JP2009206357A - 化合物半導体装置及び化合物半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】InSbを含む化合物半導体で成る半導体層10、半導体層10上に形成される絶縁層11、絶縁層の一部を除去することによって形成された開口部12、13の全領域と接触する第1電極8、第1電極8上に形成された第2電極9によって半導体装置を構成し、第1電極8を、第2電極9に含まれる金属が半導体層10に拡散することを防ぐ部材で形成する。
【選択図】 図1
Description
狭禁制帯幅の半導体材料で形成されたダイオードを室温で動作させるための従来技術として、例えば、特許文献1に記載された赤外線センサICがある。この赤外線センサICは、i層とp層の間に禁制帯幅の広い半導体層を挿入させている。このようにすることにより、導電帯にある電子がp型半導体層に拡散することを防ぎ、室温で動作できる上、熱型のセンサと同等の性能が得られる量子型の赤外線センサを実現することができる。
また、InSbと電極間に金属材料を拡散防止層として挿入しても、InSb上に直接電極を形成する場合には、電極の端部で拡散防止層となる層が薄くなり、端部から電極がInSb内に拡散するという不具合がある。
本発明は、上記した点に鑑みてなされたものであって、電極材料がInSb内に拡散することを確実に阻止し、動作環境に影響されることなく安定した特性を長期間維持できる、信頼性の高い半導体装置及びこの半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
請求項3に記載の化合物半導体装置は、請求項1または2に記載の発明において、前記第1電極が、Ti、Ni、Pt、の少なくとも1つを含む、またはTi、Ni、Pt、の少なくとも1つを含む金属材料が2層以上積層されて成ることを特徴とする。
請求項5に記載の化合物半導体装置は、請求項4に記載の発明において、前記密着向上層が、Ti、Ni、Pt、Cr、Al、Cu、の少なくとも1つを含む、またはTi、Ni、Pt、Cr、Al、Cu、の少なくとも1つを含む金属材料が2層以上積層されて成ることを特徴とする。
請求項7に記載の化合物半導体装置は、請求項1から6のいずれか1項に記載の発明において、前記第1電極の厚さが、前記絶縁層より厚いことを特徴とする。
請求項8に記載の化合物半導体装置は、請求項1から7のいずれか1項に記載の発明において、前記絶縁層の厚さが50nm以上、1000nm以下であることを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、拡散防止電極層と通常電極層とによって第1電極を形成できるので、拡散防止と導電性の両方の要求を満たすことができる。
請求項3に記載の発明は、拡散防止電極層に好適な部材を用いて第1電極を形成することができる。
請求項5に記載の発明は、密着向上層に好適な部材を用いて第2電極を形成することができる。
請求項6に記載の発明は、好適な部材を用いて半導体層を形成することができる。
請求項7に記載の発明は、第1電極と第2電極との電気的な接続が絶縁層によって妨げられることを防ぐことができる。
請求項8に記載の発明は、開口部の深さを電極材料を埋め込むのに好適な範囲にすることができる。
請求項10に記載の発明は、絶縁性保護膜の窓開けを実施した後、窓開けに用いたレジストパターンを用いて第1電極を形成するため、電極形成用のレジストパターンを形成する必要が無く、フォトリソグラフィの工程を1つ省くことができる。さらに、窓開けされた部位の化合物半導体表面をレジストによる有機物で汚染されることが無いため、化合物半導体の表面と電極間の不純物の混入を防ぐことができる。
(実施形態1)
(化合物半導体装置の構造)
図1は、本発明の実施形態1の化合物半導体装置(以下、実施形態1から実施形態3において単に素子ともいう)の断面図である。実施形態1の化合物半導体装置は、フォトダイオードに適用されるものであって、図1に示した構成は、フォトダイオードの1画素(pin構造)分に相当している。フォトダイオードにおいて、例えば電圧を出力する素子は、数十個から数千個直列接続された画素によって構成されている。
半導体層10は、n+−InSb層2、i−InSb層3、p−AlInSb層4、p+−InSb層5で構成されている。また、絶縁膜層11は、第1絶縁性保護膜6、第2絶縁性保護膜7によって構成されている。さらに、n+−InSb層2の一部は上層のi−InSb層3、p−AlInSb層4、p+−InSb層5から延出していて、延出部分Aの上にも絶縁膜層11が形成されている。延出部分A上の絶縁膜層11には、開口部13が形成されている。
特に、InSb系化合物半導体を赤外線センサに応用する場合、検出効率を高めるために赤外線を基板側から入射する必要がある。このため、基板には1μm以上の長波長の光である赤外線に対して透明となる材料を用いることは特に好ましい。半導体基板の面方位は、どの面方位を用いてもかまわない。例えば、(100)面、(111)面、(110)面及び、これらを基準に角度をオフさせた基板を用いてもよい。
また、実施形態1の半導体層10は、InSb系化合物半導体による積層構造で、かつn型半導体とp型半導体とを接合したpn接合を形成する。半導体層10は、n−InSb/p−InSbの2層構造、n−InSb/i−InSb/p−InSbの3層構造、n−InSb/i−InSb/p−AlInSb/p−InSbの4層構造であってもよい。さらに、このような組成の化合物半導体を用いて形成された半導体層であってもよい。
また、一般的に、ドライエッチングによってエッチングされた部材の形状(メサ形状)は断面の傾斜が比較的大きい。ウェットエッチングによってエッチングされた部材の断面は、エッチングの条件等による相違はあるものの、ドライエッチングに比べて緩やかである。実施形態1では、このようなエッチングの特性の相違を利用し、半導体層10の望ましい形状に合わせてエッチング方法を使い分けてもよい。
実施形態1の第1電極8には、InSb系化合物半導体とオーミック接触し、かつ、InSb系化合物半導体との間で相互拡散して合金化しない金属を選択する必要がある。InSb系化合物半導体は、ほとんどの金属とオーミック接触するため、どの電極材料を選択しても問題にはならない。ただし、合金化しないという条件を満たすため、電極材料としてはTi、Ni、Pt等が拡散防止電極層として用いられる。
第2電極9には、第1電極8と密着性が高く、伝導性のより高い材料を用いる必要がある。密着性が高い材料としてTi、Ni、Cr、Pt等が密着向上層として用いられる。また、導電性が高い材料としてはAu、Cu、Al、Ag等がある。導電性が高く、第1電極8との密着性が悪い材料は、密着性が高い材料との積層構造とすれば好ましい第2電極9を形成することができる。
以下に、実施形態1の化合物半導体装置の製造方法について説明する。なお、説明は、本発明の発明者らが化合物半導体装置を製造した例を挙げたものであり、実施形態1の製造方法は、説明した製造の条件に限定されるものではない。
図2(a)〜(f)は、図1に示した化合物半導体装置の製造方法を説明するための図である。図2(a)に示したように、実施形態1では、先ず、GaAs基板1上に基板表面1aの側からn+−InSb層2、i−InSb層3、p−AlInSb層4、p+−InSb層5を順にMBE法によって形成する。各層の厚さは、以下のとおりである。本明細書の実施形態1から3では、n+−InSb層2、i−InSb層3、p−AlInSb層4、p+−InSb層5を総称してInSb層とも記すものとする。
n+−InSb層 1μm
i−InSb層 2μm
p−AlInSb層 0.02μm
p+−InSb層 0.5μm
開口部12、開口部13は、p+−InSb層5及びn+−InSb層2上の第1絶縁性保護膜6及び第2絶縁性保護膜7の一部を除去することによって形成される。実施形態1では、底面が2μmφの円形形状なるように、第1絶縁性保護膜6及び第2絶縁性保護膜7を除去するものとした。
このとき、図示したように、第1電極8の厚さを第1絶縁層保護膜6、第2絶縁性保護膜7の合計の厚さよりも厚くすれば、第1電極8と後に形成される第2電極9とが、第1絶縁層保護膜6、第2絶縁性保護膜7に妨げられることなく良好な電気伝導を有するように接続される。
なお、密着向上層はTi層に限定されるものでなく、Ni、Pt、Cr、Al、Cu、の少なくとも1つを含む部材であってもよい。また、Ti、Ni、Pt、Cr、Al、Cuの少なくとも1つを含む金属材料が2層以上積層されたものであってもよい。
また、実施形態1では、第1電極8、第2電極9を、エッチングよりもダメージが小さいリフトオフによって形成するものとした。リフトオフによる第1電極8、第2電極9の形成については、実施形態3において詳述する。
以上述べた構成は、さらに、全体を保護膜で覆うことによって素子チップとなる。素子チップはリードフレーム上に実装され、電極パッドとリードフレームとが金ワイヤーで接続される。さらに、モールド樹脂で封止され、半導体素子となる。なお、赤外線の入射はGaAs基板1の側から行われる。このため、素子チップをダイボンディングする際には、リードフレーム台座に穴が空いているものを用いるか、あるいはカプトン(登録商標)シートのような耐熱性のシート上に実装し、樹脂モールド後にシートを剥離する。このような方法によれば、実装後にGaAs基板1の裏面が露出する構造となる。
本発明の発明者らは、30個の実施形態1の半導体装置に対し、信頼性試験(150℃高温試験、高温高湿試験、ヒートサイクル試験(−40℃〜25℃))を実施した。この結果、いずれの試験においても、全ての素子について、素子抵抗の変動は5%以内であった。また、信頼性試験実施後の素子の断面をSEM(Scanning Electron Microscope)により観察した結果、第1電極8の金属がInSb層内に拡散していないことが分かった。
図4は、実験用半導体装置を説明するための図である。また、図5は、図4に示した実験用半導体装置のInSb層と電極との接合部分の拡大図である。なお、図4、図5において、図1から図3において説明した構成については同様の符号を付し、説明の一部を略すものとする。
以上の結果から、実施形態1は、第1電極6が存在することにより、第2電極9の材料がInSb層内に拡散することを防ぎ、温度等の環境の条件に影響されることがなく、安定した特性を長期間維持することができる半導体装置を提供することができるものといえる。
次に、本発明の実施形態2について説明する。実施形態2は、先に説明した実施形態1が絶縁層を第1絶縁性保護膜6、第2絶縁性保護膜7の二層構造としているのに対し、絶縁層を一層とするものである。
図6は、実施形態2の化合物半導体装置を説明するための図である。図7は、図6に示した化合物半導体装置のInSb層と第1電極8及び第2電極9の接合部分を拡大して示した図である。図示した構成のうち、実施形態1で説明した構成については同様の符号を付して示し、説明を一部略すものとする。
この際、一度にn+−InSb層2、i−InSb層3、p−AlInSb層4、p+−InSb層5を全て一度にエッチングしてもよいし、n+−InSb層2を残してエッチングしてもよい。
次に、本発明の実施形態3を説明する。実施形態3では、本発明の半導体装置の第1電極8、第2電極9の形成を説明する。
図8は、実施形態3の化合物半導体装置を説明するための図である。図9は、図8に示した化合物半導体装置のInSbと第1電極8及び第2電極9の接合部分の形成を詳細に説明するための図である。図示した構成のうち、実施形態1で説明した構成については同様の符号を付して示し、説明を一部略すものとする。
次に、レジストパターン19は、図9(c)のように、レジスト剥離用液や有機溶剤を用いて除去される。レジストパターン19の剥離により、レジストパターン19上の第1電極用層80も除去される。この結果、開口部12、図8に示した開口部13にだけ第1電極用層80が残り、第1電極8が形成される。
このような第2電極9の形成において、レジストパターン29を形成するレジストの選択や露光、現像条件をレジストパターン29の断面形状が逆テーパー形状となるようにすることにより、リフトオフを容易にし、第2電極9を容易に形成することができるようになる。
本発明の発明者らは、30個の実施形態3の半導体素子に対しても、実施形態1、実施形態2と同様の信頼性試験(150℃高温試験、高温高湿試験、ヒートサイクル試験(−40℃〜125℃))を実施した。この結果、いずれの試験においても、全ての素子について抵抗の変動が5%以内という結果を得た。また、信頼性試験実施後の素子の断面をSEMにより観察した結果、第1電極8の金属がInSb層内に拡散していないことが分かった。
2 n+−InSb層
3 i−InSb層
4 p−AlInSb層
5 p+−InSb層
6 第1絶縁性保護膜
7 第2絶縁性保護膜
8 第1電極
9 第2電極
10 半導体層
12,13 開口部
17 絶縁性保護膜
19,29 レジストパターン
Claims (10)
- InSbを含む化合物半導体で成る半導体層と、
前記半導体層上に形成される絶縁層と、
前記絶縁層の一部を除去することによって形成された開口部の全領域と接触する第1電極と、
前記第1電極上に形成された第2電極と、
を有して成り、
前記第1電極は、前記第2電極に含まれる金属が前記半導体層に拡散することを防ぐ部材で成ることを特徴とする化合物半導体装置。 - 前記第1電極は、
前記第2電極に含まれる金属が前記半導体層に拡散することを防ぐ拡散防止電極層と、前記第2電極と電気的に接続される通常電極層と、を少なくとも含むことを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。 - 前記第1電極は、Ti、Ni、Pt、の少なくとも1つを含む、またはTi、Ni、Pt、の少なくとも1つを含む金属材料が2層以上積層されて成ることを特徴とする請求項1または2に記載の化合物半導体装置。
- 前記第2電極は、
前記第1電極に対する密着性を高めるために設けられる密着向上層と、Auを含み、前記密着層と電気的に接続される通常電極層と、を少なくとも含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。 - 前記密着向上層は、Ti、Ni、Pt、Cr、Al、Cu、の少なくとも1つを含む、またはTi、Ni、Pt、Cr、Al、Cu、の少なくとも1つを含む金属材料が2層以上積層されて成ることを特徴とする請求項4に記載の化合物半導体装置。
- InSbを含む前記化合物半導体が、InAsxSb1-x(0≦x<1)であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記第1電極の厚さが、前記絶縁層より厚いことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記絶縁層の厚さが50nm以上、1000nm以下であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- InSbを含む化合物半導体で成る半導体層を形成する半導体層形成工程と、
前記半導体層形成工程によって形成された半導体層上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記絶縁層の一部を除去することによって開口部を形成する開口部形成工程と、
前記開口部形成工程において形成された開口部の全領域と接触する第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記第1電極形成工程において形成された第1電極上に、Auを含む部材で成る第2電極を形成する第2電極形成工程と、
を含み、
前記第1電極は、前記第2電極から前記半導体層へ金属が拡散することを防ぐ部材で成ることを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。 - 前記第1電極形成工程は、
前記開口部形成工程において前記開口部を形成するために使用されたレジストパターン上から前記第1電極の材料となる部材の層を形成する第1電極材料層形成工程と、
前記第1電極材料層形成工程において形成された前記層を前記レジストパターンと共に除去する第1リフトオフ工程と、
を含むことを特徴とする請求項9に記載の化合物半導体装置の製造方法。
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