JP5158906B1 - 接着シート - Google Patents

Abstract

【課題】接着剤層と粘着フィルムとの間にボイドが発生するのを抑制して、ウエハに対する貼合不良を低減することができ、かつエキスパンド量及び／又は速度を大きくした場合であっても、粘着フィルムが裂けることなく良好にエキスパンドすることができる接着シートを提供する。
【解決手段】長尺の離型フィルム１１と、離型フィルム１１上にラベル状に設けられた接着剤層１２と、接着剤層１２を覆い、かつ接着剤層１２の周囲で離型フィルム１１に接触するように設けられたラベル部１３ａと、ラベル部１３ａの外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する粘着フィルム１３とを有し、ロール状に巻かれた接着シート１０であって、離型フィルム１１を貫く貫通孔１４が、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側であってラベル部１３ａの内側に対応する部分を含む位置に設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、接着シートに関し、特に、ダイシングテープとダイボンディングフィルムの２つの機能を有する接着シートに関する。

近時、半導体ウエハを個々のチップに切断分離（ダイシング）する際に半導体ウエハを固定するためのダイシングテープと、切断された半導体チップをリードフレームやパッケージ基板等に接着するため、又は、スタックドパッケージにおいては、半導体チップ同士を積層、接着するためのダイボンディングフィルム（ダイアタッチフィルムともいう）との２つの機能を併せ持つ接着シートが開発されている。

このような接着シートとしては、ウエハへの貼り付けや、ダイシングの際のリングフレームへの取り付け等の作業性を考慮して、プリカット加工が施されたものがある（例えば、特許文献１参照）。

プリカット加工された接着シートの例を、図１１及び図１２に示す。図１１は、接着シートをロール状に巻き取った状態を示す図であり、図１２（ａ）は、接着シートの粘着フィルム５３側から見た平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の線Ｂ−Ｂによる断面図である。接着シート５０は、離型フィルム５１と、接着剤層５２と、粘着フィルム５３とからなる。接着剤層５２は、ウエハの形状に対応する円形に加工されたものであり、円形ラベル形状を有する。粘着フィルム５３は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示のように、円形ラベル部５３ａと、その外側を囲むような周辺部５３ｂとを有する。接着剤層５２と粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａとは、その中心を揃えて積層され、また、粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａは、接着剤層５２を覆い、かつ、その周囲で離型フィルム５１に接触している。粘着フィルム５３は、一般に基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなる。

ウエハをダイシングする際には、積層状態の接着剤層５２及び粘着フィルム５３から離型フィルム５１を剥離し、図１３に示すように、接着剤層５２上に半導体ウエハＷの裏面を貼り付け、粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａの外周部にダイシング用リングフレームＦを粘着固定する。この状態で半導体ウエハＷをダイシングし、その後、必要に応じて粘着フィルム５３に紫外線照射等の硬化処理を施して半導体チップをピックアップする。このとき、粘着フィルム５３は、接着剤層５２から剥離し、半導体チップは裏面に接着剤層５２が付着した状態でピックアップされる。半導体チップの裏面に付着した接着剤層５２は、その後、半導体チップをリードフレームやパッケージ基板、あるいは他の半導体チップに接着する際に、ダイボンディングフィルムとして機能する。

ところで、一般的に粘着フィルム５３は、接着剤層５２を覆い、かつ、その周囲で離型フィルム５１に接触しているが、接着剤層５２の厚みにより、離型フィルム５１と粘着フィルム５３の間にごくわずかな空隙が生じ、空気（エア）が残る場合がある。この現象は６０μｍ以上の厚い接着剤層５２や、粘着フィルム５３の弾性率が高い場合にはより顕著である。このような離型フィルム５１と粘着フィルム５３の間のエアは、移動して円形ラベル部５３ａの外側へと逃げていくこともあり、粘着フィルム５３の物性にも大きな影響は与えないため、単独では問題にならない。

しかしながら、接着シート５０は、保管時及び運送時には低温状態（例えば−２０℃〜５℃）におかれ、半導体ウエハＷへ貼合する際は加熱され、半導体ウエハＷを加工する際の使用時には常温状態におかれる等、温度変化の大きい特殊な環境下におかれる。このような温度変化によって離型フィルム５１と、接着剤層５２と、粘着フィルム５３の寸法変化が大きくなり、接着剤層５２と粘着フィルム５３との間にエアが浸入して空隙（ボイド）が発生してしまうことがある。ボイドは半導体ウエハＷに対する貼合不良を生じさせ、その後の半導体ウエハＷのダイシング工程やチップのピックアップ工程、ボンディング工程での歩留まりの低下をもたらすおそれがある。なお、本明細書において、エアとは、粘着フィルムと離型フィルム、もしくは接着剤層と離型フィルムの間の空気をいい、ボイドとは、接着剤層と粘着フィルムの間の空気をいう。

ボイドは上記のように歩留まりを低下させ、しかも、接着剤層５２と粘着フィルム５３の間に生じることから抜くことが困難であるため、接着シート５０において非常に重大な問題である。また、エアは、ボイド発生の原理から、多ければ多いほどボイドに発展する可能性が高くなるため、低減させることが好ましい。

ボイドを抑制する対策としては、粘着フィルムの基材フィルムと粘着剤層を厚み方向に貫くように貫通孔が設けられた積層シートが開示されている（例えば、特許文献２の図１および図２参照）。このように粘着フィルムに貫通孔に設けた構成にすれば、接着剤層と粘着フィルムとの間のボイドが発生しなくなり、半導体ウエハに対する貼合不良の効果的な抑制が期待できる。

特開２００７−２１７３号公報 特開２００８−１５３５８７号公報

ところで、接着剤層付きのチップを粘着剤層からピックアップするピックアップ工程前に、チップ同士の間隔を広げ、ＣＣＤカメラ等によるチップの認識性を高めるとともに、ピックアップの際に隣接するチップ同士が再癒着するのを防止するため、粘着フィルムを周方向に引き伸ばすエキスパンド工程が行われる。エキスパンド工程においては、より確実に再癒着を防止するため、あるいはタクトタイムを短縮するため、エキスパンド量及び／又はエキスパンド速度を大きくしたい場合がある。

しかしながら、特許文献２に記載の接着シートでは、粘着フィルムに貫通孔が設けられているため、エキスパンド量及び／又はエキスパンド速度を大きくした場合、該貫通孔を起点として、粘着フィルムが裂けてしまうという問題があった。特に、ボイド発生の原理から、接着剤層の外周縁に貫通孔を設けることは最も効果的であり、特許文献２に記載のウエハ加工テープでは、貫通孔は、粘着フィルムを貫くように接着剤層の外周縁部に設けられているが、接着剤層の積層された範囲と粘着フィルム単独の範囲では、エキスパンド時の拡張性が異なり、接着剤層の外周縁は拡張の負荷が最もかかるため、エキスパンドの際に、粘着フィルムが裂けやすくなっている。

そこで、本発明の目的は、接着剤層と粘着フィルムとの間にボイドが発生するのを抑制して、半導体ウエハに対する貼合不良を低減することができ、かつエキスパンド量及び／又はエキスパンド速度を大きくした場合であっても、粘着フィルムが裂けることなく良好にエキスパンドすることができる接着シートを提供することにある。

上述の課題を解決するため、本発明による接着シートは、長尺の離型フィルムと、前記離型フィルム上にラベル状に設けられた接着剤層と、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられたラベル部と、前記ラベル部の外縁の外側を囲むような周辺部とを有する粘着フィルムと、を有した、ロール状に巻かれた接着シートであって、前記離型フィルムを貫く貫通孔が、半導体ウエハをダイシングする際に前記半導体ウエハが貼合される位置である前記接着剤層の被着体貼合予定部分より外側であって前記ラベル部の外縁の内側に対応する部分を含む位置に設けられており、前記貫通孔は、前記粘着フィルムを貫通していないことを特徴とする。

また、上記接着シートは、前記離型フィルムと前記粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下であることが好ましい。

上記接着シートは、前記貫通孔が、前記接着剤層の中心点を通りかつ前記離型フィルムの長手方向と垂直な直線を基準に、前記接着剤層の中心点から±６０°以内の範囲に設けられていることが好ましい。

また、上記接着シートは、前記離型フィルムの長手方向に沿って前記接着剤層の外縁の外側に設けられた支持部材を有することが好ましい。

上記接着シートは、前記接着剤層が、前記離型フィルムを剥離した後に前記接着剤層を貼り付ける被着体に対応する平面形状を有していることが好ましい。

また、上記接着シートは、前記粘着フィルムが、前記離型フィルムを剥離した後に前記粘着フィルムを貼り付ける被着体に対応する平面形状を有していることが好ましい。

また、上記接着シートは、前記貫通孔が、前記接着剤層の外縁部に接する部分を含む位置に設けられていることが好ましい。

本発明によれば、接着剤層と粘着フィルムとの間にボイドが発生するのを抑制して、半導体ウエハに対する貼合不良を低減することができ、かつエキスパンド量及び／又はエキスパンド速度を大きくした場合であっても、粘着フィルムが裂けることなく良好にエキスパンドすることができる。

（ａ）は、本発明の実施形態に係る接着シートの構造を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ断面図である。 本発明の実施形態に係る接着シートの変形例の構造を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態に係る接着シートの他の変形例の構造を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態に係る接着シートの他の変形例の構造を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態に係る接着シートの他の変形例の構造を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態に係る接着シートの他の変形例の構造を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態に係る接着シートの他の変形例の構造を模式的に示す平面図である。 （ａ）は、本発明の他の実施形態に係る接着シートの構造を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ断面図である。 本発明の実施例・比較例に係る接着シートの貫通孔の形状を示す図である。 本発明の実施例・比較例に係る接着シートの貫通孔の位置を示す図である。 従来の接着シートがロール状に巻き取られた様子を模式的に示す斜視図である。 （ａ）は、従来の接着シートの構造を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。 従来の接着シートとダイシング用リングフレームとが貼り合わされた状態を示す断面図である。

［第１の実施形態］
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る接着シートの離型フィルム側から見た平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）の線Ａ−Ａによる断面図である。

図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、接着シート１０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２と、粘着フィルム１３とを有し、ダイシングテープとダイボンディングフィルムの２つの機能を有するウエハ加工用テープである。

接着剤層１２は、離型フィルム１１の第１の面上に設けられ、ウエハの形状に対応した円形ラベル形状を有している。粘着フィルム１３は、接着剤層１２を覆い、かつ、接着剤層１２の周囲で離型フィルム１１に接触するように設けられた円形ラベル部１３ａと、この円形ラベル部１３ａの外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する。周辺部１３ｂは、円形ラベル部１３ａの外側を完全に囲む形態と、図示のような完全には囲まない形態とを含む。円形ラベル部１３ａは、ダイシング用のリングフレームに対応する形状を有する。

以下、本実施形態の接着シート１０の各構成要素について詳細に説明する。

（離型フィルム）
本発明の接着シート１０に用いられる離型フィルム１１としては、離型フィルム１１と粘着フィルム１３の線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下となるようなものであれば特に限定されるものではなく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系、ポリエチレン系、その他、離型処理がされたフィルム等周知のものを使用することができる。離型フィルム１１の厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、２５〜７５μｍが好ましい。

図１に示すように、離型フィルム１１には、離型フィルム１１を貫く円形の貫通孔が、接着剤層１２の外縁部に接するように、設けられている。貫通孔１４は、接着剤層１２の中心点を通りかつ離型フィルム１１の長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層１２の中心点から±６０°以内の範囲（図１において、線ｂ−ｃの内側の領域Ｒおよび線ｄ−ｅの内側の領域Ｒ）に設けられている。

貫通孔１４の位置は、接着剤層１２の外縁部に接する位置に限定されるものではなく、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側であって円形ラベル部１３ａの内側に対応する部分を含む位置であればよい。例えば、図２に示すように、離型フィルム１１における接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５の外縁部に対応する位置から放射線状に、貫通孔１４を設けてもよい。なお、本変形例では、円形の貫通孔１４を放射線状に配列するようにしたが、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側であって円形ラベル部１３ａの内側に対応する部分を含む位置に、ランダムに貫通孔１４を設けてもよい。

ここで、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側であって円形ラベル部１３ａの内側に対応する部分は、離型フィルム１１において接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５の外縁部と対向する位置から離型フィルム１１において円形ラベル部１３ａの外縁部と対向する位置までの領域Ｒ’である。

また、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５は、接着シート１０を使用して半導体ウエハをダイシングする際に、半導体ウエハが貼合されるべき位置であり、例えば、接着剤層１２の外縁部から１０ｍｍ〜２５ｍｍ内側の位置である。

また、貫通孔１４を設ける位置は、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側であって円形ラベル部１３ａの内側に対応する部分すなわち領域Ｒ’を含む位置であればよいため、図２に示すように、領域Ｒ’内及び領域Ｒ’からはみ出た位置に貫通孔が設けられていてもよい。

貫通孔は、半導体ウエハに対する貼合不良を生じさせるボイドそのものやボイドへと発展する前段階でのエアを排出するものであり、その目的から接着剤層１２の半導体ウエハ（被着体）貼合予定部分１５より外側に排出する必要がある。接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より内側に対応する部分のみ、あるいは粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａの外側に対応する部分のみに貫通孔１４を設けた場合、接着剤層１２の厚みにより生じた離型フィルム１１と粘着フィルム１３の間の空隙に残った空気（エア）や、温度変化に伴い離型フィルム１１と、接着剤層１２と、粘着フィルム１３の寸法が変化することにより、接着剤層１２と粘着フィルム１３との間にエアが浸入して発生した空隙（ボイド）を、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側に排出することができないため、接着剤層１２の被着体貼合予定部分１５より外側であって円形ラベル部１３ａの内側に対応する部分を含む位置に、貫通孔１４を設ける必要がある。

また、接着剤層１２の外側に対応する位置に設けると、エアが進行する方向を接着剤層１２の外側に誘導できるので、接着剤層１２と粘着フィルム１３との間へエアが浸入してボイドへと発展する可能性を限りなく小さくできる。さらに、接着剤層１２の外縁部に接する部分に設ければ、エアがボイドへと発展する可能性を小さくできるだけでなく、接着剤層１２の外縁部に生じたエアを直ぐに排出でき、エアそのものの低減を図れるので、より効果が高い。したがって、貫通孔１４の個数を最小限とする場合は、接着剤層１２の外縁部に接する部分のみに設けることが好ましい。

また、貫通孔１４を設ける位置は、接着剤層１２の中心点を通りかつ離型フィルム１１の長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層１２の中心点から±６０°以内の範囲に限定されるものではなく、図３に示すように、直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±９０°全ての範囲に設けるようにしてもよい。しかしながら、接着シート１０は、ロール状に巻かれて製品となることから、離型フィルム１１の短手方向に貫通孔があるとエアが抜けやすく、ボイドの抑制効果が大きいため、貫通孔１４は、直線ａを基準に、接着剤層１２の中心点から±６０°以内の範囲にあることが好ましく、±４５°以内の範囲にあることがより好ましい。

貫通孔１４の形状は、ボイドが抜ければ円形に限定されるものではなく、三角形、ひし形、線形等であってもよいが、接着剤層１２の汚染防止の観点から線形が好ましい。線形の貫通孔は、例えば、図４に示すように、直線状の貫通孔１４１であってもよいし、図５に示すように波型の貫通孔１４２であってもよく、さらには、図６に示すようにＵ字型の貫通孔１４３であってもよいし、図７に示すようにＶ字型の貫通孔１４４であってもよい。

貫通孔１４の向きは設計事項であるが、発明者らは実験により以下の方がよいことを見出した。すなわち、貫通孔が円形もしくは正多角形の場合は、任意でよい。貫通孔が「円形もしくは正多角形」以外の場合、および直線もしくは波形の場合は、貫通孔の長手方向が接着剤層１２や粘着フィルム１３のラベルの円周の接線となるべく平行になるように設定するとよい。貫通孔がＵ字型、Ｖ字型の場合は、それぞれ上記ラベルの円周の外側に凸になるように設定するとよい。これにより、ボイドが外側に向けて排出されやすくなる。

なお、図４および図５においては、貫通孔１４１，１４２の長手方向が接着剤層１２や粘着フィルム１３のラベルの円周の接線と平行になるように設けたが、接着剤層１２や粘着フィルム１３のラベルの円周の接線と垂直になるようにしてもよく、この場合、領域Ｒ’を含む範囲で連続的に長く設けてもよい。

さらに、貫通孔１４は、上述の位置、形状を適宜組み合わせて設けてもよい。

貫通孔１４の最大幅は、好ましくは５０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。０．０１ｍｍ未満ではボイドが抜けにくく、５０ｍｍより大きいと離型フィルム１１の外側からエアが進入しやすくなり逆にボイドを誘発してしまう危険性がある。最大幅とは、貫通孔が線形の場合、起点から終点までの長さであり、線形以外の場合は、孔の内側でもっとも距離が長い部分をいう。

貫通孔１４の個数は、粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａ1つに対して、好ましくは１個以上１５０個以内であり、より好ましくは６個以上１００個以内、さらに好ましくは８個以上６４個以内である。１５０個より多いと離型フィルム１１の外側からエアが進入しやすくなり逆にボイドを誘発してしまう危険性がある。

また、粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａ1つに対して、貫通孔１４の個数が偶数の場合には、接着剤層１２の中心点に対して点対称となるように配置されていると、エアが抜けやすく、ボイドの抑制効果が大きい。

貫通孔１４の最大幅と個数に相関関係はないが、貫通孔１４を設ける場所が接着剤層１２の外縁部に対応する位置にあり、特に接着剤層１２の中心点を通りかつ離型フィルム１１の長手方向と垂直な直線ａを基準に±６０°以内の範囲内にあることが好ましいことを考慮すると、粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａ1つに対して最大幅×個数＜接着剤層の外周であることが好ましく、最大幅×個数＜接着剤層の外周×２/３がより好ましい。

（接着剤層）
本発明の接着剤層１２は、上述のように、離型フィルム１１上に形成され、ウエハの形状に対応する円形ラベル形状を有する。ウエハの形状に対応する形状は、ウエハの形状と略同じ大きさで略同じ形状の他、ウエハの形状と略同じ形状でウエハの大きさより大きい相似形も含む。また、必ずしも円形でなくてもよいが、円形に近い形状が好ましく、円形であることがさらに好ましい。

接着剤層１２は、半導体ウエハが貼合されダイシングされた後、チップをピックアップする際に、チップ裏面に付着しており、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。接着剤層１２としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール系樹脂から選択される少なくとも１種を含む粘接着剤等を好ましく使用することができる。この他、ポリイミド系樹脂やシリコーン系樹脂を使用することもできる。その厚さは適宜設定してよいが、５〜１００μｍ程度が好ましい。

（粘着フィルム）
本発明の粘着フィルム１３は、上述のように、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形ラベル部１３ａと、その外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する。このような粘着フィルムは、プリカット加工により、フィルム状粘着剤から円形ラベル部１３ａの周辺領域を除去することで形成することができる。ダイシング用のリングフレームの形状に対応する形状は、リングフレームの内側と略同じ形状でリングフレーム内側の大きさより大きい相似形である。また、必ずしも円形でなくてもよいが、円形に近い形状が好ましく、円形であることがさらに好ましい。

粘着フィルム１３としては、離型フィルム１１と粘着フィルム１３の線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下となるようなものであれば、特に制限はなく、ウエハをダイシングする際にはウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層から剥離できるよう低い粘着力を示すものであればよい。例えば、基材フィルムに粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。

離型フィルム１１と粘着フィルム１３の線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下であると、冷蔵保管〜常温で、離型フィルム１１と粘着フィルム１３の寸法変化が生じても、両者の寸法変化の差が小さく密着性が保持されるため、粘着テープ１３と離型フィルム１１とが剥がれてエアが入りやすい状態になってしまうのを防止することができる。そのため、貫通孔１４によるボイドの排出効果との相乗効果により、ボイドもエアもない最良の状態で製品を保管することができる。

一方、離型フィルム１１と粘着フィルム１３の線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋを超えると、冷蔵保管〜常温での寸法変化の差が大きく、粘着テープ１３と離型フィルム１１とが剥がれやすくなる。そうすると、ボイドを排出すべき貫通孔を通して、逆に外部からエアが浸入することがある。ただし、外部からエアが浸入しても、貫通孔がエアの進行を接着剤層１２の外側に誘導する位置にあれば、接着シート１０が使用される常温状態では密着性が回復するため、エアは接着剤層１２の外側に排出され、ボイドとして残存することはないので問題ない。仮にエアが残ったとしても、貫通孔１４によりエアの進行が接着剤層１２の外側に誘導されているため、粘着テープ１３と離型フィルム１１間に留まることになり、粘着テープ１３と離型フィルム１１間のエアは半導体ウエハへの貼合不良は引き起こさないので問題ない。また、貫通孔１４がエアの進行を接着剤層１２の外側に誘導する位置にない場合は、ボイドが生じやすい状態であるが、ボイドが発生しても貫通孔１４から排出されればよいため、許容範囲内である。

粘着フィルム１３の基材フィルムとしては、従来公知のものであれば特に制限することなく使用することができるが、後述の粘着剤層として放射線硬化性の材料を使用する場合には、放射線透過性を有するものを使用することが好ましい。

例えば、その材料として、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−１、ポリ−４−メチルペンテン−１、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、及びこれらの混合物を列挙することができる。また、基材フィルムはこれらの群から選ばれる２種以上の材料が混合されたものでもよく、これらが単層又は複層化されたものでもよい。
基材フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、５０〜２００μｍが好ましい。

粘着フィルム１３の粘着剤層に使用される樹脂としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。粘着剤層１３の樹脂には、アクリル系粘着剤、放射線重合性化合物、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製することが好ましい。粘着剤層１３の厚さは特に限定されるものではなく適宜に設定してよいが、５〜３０μｍが好ましい。

放射線重合性化合物を粘着剤層に配合して放射線硬化により接着剤層から剥離しやすくすることができる。その放射線重合性化合物は、例えば光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分量化合物が用いられる。

具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレートや、オリゴエステルアクリレート等が適用可能である。

また、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなど）を反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。粘着剤層は、上記の樹脂から選ばれる２種以上が混合されたものでもよい。

光重合開始剤を使用する場合、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等を使用することができる。これら光重合開始剤の配合量はアクリル系共重合体１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。

次に、本実施の形態による接着シート１０の製造方法について説明する。

まず、ウエハの形状に対応した円形ラベル形状を有する接着剤層１２が設けられた長尺状の離型フィルム１１に、長尺状の粘着フィルム１３をラミネートすることにより貼り合わせた積層体を製造する。なお、円形ラベル形状を有する接着剤層１２は、離型フィルム１１に接着剤ワニスを塗工して乾燥させ、円形に打ち抜き、円形部分の周辺の不要部分を離型フィルム１１から剥離することによりプリカット加工を行って形成するとよい。

次に、上記積層体の粘着フィルム１３側から離型フィルム１１の厚さ方向の途中まで刃型で切り込みを入れ、円形ラベル部１３ａと周辺部１３ｂを残して粘着フィルム１３を離型フィルム１１から剥離することによりプリカット加工を行う。

貫通孔は、どのように形成してもよいが、接着剤層または／および粘着フィルムのプリカットと同時に形成することが好ましい。プリカット用の刃に貫通孔１４に対応した刃を設けることで、プリカットと同時に形成でき、工程を単純化することができる。また、接着剤層１２のプリカットと同時に行うと、後に行われる粘着フィルム１３のプリカットのときにかかる切込みの押し圧やパスライン上のニップロールなどを利用して、エアを抜くこともできる。

［第２の実施形態］
次に、第２の実施形態について説明する。本実施の形態にかかる接着シート１０’は、支持部材１６を有している点が異なる他は、第１の実施形態において説明したのと同様の構成、製造方法を適用することができる。

以下、第１の実施形態と異なる点について、説明する。図８（ａ）に示すように、支持部材１６は、離型フィルム１１の短手方向両端部に設けられている。

支持部材１６の厚さとしては、離型フィルム１１上における、接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａとの積層部分と、粘着フィルム１３の周辺部１３ｂとの段差に相当する厚さ以上、すなわち接着剤層１２の厚さ以上であればよい。支持部材がこのような厚さを有することで、接着シート１０を巻き取ったときに、粘着フィルム１３とその表面に重なる離型フィルム１１の第２の面１１ｂとの間に空間が形成されるので、接着剤層と粘着フィルムとの間に発生したボイドが抜けやすくなる。

なお、支持部材１６は、離型フィルム１１の短手方向両端部に限定されることなく、接着剤層１２の外側に対応する位置であればどこに設けられてもかまわないが、ロール状に巻かれて製品となった際に、接着剤層１２と粘着フィルム１３の円形ラベル部１３ａや支持部材１６の積層部分と、粘着フィルム１３の周辺部１３ｂとの段差が重なりあい、柔軟な接着剤層１２表面に段差が転写されるのを防止する観点からは、離型フィルム１１の短手方向両端部から接着剤層１２までの領域Ｒ”内に設けることが好ましい。

また、離型フィルム１１の接着剤層１２及び粘着フィルム１３が設けられた第１の面とは反対の第２の面に支持部材１６を設けることが好ましい。離型フィルム１１の第２の面であって接着剤層１２の外側に対応する位置に設けた場合、プリカット加工のときにエアを抜き、利用し終わり不要となった貫通孔１４を支持部材でふさぐこともできる。

支持部材１６は、離型フィルム１１の短手方向両端部に設ける場合、離型フィルム１１の長手方向に沿って、断続的又は連続的に設けることができるが、転写痕の発生をより効果的に抑制する観点からは、基材フィルム１１の長手方向に沿って連続的に設けることが好ましい。

支持部材１６としては、例えば、樹脂フィルム基材に粘接着剤を塗布した粘接着テープを好適に使用することができる。このような粘接着テープを、離型フィルム１１の第２の面の両端部分の所定位置に貼り付けることで、本実施形態の接着シート１０’を形成することができる。粘接着テープは、一層のみを貼り付けてもよいし、薄いテープを積層させてもよい。

粘接着テープの基材樹脂としては、特に限定はないが、耐熱性、平滑性、及び、入手し易さの点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、及び高密度ポリエチレンから選択されることが好ましい。粘接着テープの粘着剤の組成及び物性については、特に限定はなく、接着シート１０の巻き取り工程及び保管工程において、離型フィルム１１から剥離しないものであればよい。

＜実施例＞
以下、本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

下記のように粘着剤組成物および接着剤組成物を調製し、以下の方法で接着シートを作製し、その性能を評価した。

（粘着剤組成物の調製）
［粘着剤組成物１］
溶媒のトルエン４００ｇ中に、イソオクチルアクリレート３４０ｇ、メチルメタアクリレート１３ｇ、ヒドロキシアクリレート６０ｇ、メタクリル酸０．５ｇ、重合開始剤としてベンゾイルペルオキシドの混合液を、適宜、滴下量を調整して加え、反応温度および反応時間を調整し、重量平均分子量８０万の化合物（１）の溶液を得た。続いて、化合物（１）の溶液に、溶液中の化合物（１）１００重量部に対してポリイソシアネートとしてコロネートＬ（日本ポリウレタン工業株式会社製）を２重量部加え、溶媒として酢酸エチルを３００重量部加え、攪拌して粘着剤組成物１を得た。

［粘着剤組成物２］
上記化合物（１）の溶液に、放射性硬化性炭素−炭素二重結合および官能基を有する化合物として２−イソシアネートエチルメタアクリレート２．５ｇ、重合禁止剤としてハイドロキノンを、適宜、滴下量を調整して加え、反応温度および反応時間を調整して放射性硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物（２）の溶液を得た。ＤＳＣにて化合物（２）のＴｇを測定したところ、−４９℃であった。続いて、化合物（２）の溶液に、溶液中の化合物（２）１００重量部に対してポリイソシアネートとしてコロネートＬを２重量部加え、光重合開始剤としてイルガキュアー１８４（日本チバガイギー社製）を１重量部、溶媒として酢酸エチルを３００重量部加え、攪拌して粘着剤組成物２を得た。

（粘着フィルムの作製）
［粘着フィルム１Ａ］
離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離フィルムに粘着剤組成物１を乾燥膜厚が２５μｍになるように塗工し、１１０℃で３分間乾燥した後、１８０℃で押出しした厚さ８０μｍの低密度ポリエチレンフィルムと貼り合わせて線膨張係数が２６０ｐｐｍ／Ｋの粘着フィルム１Ａを作製した。線膨張係数は熱機械的分析装置（理学電気株式会社製）を用いて以下の条件で測定し、−２０℃〜＋２０℃の範囲の線膨張率を読み取った。≪測定条件≫
機器：理学電気株式会社製ＴＭＡ８３１０
温度範囲：−３０〜５０℃
昇温速度：５℃/ｍｉｎ
測定荷重：４９ｍＮ
雰囲気ガス：Ｎ２

［粘着フィルム１Ｂ］
離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離フィルムに粘着剤組成物２を乾燥膜厚が１０μｍになるように塗工し、１１０℃で３分間乾燥した後、１８０℃で押出しした厚さ８０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルムと貼り合わせて線膨張係数が３００ｐｐｍ／Ｋの粘着フィルム１Ｂを作製した。線膨張係数は、上記と同様に測定した。

［粘着フィルム１Ｃ］
離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離フィルムに粘着剤組成物１を乾燥膜厚が１０μｍになるように塗工し、１１０℃で３分間乾燥した後、１７０℃で押出しした厚さ１００μｍの塩ビフィルムと貼り合わせて線膨張係数が３８０ｐｐｍ／Ｋの粘着フィルム１Ｃを作製した。線膨張係数は、上記と同様に測定した。

（離型フィルム）
［離型フィルム２Ａ］
厚さ３８μｍの離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。線膨張係数を、上記粘着フィルムの線膨張係数の測定と同様に熱機械的分析装置（理学電気(株)製）で測定したところ、６０ｐｐｍ／Ｋであった。

［離型フィルム２Ｂ］
厚さ３８μｍの離型処理したポリプロピレンフィルムを用いた。線膨張係数を、上記粘着フィルムの線膨張係数の測定と同様に熱機械的分析装置（理学電気(株)製）で測定したところ、１２０ｐｐｍ／Ｋであった。

（接着剤組成物の調製）
［接着剤組成物］
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（エポキシ当量１９７、分子量１２００、軟化点７０℃）１５質量部、アクリル樹脂ＳＧ−Ｐ３（ナガセケムテックス株式会社製、質量平均分子量：８５万、ガラス転移温度１２℃）７０質量部、硬化剤としてフェノールノボラック樹脂（水酸基当量１０４、軟化点８０℃）１５質量部、促進剤としてキュアゾール２ＰＺ（四国化成株式会社製、商品名：２−フェニルイミダゾール）１部からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて９０分混練し、接着剤組成物を得た。

（接着剤層の形成）
［接着剤層Ａ］
上記接着剤組成物を、乾燥後の膜厚が４０μｍとなるように、離型フィルム２Ａまたは離型フィルム２Ｂ上に塗布し、１１０℃で１分間加熱乾燥して、Ｂステージ状態（熱硬化性樹脂の硬化中間状態）の塗膜を形成し、接着剤層３Ａを得て、冷蔵保管した。

［接着剤層Ｂ］
上記接着剤組成物を、乾燥後の膜厚が１２０μｍとなるように、離型フィルム２Ａまたは離型フィルム２Ｂ上に塗布し、１１０℃で１分間加熱乾燥して、Ｂステージ状態（熱硬化性樹脂の硬化中間状態）の塗膜を形成し、接着剤層３Ｂを得て、冷蔵保管した。

（接着シートの作製）
冷蔵保管していた接着剤層３Ａが形成された離型フィルム２Ａを常温に戻し、離型フィルム２Ａへの切り込み深さが１５μｍ以下になるように調整して接着剤層３Ａを直径２２０ｍｍ（円周約６９１ｍｍ）の円形にプリカット加工した。その後、接着剤層３Ａと逆側から図９（ａ）の形状の貫通孔を離型フィルム２Ａにおける図１０（ａ）に示す位置に３２個設け、接着剤層３Ａの不要部分を除去し、粘着フィルム１Ａをその粘着剤層が接着剤層３Ａと接するように、離型フィルム２Ａに室温でラミネートした。次に粘着フィルム１Ａに対して、離型フィルム２Ａへの切り込み深さが１５μｍ以下となるように調節して、接着剤層と同心円状に直径２７０ｍｍの円形プリカット加工を行い、実施例１の接着シートを作製した。

実施例１と同様の方法で、下記表３に示す組合せにて、実施例１４にかかる接着シートを作製した。

冷蔵保管していた接着剤層３Ａが形成された離型フィルム２Ｂを常温に戻し、離型フィルム２Ｂへの切り込み深さが１５μｍ以下になるように調整して接着剤層３Ａを直径２２０ｍｍ（円周約６９１ｍｍ）の円形にプリカット加工をすると同時に、図９（ｂ）の形状の貫通孔を離型フィルム２Ｂにおける図１０（ｂ）に示す位置に６個設けた。その後、接着剤層３Ａの不要部分を除去し、粘着フィルム１Ｂをその粘着剤層が接着剤層３Ａと接するように、離型フィルム２Ｂに室温でラミネートした。次に粘着フィルム１Ｂに対して、離型フィルム２Ｂへの切り込み深さが１５μｍ以下となるように調節して、接着剤層と同心円状に直径２７０ｍｍの円形プリカット加工し、実施例２の接着シートを作製した。

実施例２と同様の方法で、下記表１〜３に示す組合せにて、実施例３〜１３、１５〜１９にかかる接着シートを作製した。

冷蔵保管していた接着剤層３Ａが形成された離型フィルム２Ｂを常温に戻し、離型フィルム２Ｂへの切り込み深さが１５μｍ以下になるように調整して接着剤層３Ａを直径２２０ｍｍ（円周約６９１ｍｍ）の円形にプリカット加工した。その後、接着剤層３Ａの不要部分を除去し、粘着フィルム１Ｂをその粘着剤層が接着剤層３Ａと接するように、離型フィルム２Ｂに室温でラミネートした。次に粘着フィルム１Ａに対して、離型フィルム２Ａへの切り込み深さが１５μｍ以下となるように調節して、接着剤層と同心円状に直径２７０ｍｍの円形プリカット加工をして、比較例１の接着シートを作製した。

冷蔵保管していた接着剤層３Ａが形成された離型フィルム２Ａを常温に戻し、離型フィルム２Ａへの切り込み深さが１５μｍ以下になるように調整して接着剤層３Ａを直径２２０ｍｍ（円周約６９１ｍｍ）の円形にプリカット加工した。その後、接着剤層３Ａの不要部分を除去し、粘着フィルム１Ａをその粘着剤層が接着剤層３Ａと接するように、離型フィルム２Ａに室温でラミネートした。次に粘着フィルム１Ａに対して、離型フィルム２Ａへの切り込み深さが１５μｍ以下となるように調節して、接着剤層と同心円状に直径２７０ｍｍの円形プリカット加工をすると同時に、図９（ａ）の形状の貫通孔を粘着フィルム１Ａにおける図１０（ａ）に示す位置に４個設け、比較例２の接着シートを作製した。

比較例２と同様の方法で、下記表４，５に示す組合せにて、実施例３〜１１にかかる接着シートを作製した。

なお、図９（ａ）の貫通孔は、最大幅（起点から終点までの長さ）が０．１ｍｍの直線形状であり、図９（ｂ）の貫通孔は、最大幅（直径）が１ｍｍの円形形状である。また、図９（ｃ）の貫通孔は、最大幅（起点から終点までの長さ）が０．０１ｍｍの円弧形状であり、図９（ｄ）の貫通孔は、最大幅（起点から終点までの長さ）が３０ｍｍのＶ字形状である。

図１０（ａ）に示す貫通孔を設ける位置は、接着剤層の被着体貼合予定部分より外側であって円形ラベル部の内側に対応する部分であり、図１０（ａ）において斜線で示す領域Ｒａである。図１０（ｂ）に示す貫通孔を設ける位置は、接着剤層の外縁部より外側であって円形ラベル部の内側に対応する部分であり、図１０（ｂ）において斜線で示す領域Ｒｂである。図１０（ｃ）に示す貫通孔を設ける位置は、接着剤層の外縁部に対応する部分であり、図１０（ｃ）において実線で示す領域Ｒｃである。図１０（ｄ）に示す貫通孔を設ける位置は、接着剤層の外縁部より外側で円形ラベル部の内側に対応する部分であって、接着剤層の中心点を通りかつ離型フィルムの長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±６０°以内の範囲であり、図１０（ｄ）において斜線で示す領域Ｒｄである。図１０（ｅ）に示す貫通孔を設ける位置は、接着剤層の外縁部に対応する部分であって、接着剤層の中心点を通りかつ離型フィルムの長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±４５°以内の範囲であり、図１０（ｅ）において実線で示す領域Ｒｅである。図１０（ｆ）に示す貫通孔を設ける位置は、接着剤層の外縁部より外側で円形ラベル部の内側に対応する部分であって、接着剤層の中心点を通りかつ離型フィルムの長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±４５°以内の範囲であり、図１０（ｆ）において斜線で示す領域Ｒｆである。

貫通孔は、実施例においては、離型フィルムの図１０に示す位置に設け、比較例２〜１１においては、粘着剤層の図１０に示す位置に設けた。

図９（ａ）の貫通孔は、図１０（ａ）〜（ｆ）のいずれの場合も、貫通孔の長手方向が接着剤層や粘着フィルムのラベルの円周の接線と平行になるように設けた。また、図９（ｃ），（ｄ）の貫通孔は、図１０（ａ）〜（ｆ）のいずれの場合も、ラベルの円周の外側に凸になるように設けた。

貫通孔は、等間隔で設け、図１０（ａ），（ｂ），（ｄ），（ｆ）に示す位置に設ける場合には、放射線状に配列した。

（特性評価試験）
実施例１〜１９、比較例１〜１１のウエハ加工用粘着テープについて、特性評価試験を下記のように行った。

［ボイドの抑制性評価］
実施例及び比較例のウエハ加工用粘着テープを、円形形状の粘着フィルムの数が３００枚になるように、ロール状に巻き取り、ウエハ加工用粘着テープロールを作製した。得られたウエハ加工用粘着テープロールは1ヶ月間冷蔵庫内（５℃）で保管した後、包装・梱包して輸送用トラックに乗せて平塚〜神戸間（約１０００ｋｍ）を往復した。トラック内はドライアイスにより−２０℃の冷蔵状態を保持させた。その後、接着シートロールを開梱し、ウエハ加工用粘着テープロールを常温に戻してから包装袋を開封し、実施例及び比較例のウエハ加工用粘着テープのボイドの抑制性を評価した。ウエハ加工用粘着テープのボイドの抑制性は、目視にてボイドの有無を観察し、以下の評価基準に従って、◎、○、△、×の４段階で評価した。
◎（優良品）：様々な角度から目視観察してもボイドとエアが確認できない。
○（良品）：粘着フィルムと離型フィルムの間に若干のエアが確認できる。
△（許容品）：接着剤層と離型フィルムの間に若干のエアが確認できる。
×（不良品）：接着剤層と粘着フィルムの間にボイドが確認できる。

［エキスパンド性評価］
ボイドのない接着剤層及び粘着フィルムが積層されてなるラベルを用いてエキスパンド性を以下のように評価した。ラベルの接着剤層を厚さ７５μｍの半導体ウエハへ７０℃で１分間加熱貼合した後、リングフレームに固定し、半導体ウエハを１０ｍｍ×１０ｍｍのチップにダイシングした。その後、粘着フィルム１Ｂを使用した接着シート（実施例２、５、１１、１３および比較例１、６）のみ空冷式高圧水銀灯（８０Ｗ／ｃｍ、照射距離１０ｃｍ）により紫外線を２００ｍＪ／ｃｍ^２照射し、ダイボンダー装置により、エキスパンド量１５ｍｍ、エキスパンドスピード３０ｍｍ／ｓｅｃで半導体ウエハ付接着シートを拡張し、エキスパンド性評価を行った。エキスパンド性評価は以下の評価基準に従って、○、×の２段階で評価した。
○（良品）：粘着フィルムが裂けずに拡張できる
×（不良品）：粘着フィルムに裂けが確認される

それぞれの実施例、比較例における上記試験の結果を表１〜５に示す。

表１〜３に示すように、実施例１〜１９は、離型フィルムを貫く貫通孔が、接着剤層の被着体貼合予定部分より外側であってラベル部の内側に対応する部分を含む位置に設けられているため、エキスパンド量及び速度を大きくしても良好にエキスパンドを行うことができた。

また、実施例１〜１３は、表１，２に示すように、離型フィルムと粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下であるため、非常に良好にボイドを抑制することができた。実施例１７〜１９は、表３に示すように、離型フィルムと粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋを超えていることから、エアの浸入が見られた。しかしながら、貫通孔が接着剤層の中心点を通りかつ離型フィルムの長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±６０°の範囲に限定して設けられていることから、粘着フィルムと離型フィルムの間に若干のエアが残存していたのみで、ウエハへの貼合不良の原因となるボイドは良好に抑制することができた。実施例１４〜１６は、表３に示すように、離型フィルムと粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋを超えているため、エアの侵入が確認され、また、貫通孔が接着剤層の中心点を通りかつ離型フィルムの長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±９０°の範囲に設けられていることから、エアの浸入量が多く、接着剤層と離型フィルムの間にも確認された。このように、エアが進行する方向が接着剤層１２の外側に誘導されておらず、ボイドが生じやすい接着シートであるが、貫通孔のボイド排出効果によりボイドは確認できなかったため、許容範囲である結果となった。

一方、表４に示すように、比較例１は、貫通孔が設けられていないため、エキスパンド性は良好な結果となったが、接着剤層と粘着フィルムの間にボイドが確認された。また、表４，５に示すように、比較例２〜１１は、粘着フィルムに貫通孔を設けたため、エキスパンド量及び速度を大きくしてエキスパンドすると、粘着フィルムが裂けてしまった。

なお、比較例２〜６は、表４に示すように、離型フィルムと粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下であるため、ボイドを抑制は非常に良好であった。一方、比較例９〜１１は、表５に示すように、離型フィルムと粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋを超えていることから、粘着フィルムと離型フィルムの間に若干のエアが確認されたが、ボイドは確認されなかった。比較例７，８は、表５に示すように、離型フィルムと粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋを超えているため、エアの侵入が確認され、また、貫通孔が接着剤層の中心点を通りかつ離型フィルムの長手方向と垂直な直線ａを基準に、接着剤層の中心点から±９０°の範囲に設けられていることから、接着剤層と離型フィルムの間にも確認された。

これらの実施例および比較例からわかるように、本発明の接着シートは、接着剤層と粘着フィルムとの間にボイドが発生するのを抑制して、半導体ウエハに対する貼合不良を低減することができ、かつエキスパンド量及び／又はエキスパンド速度を大きくした場合であっても、粘着フィルムが裂けることなく良好にエキスパンドすることができる。

１０，１０’：接着シート
１１：離型フィルム
１２：接着剤層
１３：粘着フィルム
１３ａ：円形ラベル部
１３ｂ：周辺部
１４：貫通孔
１５：被着体貼合予定部分
１６：支持部材

Claims (7)

1. 長尺の離型フィルムと、
   前記離型フィルム上にラベル状に設けられた接着剤層と、
   前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられたラベル部と、前記ラベル部の外縁の外側を囲むような周辺部とを有する粘着フィルムと、
   を有した、ロール状に巻かれた接着シートであって、
   前記離型フィルムを貫く貫通孔が、半導体ウエハをダイシングする際に前記半導体ウエハが貼合される位置である前記接着剤層の被着体貼合予定部分より外側であって前記ラベル部の外縁の内側に対応する部分を含む位置に設けられており、
   前記貫通孔は、前記粘着フィルムを貫通していないことを特徴とする接着シート。
2. 前記離型フィルムと前記粘着フィルムの線膨張率の差が２５０ｐｐｍ／Ｋ以下であることを特徴とする請求項１に記載の接着シート。
3. 前記貫通孔は、前記接着剤層の中心点を通りかつ前記離型フィルムの長手方向と垂直な直線を基準に、前記接着剤層の中心点から±６０°以内の範囲に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の接着シート。
4. 前記離型フィルムの長手方向に沿って前記接着剤層の外縁の外側に設けられた支持部材を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に接着シート。
5. 前記接着剤層が、前記離型フィルムを剥離した後に前記接着剤層を貼り付ける被着体に対応する平面形状を有していることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の接着シート。
6. 前記粘着フィルムが、前記離型フィルムを剥離した後に前記粘着フィルムを貼り付ける被着体に対応する平面形状を有していることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の接着シート。
7. 前記貫通孔は、前記接着剤層の外縁部に接する部分を含む位置に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の接着シート。

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