JP2010140931A - ウエハ加工用テープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のウエハ加工用テープは、離型フィルムと、前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部とを有する粘着フィルムと、を含むウエハ加工用テープであって、前記粘着フィルムは、前記接着剤層と接触する側の第1の面と、前記第1の面の反対側の粗面化された第2の面とを有する。
【選択図】図1
Description
離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部とを有する粘着フィルムと、
を含むウエハ加工用テープであって、
前記粘着フィルムは、前記接着剤層と接触する側の第1の面と、前記第1の面の反対側の粗面化された第2の面とを有することを特徴とする。
本発明のウエハ加工用テープ10に用いられる離型フィルム11としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)系、ポリエチレン系、その他、離型処理がされたフィルム等周知のものを使用することができる。離型フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、25〜50μmが好ましい。
本発明の接着剤層12は、上述のように、離型フィルム11の面11a上に形成され、ウエハの形状に対応する円形ラベル形状を有する。
本発明の粘着フィルム13は、上述のように、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形ラベル部13aと、その外側を囲むように設けられた周辺部13bとを有する。このような粘着フィルムは、プリカット加工により、フィルム状粘着剤から円形ラベル部13aの周辺領域を除去することで形成することができる。
離型フィルム:ポリエチレンテレフタレート系フィルム
粘着フィルムの基材シート:ポリオレフィン系樹脂シート
粘着フィルムの粘着剤層:アクリル系放射線硬化性粘着剤
接着剤層:エポキシ−アクリル系接着剤
離型処理された離型フィルムであるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、エポキシ−アクリル系接着剤Aを膜厚が60μmとなるように円形形状に塗布し、乾燥させ、接着フィルムを作製した。そして、別途、厚さ150μmのポリオレフィン系樹脂基材シートXに、アクリル系放射線硬化性粘着剤aを乾燥膜厚が10μmとなるように所定形状に塗布し、乾燥させ、粘着フィルム(DCテープ)を作製した。なお、粘着フィルムの基材シートとして、粘着フィルムの作製工程において使用するロール面を粗くして、基材フィルムに粗いロール面の模様を転写して粗面化を行い、十点平均粗さRzが6.5μmとなった基材シートを用いた。そして、粘着フィルムと接着フィルムとを貼り合わせた、図1に示すウエハ加工用テープの長尺体を作製した。
離型フィルム上に、エポキシ−アクリル系接着剤Cを膜厚が40μmとなるように円形形状に塗布し、乾燥させ、接着フィルムを作製した。別途、厚さ100μmのポリオレフィン系樹脂基材シートXに、アクリル系放射線硬化性粘着剤bを乾燥膜厚が10μmとなるように所定形状に塗布し、乾燥させ、粘着フィルム(DCテープ)を作製した。なお、粘着フィルムの基材シートとして、実施例1と同様の粗面化を行い、十点平均粗さRzが6.5μmとなった基材シートを用いた。そして、粘着フィルムと接着フィルムとを貼り合わせた、図1に示すウエハ加工用テープの長尺体を作製した。
十点平均粗さRzが5.5μmとなった基材シートを用いた以外、実施例1と同様に、粘着フィルムと接着フィルムとを貼り合わせた、図1に示すウエハ加工用テープの長尺体を作製した。
十点平均粗さRzが5.5μmとなった基材シートを用いた以外、実施例2と同様に、粘着フィルムと接着フィルムとを貼り合わせた、図1に示すウエハ加工用テープの長尺体を作製した。
離型フィルム上に、エポキシ−アクリル系接着剤Cを膜厚が40μmとなるように円形形状に塗布し、乾燥させ、接着フィルムを作製した。別途、厚さ100μmのポリオレフィン系樹脂基材シートYに、アクリル系放射線硬化性粘着剤cを乾燥膜厚が10μmとなるように所定形状に塗布し、乾燥させ、粘着フィルム(DCテープ)を作製した。なお、粘着フィルムの基材シートとして、上記実施例と同様の粗面化を行い、十点平均粗さRzが2.5μmとなった基材シートを用いた。そして、粘着フィルムと接着フィルムとを貼り合わせた、図1に示すウエハ加工用テープの長尺体を作製した。
実施例1〜2及び比較例1〜3のウエハ加工用テープを、円形形状の粘着フィルムの枚数が100枚となるように巻き取り、ウエハ加工用テープロールを作製した。得られたウエハ加工用テープロールを一定時間保持した後、ロールを解き、粘着フィルム上の接着剤層(DAF)と粘着フィルム(DCテープ)とからなるダイシング・ダイボンディングフィルムをから離型フィルムから剥離した。そして、接着剤層上に半導体ウエハの裏面を貼り付けた後、半導体ウエハと接着剤層との間に、転写痕の存在により生じる三日月状のエアー溜りの有無を目視により観察し、転写痕の抑制性の評価を行った。
11:離型フィルム
12:接着剤層
13:粘着フィルム
13a:円形ラベル部
13b:周辺部
20,40:ダイシング・ダイボンディングフィルム
Claims (2)
- 離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部とを有する粘着フィルムと、
を含むウエハ加工用テープであって、
前記粘着フィルムは、前記接着剤層と接触する側の第1の面と、前記第1の面の反対側の粗面化された第2の面とを有する、
ことを特徴とするウエハ加工用テープ。 - 前記第2の面の表面形状は、十点平均粗さで6.0μm以上である、
ことを特徴とする請求項1記載のウエハ加工用テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008312957A JP2010140931A (ja) | 2008-12-09 | 2008-12-09 | ウエハ加工用テープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008312957A JP2010140931A (ja) | 2008-12-09 | 2008-12-09 | ウエハ加工用テープ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010140931A true JP2010140931A (ja) | 2010-06-24 |
Family
ID=42350848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008312957A Pending JP2010140931A (ja) | 2008-12-09 | 2008-12-09 | ウエハ加工用テープ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2010140931A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012049473A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Hitachi Chem Co Ltd | ウェハ加工用テープ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5948511U (ja) * | 1982-09-25 | 1984-03-31 | 日東電工株式会社 | ロ−ル状粘着偏光板の構造 |
JP2005239889A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | ロール状ウエハ加工用粘着シート |
JP2007002173A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着シート及びその製造方法、並びに、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
-
2008
- 2008-12-09 JP JP2008312957A patent/JP2010140931A/ja active Pending
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