JP5867170B2 - 音叉型水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。まず音叉型水晶振動子の完成品について説明した後、本発明の音叉型水晶振動子の製造方法について説明する。
本実施形態における音叉型水晶振動子の断面模式図を図1に示す。音叉型水晶振動子1は、容器2の段部8上面に形成された金属膜からなる搭載パッド7の上に、音叉型水晶振動片4が接合部材6を介して接合されている。そして、蓋3がロウ材5を介して容器2に接合されることにより、音叉型水晶振動片4が容器2の内部に気密に封止された構造となっている。音叉型水晶振動子1は略直方体状であり、平面視の外形寸法は2.0mm×1.2mmとなっている。なお、図1では容器底面に形成される外部接続端子や容器の内部配線や音叉型水晶振動片の表裏側面に形成される各種電極の記載を省略している。
以上が本発明の音叉型水晶振動子の完成品についての説明である。次に本発明の音叉型水晶振動子の製造方法の主要工程を中心に図面を参照しながら説明する。
電極形成工程では音叉型水晶振動片4の基部40および突出部400と振動腕41の主面と側面に、所定形状の電極パターン(図示省略)がフォトリソグラフィ技術によって形成される。幅広部420については、表裏主面に設けられる無電極領域44を除いた領域の全周に腕先電極Mが形成される(図2参照)。つまり、幅広部420の外側面および内側面については全体に腕先電極Mが形成される。そして前記外側面と内側面の全体に形成された腕先電極Mを介して、振動腕の主面上に無電極領域44を挟んで振動腕の伸長方向に分離して形成された腕先電極Mとが電気的に接続されることになる。これは後述する保護領域形成工程および調整膜形成工程において、電解メッキ法によって金属膜を形成する際の導通確保のための引き回しとなっている。保護領域形成工程および調整膜形成工程において、電解メッキ法以外の成膜手段を用いる場合は導通確保のための引き回しは必ずしも必要ではない。この場合、幅広部420の外側面および内側面について全体に腕先電極を形成しなくてもよい。
前述した腕先電極Mの上に電解メッキ法によってAu膜からなる腕先金属膜43を形成する。腕先金属膜43は図3に示すように、振動腕の先端部の全幅に及んで形成され、振動腕41の先端の外側の角部Coと当該角部に近接する稜部と、内側の角部Ciと当該角部に近接する稜部とをそれぞれ覆うように形成される。本発明の第1の実施形態では図3に示す腕先金属膜43が形成された領域全体が腕先保護領域430となっている。腕先保護領域430は後述する周波数調整工程において周波数調整に寄与しない領域となっている。なお、前述した無電極領域44は幅広部420の対向する二つの主面の水晶素地が露出した領域となっている。
無電極領域44に対して振動腕の根元側に隣接した腕先電極Mの上に、電解メッキ法によってAu膜からなる調整用金属膜45を形成する(図3)。調整用金属膜45は図4に示すように振動腕の対向する一組の主面上の腕先電極Mの上に対向して形成され、一対の振動腕全体では4つの調整用金属膜が形成される。調整用金属膜45は腕先保護領域430から振動腕の根元側に、無電極領域44を隔てて離間した、周波数を調整するための金属膜となっている。本発明の第1の実施形態では調整用金属膜45と腕先保護領域43の各金属膜は一体で電解メッキ法によって同時に形成される。調整用金属膜45は振動腕41の一組の対向する主面の両方あるいはいずれか一方の主面に形成すればよく、前記主面のみならず振動腕の一組の対向する側面にも形成してもよい。なお、調整用金属膜45と腕先金属膜43の各金属膜の材料はAuに限定されるものではなく、これら以外の金属も使用可能である。また腕先金属膜43は電解メッキ法以外に無電解メッキ法も使用可能である。
周波数調整工程は、調整用金属膜45の質量をビームで削減することによって周波数調整を行う工程である。本実施形態ではビームとしてレーザー光(グリーンレーザー:波長532nm)が用いられ、振動腕41の幅方向に横断するように走査される。そしてレーザー光は無電極領域44の上方から照射が開始される。つまり無電極領域44に対して、振動腕41の幅方向に横断するようにレーザー光の照射を開始する(図5において符号Lで表記)。そして振動腕41の根元方向にレーザー光を移動させながら、調整用金属膜45の質量を削減することによって周波数調整を行う。なおビームとしてレーザー光を用いる場合、グリーンレーザー以外の波長のレーザーを使用することも可能である。例えばYAGレーザーや炭酸ガスレーザーも使用可能である。
本発明の第1の実施形態では、腕先金属膜43の形成領域全体が腕先保護領域430となっているが、腕先保護領域はこのような形状に限定されるものではない。例えば本発明の第1の実施形態の変形例として図6に示すような構成であってもよい。腕先保護領域460は、振動腕先端の外側の角部Coと当該角部に近接する稜部を含む領域と、振動腕先端の内側の角部Ciと当該角部に近接する稜部を含む領域とに形成された一対の腕先金属膜461,461と、これら一対の腕先金属膜461,461の間の水晶素地が露出した露出部462とで構成されている。この場合、露出部462と無電極領域47とはいずれも水晶素地が露出した同一平面上の領域であり、つながった状態となっている。なお、露出部と無電極領域と表現が異なっているのは、周波数調整領域においてビームが最初に照射される領域が腕先保護領域よりも根元側に位置する領域であることによる便宜上の区別である。
本発明の第2の実施形態を図7に示す。本発明の第2の実施形態において第1の実施形態と同様の構成については同番号を付して説明の一部を割愛するとともに、第1の実施形態と同一の作用効果を有する。以下、本発明の第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
本発明の第3の実施形態を図8を用いて説明する。なお第1の実施形態と同様の構成については同番号を付して説明の一部を割愛するとともに、第1の実施形態と同一の作用効果を有する。
2 容器
3 蓋
4 音叉型水晶振動片
40 基部
41 振動腕
400 突出部
410 直線部
420 幅広部
43、461、491、521、551 腕先金属膜
430、460、490、520、550 腕先保護領域
462、492、522、552 露出部
44、47、50、53、56 無電極領域
45、48、51、54、57 調整用金属膜
54a、57a 固定調整領域
54b、57b 可変調整領域
M 腕先電極
T 拡幅部
Claims (2)
- 基部と、当該基部の一端側から突出した一対の振動腕とを備えた音叉型水晶振動片を、容器の内部に収容し、当該容器に蓋を接合することにより前記音叉型水晶振動片を気密に封止した音叉型水晶振動子の製造方法であって、
前記基部および前記一対の振動腕の主面と側面に電極を形成する電極形成工程と、
前記振動腕の少なくとも一主面において、
振動腕の先端側に、周波数調整に寄与しない金属膜のみで構成された腕先保護領域、または周波数調整に寄与しない金属膜あるいは導電性部材と前記一主面の水晶素地が露出した露出部とで構成された腕先保護領域、を設ける保護領域形成工程と、
前記腕先保護領域から振動腕の根元側に、前記一主面の水晶素地が露出した無電極領域を隔てて、周波数調整用の金属膜を形成する調整膜形成工程と、
前記無電極領域に対して、振動腕の幅方向にビームの照射を開始し、
振動腕の根元方向にビームを移動させながら、前記周波数調整用の金属膜の質量を削減することによって周波数調整を行う周波数調整工程と、
を有する音叉型水晶振動子の製造方法。 - 前記調整膜形成工程において、前記周波数調整用の金属膜が固定調整領域と可変調整領域とからなり、
前記固定調整領域は、前記無電極領域に隣接する側に設けられ、1回のビームの振動腕の幅方向の走査に対する周波数の上昇量が略一定の領域であり、
前記可変調整領域は、前記固定調整領域に対して振動腕の根元側に設けられ、1回のビームの走査に対する周波数の上昇量が振動腕の根元側に近づくにつれて減少する領域であることを特徴とする請求項1に記載の音叉型水晶振動子の製造方法。
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