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
2 腕部
3 基部
4 調整用金属膜
41 表主面金属膜
42 裏主面金属膜
43 外側面金属膜
44 内側面金属膜
Claims (3)
- 基部と一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片の、前記腕部の先端領域に周設された調整用金属膜の質量を削減することによって周波数の調整を行う、圧電振動子デバイスの周波数調整方法であって、
前記調整用金属膜は、主面金属膜と側面金属膜とで構成され、
前記側面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う、側面調整工程と、
側面調整工程後に、前記主面金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う、主面調整工程と、
からなる圧電振動デバイスの周波数調整方法。 - 前記側面金属膜と主面金属膜の質量削減を、レーザービームによって行うことを特徴とする、請求項1に記載の圧電振動デバイスの周波数調整方法。
- レーザービームが、前記腕部の幅方向に横断するように走査されるとともに、前記走査の間、レーザービームが前記調整用金属膜に断続的に照射されて周波数の調整が行われる圧電振動子デバイスの周波数調整方法であって、
前記走査時に、前記側面金属膜だけが質量削減される側面調整工程と、
前記側面調整工程後の走査時に、前記主面金属膜だけが質量削減される主面調整工程とからなる請求項1乃至2に記載の圧電振動デバイスの周波数調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008049438A JP5061956B2 (ja) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008049438A JP5061956B2 (ja) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009207052A true JP2009207052A (ja) | 2009-09-10 |
JP5061956B2 JP5061956B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=41148844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008049438A Active JP5061956B2 (ja) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5061956B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011199578A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動デバイス |
JPWO2018079181A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2019-09-12 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5099692A (ja) * | 1973-12-29 | 1975-08-07 | ||
JPS52119197A (en) * | 1976-03-31 | 1977-10-06 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thin board piezo-resonator |
JP2002252546A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 |
WO2004100365A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-18 | Daishinku Corporation | 音叉型振動子の周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
-
2008
- 2008-02-29 JP JP2008049438A patent/JP5061956B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5099692A (ja) * | 1973-12-29 | 1975-08-07 | ||
JPS52119197A (en) * | 1976-03-31 | 1977-10-06 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thin board piezo-resonator |
JP2002252546A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 |
WO2004100365A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-18 | Daishinku Corporation | 音叉型振動子の周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011199578A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動デバイス |
JPWO2018079181A1 (ja) * | 2016-10-31 | 2019-09-12 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5061956B2 (ja) | 2012-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4694953B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 | |
CN106169917B (zh) | 压电振动片的制造方法、压电振动片及压电振动器 | |
JP2010147954A (ja) | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス | |
JP2008177723A (ja) | 水晶振動体、水晶振動子及び水晶ウェハ | |
JP2006311444A (ja) | 圧電振動片およびその製造方法、並びにこの圧電振動片を利用した圧電デバイス | |
JP5125590B2 (ja) | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 | |
JP2020174393A (ja) | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 | |
JP2011193436A (ja) | 音叉型水晶振動片、音叉型水晶振動子、および音叉型水晶振動片の製造方法 | |
JP5061956B2 (ja) | 圧電振動デバイスの周波数調整方法 | |
JPWO2010061470A1 (ja) | ウエハおよびパッケージ製品の製造方法 | |
JP5272651B2 (ja) | 振動片の製造方法 | |
JP2008113380A (ja) | 水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品 | |
JP5817517B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造方法 | |
JP5867170B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造方法 | |
JP5031526B2 (ja) | 圧電振動子及びその製造方法 | |
JP2007288331A (ja) | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動片、並びに圧電振動子 | |
JP5042597B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片および圧電デバイス | |
JP7079607B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、及び製造方法 | |
JP7232574B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、及び圧電振動子の製造方法 | |
TWI741101B (zh) | 音叉型振動片、音叉型振動子及其製造方法 | |
JP5136154B2 (ja) | 音叉型圧電振動片の周波数調整方法 | |
JP6616999B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
JP2009182873A (ja) | 圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイス | |
JP7319787B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP2017157934A (ja) | 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120710 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5061956 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |