JP2009188323A - ウエハ加工用テープ - Google Patents

Abstract

【課題】使用時に、プリカット不良に起因する粘着テープの小片が発生しないウエハ加工用テープを提供すること。
【解決手段】本発明のウエハ加工用テープ１０は、長尺の離型フィルム１１と；離型フィルム１１上に設けられた円形状を有する複数の接着剤層１２と；各接着剤層を覆い、且つ、各接着剤層の周囲で離型フィルム１１に接触するように設けられた円形状を有する複数のラベル部１３ａと、各ラベル部の外側を囲むように、離型フィルム１１の長手方向に沿って連続的に設けられた１対のサイド部１３ｂとを有する粘着テープ１３と、を備えたウエハ加工用テープであって、テープ上面側から見たサイド部１３ｂの内側の輪郭形状は、ラベル部１３ａに対応した円弧形状部１４と、直線及び曲線から選択される２つの線分が交わるようにプリカット加工されることで形成された非直線形状部１５ａとが交互に連続した形状を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、プリカット加工により製造されるウエハ加工用テープに関し、特に、ダイシングテープとダイボンディングフィルムの２つの機能を有するダイシング・ダイボンディングテープに関する。

近時、半導体ウエハを個々のチップに切断分離（ダイシング）する際に半導体ウエハを固定するためのダイシングテープと、切断された半導体チップをリードフレームやパッケージ基板等に接着するため、又は、スタックドパッケージにおいては、半導体チップ同士を積層、接着するためのダイボンディングフィルム（ダイアタッチフィルムともいう）との２つの機能を併せ持つダイシング・ダイボンディングテープが開発されている。

このようなダイシング・ダイボンディングテープとしては、ウエハへの貼り付けや、ダイシングの際のリングフレームへの取り付け等の作業性を考慮して、プリカット加工が施されたものがある（例えば、特許文献１）。

プリカット加工されたダイシング・ダイボンディングテープの例を、図１１及び図１２に示す。図１１は、ダイシング・ダイボンディングテープ５０の平面図であり、図１２は、図１１の線Ｂ−Ｂによる断面図である。ダイシング・ダイボンディングテープ５０は、離型フィルム５１と、接着剤層５２と、粘着テープ５３とからなる。接着剤層５２は、ウエハの形状に対応した円形ラベル形状を有する。粘着テープ５３は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示のように、円形ラベル部５３ａと、その外側を囲むように、離型フィルム５１の長手方向に沿って連続的に設けられた１対のサイド部５３ｂとを有する。プリカット加工されたダイシング・ダイボンディングテープ５０は、通常、図１３に示すように、ロール状に巻き取られ、ロール状の製品として提供される。上記１対のサイド部５３ｂは、ダイシング・ダイボンディングテープ５０がロール状に巻かれた際に、柔軟な接着剤層５２表面への転写痕（ラベル痕、シワ、又は、巻き跡ともいう）の発生を抑制する機能を有する。

図１１及び図１２に示すダイシング・ダイボンディングテープ５０の製造方法について、図１４及び図１５を用いて説明する。
まず、離型フィルム５１の全面に接着剤層５２を形成した後、図１４に示すように、ウエハに対応した円形状に打ち抜く１次プリカット工程を実施する。この工程では、プリカット形状に対応する刃模様が表面に形成された１次プリカット用の平面刃具６１をマグネットシンダー６０にセットし、回転するマグネットシリンダー６０を接着剤層５２に押圧することで、接着剤層を円形状に打ち抜き、接着剤層５２の不要部分を除去する。これにより、離型フィルム５１上に円形状の接着剤層５２が形成される。

次に、円形状の接着剤層５２が形成された離型フィルム５１の全面に、粘着テープ５３を貼り合わせた後、図１４に示すように、粘着テープ５３を所定形状に打ち抜く２次プリカット工程を実施する。この工程では、プリカット形状に対応する刃模様が表面に形成された２次プリカット用の平面刃具７１をマグネットシリンダー７０にセットし、回転するマグネットシリンダー７０を、所定の速度で送り出される粘着テープ５３に押圧させる。これにより、マグネットシリンダー７０の１回転毎に、１枚分の粘着テープ５３が所定形状に打ち抜かれ、粘着テープ５３が連続的にプリカットされる。そして、粘着テープ５３の不要部分を除去することで、複数の円形ラベル部５３ａと、１対のサイド部５３ｂとが形成される。形成されたサイド部５３ｂの内側の輪郭形状は、図１１に示すように、ラベル部５３ａに対応した円弧形状部５４と、円弧形状部５４間を繋ぐ直線部５５とが交互に連続した形状を有する。
特開２００７−２１７３号公報

上記サイド部５３ｂの直線部５５については、２次プリカット工程が正常に行われる場合には、図１６（ａ）に示すように、マグネットシリンダー７０の回転により形成された１枚目の刃跡の終端と２枚目の刃跡の始端とが一直線に重なり、正常に直線部５５が形成される。ところが、マグネットシリンダー７０へ刃具７１をセットする際やマグネットシリンダー７０の回転中等に、刃具７１の位置が幅方向に極微量ずれる場合がある。刃具７１の位置が幅方向にずれると、マグネットシリンダー７０の１回転目の刃跡の終端部分と、２回転目の刃跡の始端部分とが一直線に重ならず、図１６（ｂ）に示すように、粘着テープに２本の略平行な切れ目が入ってしまう。粘着テープに２本の切れ目が入ると、使用時にその部分が剥離、脱落し、ウエハを接着剤層に貼り付ける際に、粘着テープの脱落した小片がウエハと接着剤層との間に挟まり、ウエハクラックの原因となる。

そこで、本発明の目的は、使用時に、プリカット不良に起因する粘着テープの小片が発生しないウエハ加工用テープを提供することにある。

本発明のウエハ加工用テープは、長尺の離型フィルムと、前記離型フィルム上に設けられた円形状を有する複数の接着剤層と、各接着剤層を覆い、且つ、各接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた円形状を有する複数のラベル部と、各ラベル部の外側を囲むように、前記離型フィルムの長手方向に沿って連続的に設けられた１対のサイド部とを有する粘着テープとを備えたウエハ加工用テープであって、テープ上面側から見た前記サイド部の内側の輪郭形状は、前記ラベル部に対応した円弧形状部と、直線及び曲線から選択される２つの線分が交わるようにプリカット加工されることで形成された非直線形状部とが交互に連続した形状を有することを特徴とする。

前記非直線形状部は、（１）内側に凸又は凹の２つの円弧を繋ぎ合わせた形状、（２）２つの直線を繋ぎ合わせた形状であって、且つ、そのうち少なくとも１つの直線は前記離型フィルムの長手方向に対し１８０°以外の所定角度を有する形状、及び（３）内側に凸又は凹の１つの円弧と１つの直線とを繋ぎ合わせた形状のいずれかの形状を有することが好ましい。

本発明のウエハ加工用テープは、粘着テープのサイド部の円弧形状部間を繋ぐ部分が、直線及び曲線から選択される２つの線分が交わるようにプリカット加工されることで形成される。このため、２次プリカット工程において、仮にプリカット刃具の位置が幅方向に微量ずれたとしても、２つの線分の交差位置が変化するのみで、粘着テープの剥離、脱落の原因となる切れ目の発生が抑制される。よって、ウエハ加工用テープの使用時に、粘着テープの小片がウエハと接着剤層との間に挟まることによるウエハクラックの発生を回避することができる。

以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープ（ダイシング・ダイボンディングテープ）の平面図、図２は、図１の線Ａ−Ａによる断面図である。図１及び図２に示すように、ウエハ加工用テープ１０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２と、粘着テープ１３とを有しており、２段階のプリカット加工により形成される。

接着剤層１２は、離型フィルム１１上に設けられ、ウエハの形状に対応した円形ラベル形状を有している。粘着テープ１３は、接着剤層１２を覆い、且つ、接着剤層１２の周囲で離型フィルムに接触するように設けられた円形ラベル部１３ａと、この円形ラベル部１３ａの外側を囲むように、離型フィルム１１の長手方向に沿って連続的に設けられた１対のサイド部１３ｂとを有する。円形ラベル部１３ａは、ダイシング用のリングフレームに対応する形状を有する。そして、テープ上面側から見たサイド部１３ｂの内側の輪郭形状は、図１に示すように、円形ラベル部１３ａに対応した円弧形状部１４と、ウエハ加工テープ１０の内側に凸の２つの円弧を繋ぎ合わせた形状である非直線形状部１５ａとが交互に連続した形状を有している。

以下、上記構成のダイシング・ダイボンディングテープ１０の製造方法について、図３及び図４を用いて説明する。
まず、離型フィルム１１の全面に接着剤層１２を形成した後、図３に示すように、ウエハに対応した円形状に打ち抜く１次プリカット工程を実施する。この工程では、プリカット形状に対応する刃模様が表面に形成された１次プリカット用の平面刃具６１をマグネットシリンダー６０にセットし、回転するマグネットシリンダー６０を接着剤層１２に押圧することで、接着剤層１２を円形状に打ち抜き、接着剤層１２の不要部分を除去する。これにより、離型フィルム１１上に複数の円形状の接着剤層１２が形成される。

次に、円形状の接着剤層１２が形成された離型フィルム１１の全面に、粘着テープ１３を貼り合わせた後、図４に示すように、粘着テープ１３を所定形状に打ち抜く２次プリカット工程を実施する。この工程では、プリカット形状に対応する刃模様が表面に形成された２次プリカット用の平面刃具５１をマグネットシリンダー７０にセットし、回転するマグネットシリンダー７０を、所定の速度で送り出される粘着テープ１３に押圧させる。マグネットシリンダー７０の１回転毎に、１枚分の粘着テープ１３が所定形状に打ち抜かれ、粘着テープ１３が連続的にプリカットされる。本実施形態では、マグネットシリンダー７０の１回転目の刃跡の終端部分と２回転目の刃跡の始端部分とが、図５に示すように交差するよう形成された刃模様を有する平面刃具を使用する。これにより、粘着フィルムの円弧形状部１４間を繋ぐ部分に、図１に示した非直線形状部１５ａが形成される。

そして、粘着テープ１３の不要部分を除去することで、複数の円形ラベル部１３ａと、１対のサイド部１３ｂとが形成される。以上の工程によって、図１に示すウエハ加工用テープ１０を得ることができる。

以上のように、本実施形態のウエハ加工用テープ１０は、粘着テープ１３のサイド部１３ｂの円弧形状部１４間を繋ぐ非直線形状部１５ａが、内側に凸の２つの円弧が交わるようにプリカット加工されることで形成されるので、２次プリカット工程において、刃具５１の位置が幅方向に微量ずれたとしても、２つの円弧の交差位置が微量変化するのみで、粘着テープ１３の剥離、脱落の原因となるような切れ目が入ることがない。よって、ウエハ加工用テープの使用時に、粘着テープの小片がウエハと接着剤層との間に挟まることによるウエハクラックの発生を回避することができる。

本実施形態では、粘着テープ１３のサイド部１３ｂの円弧形状部１４間を繋ぐ部分を、ウエハ加工テープ１０の内側に凸の２つの円弧を繋ぎ合わせた形状としたが、直線及び曲線から選択される２つの線分が交わるようにプリカット加工されることで形成された非直線形状であればどのような形状であってもよい。例えば、非直線形状部１５ａに代えて、図６〜図１０に示す非直線形状部１５ｂ〜１５ｆを採用することができる。

図６（ａ）に示す非直線形状部１５ｂは、図６（ｂ）に示すような刃跡を形成する刃具によって形成され、内側に凹の２つの円弧を繋ぎ合わせた形状をなす。

図７（ａ）に示す非直線形状部１５ｃは、図７（ｂ）に示すような刃跡を形成する刃具によって形成され、２つの直線をつなぎ合わせた形状をなす。この例では、２つの直線が離型フィルムの長手方向に対し非平行であり、テープ内側に突出して所定角度を有するように２つの直線を繋ぎ合わせた形状を有する。

図８（ａ）に示す非直線形状部１５ｄは、図８（ｂ）に示すような刃跡を形成する刃具によって形成され、２つの直線をつなぎ合わせた形状をなす。この例では、２つの直線が離型フィルムの長手方向に対し非平行であり、テープ外側に突出して所定角度を有するように２つの直線を繋ぎ合わせた形状を有する。

なお、図７及び図８の例では、２つの直線が両方とも離型フィルムの長手方向に対し非平行である場合を示したが、２つの直線のうちいずれか１つが両方とも離型フィルムの長手方向に対し非平行であってもよい。

図９（ａ）に示す非直線形状部１５ｅは、図９（ｂ）に示すような刃跡を形成する刃具によって形成され、内側に凹の１つの円弧と１つの直線とを繋ぎ合わせた形状をなす。

図１０（ａ）に示す非直線形状部１５ｆは、図１０（ｂ）に示すような刃跡を形成する刃具によって形成され、内側に凸の１つの円弧と１つの直線とを繋ぎ合わせた形状をなす。

図６〜図１０に示すいずれの構成においても、図１に示す構成と同様の作用効果を奏する。

次に、本実施形態のウエハ加工用テープ１０の各構成要素について説明する。

（離型フィルム）
本発明のウエハ加工用テープ１０に用いられる離型フィルム１１としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系、ポリエチレン系、その他、離型処理がされたフィルム等周知のものを使用することができる。
離型フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、２５〜５０μｍが好ましい。

（接着剤層）
接着剤層１２は、半導体ウエハ等が貼合されダイシングされた後、チップをピックアップする際に、チップ裏面に付着しており、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。接着剤層１２としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール系樹脂から選択される少なくとも１種を含む粘接着剤等を好ましく使用することができる。この他、ポリイミド系樹脂やシリコーン系樹脂を使用することもできる。その厚さは適宜設定してよいが、５〜１００μｍ程度が好ましい。

（粘着テープ）
粘着テープ１３としては、特に制限はなく、ウエハをダイシングする際にはウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層から剥離できるよう低い粘着力を示すものであればよい。例えば、基材フィルムに粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。

粘着テープ１３の基材フィルムとしては、従来公知のものであれば特に制限することなく使用することができるが、後述の粘着剤層として放射線硬化性の材料を使用する場合には、放射線透過性を有するものを使用することが好ましい。

例えば、その材料として、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−１、ポリ−４−メチルペンテン−１、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、およびこれらの混合物を列挙することができる。また、基材フィルムはこれらの群から選ばれる２種以上の材料が混合されたものでもよく、これらが単層又は複層化されたものでもよい。
基材フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、５０〜２００μｍが好ましい。

粘着テープ１３の粘着剤層に使用される樹脂としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。
粘着剤層１３の樹脂には、アクリル系粘着剤、放射線重合性化合物、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製することが好ましい。粘着剤層１３の厚さは特に限定されるものではなく適宜に設定してよいが、５〜３０μｍが好ましい。

放射線重合性化合物を粘着剤層に配合して放射線硬化により接着剤層から剥離しやすくすることができる。その放射線重合性化合物は、例えば光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分量化合物が用いられる。

具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジアクリレートや、オリゴエステルアクリレート等が適用可能である。

また、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなど）を反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。
粘着剤層には、上記の樹脂から選ばれる２種以上が混合されたものでもよい。

光重合開始剤を使用する場合、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェ
ニルプロパン等を使用することができる。これら光重合開始剤の配合量はアクリル系共重合体１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。

次に、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープの平面図である。 図１に示すウエハ加工用テープの線Ａ−Ａによる断面図である。 本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープの１次プリカット工程を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープの２次プリカット工程を示す斜視図である。 非直線形状部の刃跡を示す平面図である。 （ａ）は、本発明のウエハ加工用テープの第１の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は、第１の変形例の非直線形状部の刃跡を示す平面図である。 （ａ）は、本発明のウエハ加工用テープの第２の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は、第２の変形例の非直線形状部の刃跡を示す平面図である。 （ａ）は、本発明のウエハ加工用テープの第３の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は、第３の変形例の非直線形状部の刃跡を示す平面図である。 （ａ）は、本発明のウエハ加工用テープの第４の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は、第４の変形例の非直線形状部の刃跡を示す平面図である。 （ａ）は、本発明のウエハ加工用テープの第５の変形例を示す平面図であり、（ｂ）は、第５の変形例の非直線形状部の刃跡を示す平面図である。 従来のウエハ加工用テープの平面図である。 図１１に示す従来のウエハ加工用テープの線Ｂ−Ｂによる断面図である。 従来のウエハ加工用テープがロール状に巻かれた状態を示す斜視図である。 従来のウエハ加工用テープの１次プリカット工程を示す斜視図である。 従来のウエハ加工用テープの２次プリカット工程を示す斜視図である。 （ａ）及び（ｂ）は、従来のウエハ加工用テープの不具合を説明するための図であり、（ａ）は正常な刃跡を示し、（ｂ）は異常な刃跡を示す。

符号の説明

１０：ウエハ加工用テープ
１１：離型フィルム
１２：接着剤層
１３：粘着テープ
１３ａ：粘着テープの円形ラベル部
１３ｂ：粘着テープのサイド部
１４：円弧形状部
１５ａ〜１５ｆ：非直線形状部
５１，６１ 平面刃具

Claims (4)

1. 長尺の離型フィルムと、
   前記離型フィルム上に設けられた円形状を有する複数の接着剤層と、
   各接着剤層を覆い、且つ、各接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた円形状を有する複数のラベル部と、各ラベル部の外側を囲むように、前記離型フィルムの長手方向に沿って連続的に設けられた１対のサイド部とを有する粘着テープと
   を備えたウエハ加工用テープであって、
   テープ上面側から見た前記サイド部の内側の輪郭形状は、前記ラベル部に対応した円弧形状部と、直線及び曲線から選択される２つの線分が交わるようにプリカット加工されることで形成された非直線形状部とが交互に連続した形状を有することを特徴とするウエハ加工用テープ。
2. 前記非直線形状部は、内側に凸又は凹の２つの円弧を繋ぎ合わせた形状を有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工用テープ。
3. 前記非直線形状部は、２つの直線を繋ぎ合わせた形状であって、且つ、前記２つの直線のうち少なくとも１つは前記離型フィルムの長手方向に対し非平行で所定角度を有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工用テープ。
4. 前記非直線形状は、内側に凸又は凹の１つの円弧と１つの直線とを繋ぎ合わせた形状であることを特徴とするウエハ加工用テープ。

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