JP5019633B2 - ウエハ加工用テープの長尺体 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハ加工用テープの長尺体に関し、特に、ダイシングテープとダイボンディングフィルムの２つの機能を有するウエハ加工用テープの長尺体に関する。

近時、半導体ウエハを個々のチップに切断分離（ダイシング）する際に半導体ウエハを固定するためのダイシングテープと、切断された半導体チップをリードフレームやパッケージ基板等に接着するため、又は、スタックドパッケージにおいては、半導体チップ同士を積層、接着するためのダイボンディングフィルム（ダイアタッチフィルムともいう）との２つの機能を併せ持つダイシング・ダイボンディングテープが開発されている。

このようなダイシング・ダイボンディングテープとしては、ウエハへの貼り付けや、ダイシングの際のリングフレームへの取り付け等の作業性を考慮して、プリカット加工が施されたものがある（例えば特許文献１参照）。

プリカット加工されたダイシング・ダイボンディングテープの例を、図４に示す。図４はダイシング・ダイボンディングテープ５０の概要図である。図４に示すように、ダイシング・ダイボンディングテープ５０は、フィルム５１と、接着剤層５２と、粘着フィルム５３とからなる。接着剤層５２は、ウエハの形状に対応する円形に加工されたものであり、円形ラベル形状を有する。粘着フィルム５３は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示するように、円形ラベル部５３ａと、その外側を囲むような周辺部５３ｂとを有する。接着剤層５２と粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａとは、その中心を揃えて積層され、また、粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａは、接着剤層５２を覆い、且つ、その周囲でフィルム５１に接触している。

ウエハをダイシングする際には、積層状態の接着剤層５２及び粘着フィルム５３からなるラベルからフィルム５１を剥離し、図５に示すように、接着剤層５２上に半導体ウエハＷの裏面を貼り付け、粘着フィルム５３の円形ラベル部５３ａの外周部にダイシング用リングフレームＲを粘着固定する。この状態で半導体ウエハＷをダイシングし、その後、粘着フィルム５３に紫外線照射等の硬化処理を施して半導体チップをピックアップする。このとき、粘着フィルム５３は、硬化処理によって粘着力が低下しているので、接着剤層５２から容易に剥離し、半導体チップは裏面に接着剤層５２が付着した状態でピックアップされる。半導体チップの裏面に付着した接着剤層５２は、その後、半導体チップをリードフレームやパッケージ基板、あるいは他の半導体チップに接着する際に、ダイボンディングフィルムとして機能する。
特開２００７−２１７３号公報

ところで、上記のようなダイシング・ダイボンディングテープ５０は、図４に示すように、製品としては長尺体である。そのため、ダイシング・ダイボンディングテープ５０を製造する際、品質不良のラベルが、例えば複数枚連続して存在した場合、ラベルを剥がした後にダイシング・ダイボンディングテープ５０を切断し、再度粘着テープを用いて接合して、規定長さや規定ラベル枚数のダイシング・ダイボンディングテープ５０を作成する。

図６に、ラベルを剥がして、２つのダイシング・ダイボンディングテープ５０を接合した箇所を示す図を示す。図６（ａ）、図６（ｂ）は、ダイシング・ダイボンディングテープ５０の平面図、Ｘ−Ｘ線端面図である。図６に示すように、長尺体の途中にダイシング・ダイボンディングテープ５０同士を接合した継ぎ部６０は、以下のようにして形成される。
（１）継ぎを行う部分のラベル（積層状態の接着剤層５２及び粘着フィルム５３からなるラベル）を剥がす。
（２）フィルム５０を切断する。
（３）フィルム５０の切断部同士をつき合わせ、面合わせを行った後、粘着テープ６１（６１ａ）をフィルム５０に貼る。
（４）粘着テープ６１ａを貼った反対側の粘着フィルム５３ｂ上にも粘着テープ６１（６１ｂ）を貼る。
（５）フィルム幅方向側からはみ出した粘着テープ６１を切除する。

ダイシング・ダイボンディングテープ５０を使用する際にはラベルを剥がして使用する。そのため、フィルム５１表面には離型処理が施されている。また、上述のようにして形成された継ぎ部６０を覆うように、粘着フィルムの周辺部５３ｂ側に貼られた粘着テープは、図６に示すように、非常に短い。そのため、ダイシング・ダイボンディングテープ５０を使用する際に、離型処理が施されているフィルム５１から継ぎ部６０の粘着テープ６１ｂが剥がれ、粘着フィルム５３ｂが捲れ上がるという問題が生じていた。

そこで、本発明の目的は、ダイシング・ダイボンディングテープを使用する際に、離型処理が施されているフィルムから継ぎ部の短い粘着テープが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが捲れ上がることを防止するウエハ加工用テープの長尺体を提供することにある。

以上のような目的を達成するため、本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体においては、周辺部の粘着フィルム上に貼られた第１の粘着テープと、長尺のフィルムの第１の面と反対側の第２の面に貼られた第２の粘着テープとを有し、第１及び第２の粘着テープの粘着面同士の一部分を貼り合して貼着部を形成する。

具体的には、本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体は、長尺のフィルムと、前記フィルムの第１の面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外周を囲むように設けられた周辺部とを有する粘着フィルムとからなるウエハ加工用テープの長尺体であって、前記周辺部の粘着フィルム上に、切断された複数のウエハ加工用テープの切断線に沿って、切断線を覆うように貼られた第１の粘着テープと、前記長尺のフィルムの第１の面と反対側の第２の面に、切断された複数のウエハ加工用テープの切断線に沿って、切断線を覆うように貼られた第２の粘着テープとを有し、前記第１及び前記第２の粘着テープは粘着面同士の一部分を貼り合して貼着部を形成し、前記第１及び前記第２の粘着テープにより、前記複数のウエハ加工用テープが接合されて長尺体を形成することを特徴とするウエハ加工用テープの長尺体である。

第１及び第２の粘着テープの粘着面同士の一部分を貼り合わして形成された貼着部により、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、第１の粘着テープと第２の粘着テープとが剥がれることがないことから、フィルムから粘着テープが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが捲れ上がることを防止することができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記第１及び前記第２の粘着テープは、前記ウエハ加工用テープの長手方向に対して斜め方向に切断された複数のウエハ加工用テープ同士を接合することが好ましい。

第１及び第２の粘着テープが、ウエハ加工用テープの長手方向に対して斜め方向に切断された複数のウエハ加工用テープ同士を接合することから、切断面を面合わせることによって、簡単かつ精確に２つのウエハ加工用テープの位置合わせを行うことができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記第１の粘着テープは、前記ラベル部以外の領域の長尺のフィルムと、前記粘着フィルムの周辺部とに貼られることが好ましい。

第１の粘着テープが、ラベル部以外の領域の長尺のフィルムと粘着フィルムの周辺部とに貼られることから、粘着フィルムのラベル部上には第１の粘着テープが貼られていないため、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、接着剤層とともにラベル部を容易に剥がすことができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記貼着部は前記長尺のフィルムの幅方向にはみ出して形成されることが好ましい。

前記貼着部は前記長尺のフィルムの幅方向にはみ出して形成されることから、フィルムに加工処理などすることなく、容易に、第１及び第２の粘着テープの粘着面同士の一部分を貼り合わして貼着部を形成することができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記第１の粘着テープが貼られた長尺のフィルムの領域内に第１の切り欠き部を有し、前記貼着部が前記第１の切り欠き部内に形成されることが好ましい。

第１の粘着テープが貼られた長尺のフィルムの領域内に第１の切り欠き部を有することから、第１の粘着テープと第２の粘着テープとが第１の切り欠き部を介して粘着することが可能となり、第１の切り欠き部内に貼着部を形成することができる。第１の切り欠き部内に形成された貼着部により、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、第１と第２の粘着テープとが剥がれることがないことから、フィルムから粘着テープが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが捲れ上がることを防止することができる。さらに、貼着部を長尺のフィルムの幅方向にはみ出さずに形成することができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記第１の粘着テープが貼られた粘着フィルムの周辺部の領域内に第２の切り欠き部を有し、前記長尺のフィルムの前記第２の切り欠き部に対応する位置に第３の切り欠き部を有し、前記貼着部が前記第２及び前記第３の切り欠き部内に形成されることも好ましい。

第２及び第３の切り欠き部内に形成された貼着部により、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、第１と第２の粘着テープとが剥がれることがないことから、フィルムから粘着テープが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが捲れ上がることを防止することができる。さらに、貼着部を長尺のフィルムの幅方向にはみ出さずに形成することができる。なお、第２の切り欠き部の位置を粘着テープが貼られる周辺部内に設ければ良いので、製造の自由度を向上させることができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記第１及び前記第２の粘着テープの少なくとも一方は着色部材であることが好ましい。

第１及び第２の粘着テープの少なくとも一方が着色部材であることから、ウエハ加工用テープの長尺体に接合された継ぎ部が存在することが目視或いは色差計により容易に確認することができる。また、周辺部の粘着フィルム上に貼られた第１の粘着テープのみが着色部材である場合、ウエハ加工用テープの接合の際に、第１の粘着テープの貼り忘れを防止することができる。

本発明に係るウエハ加工用テープの長尺体として、前記周辺部上に貼られた第１の粘着テープは、前記長尺のフィルムにはみ出さないことが望ましい。

ウエハ加工用テープが使用される際は、接着剤層とともにラベル部を剥がして使用されるため、フィルム５１には離型処理が施されている。従って、周辺部上に貼られた第１の粘着テープが長尺のフィルムにはみ出している場合、はみ出した部分が剥がれ易く、剥がれた部分を起点として粘着テープがはがれてしまうのに対して、第１の粘着テープが長尺のフィルムにはみ出さない場合、粘着テープが剥がれることを防止することができる。

本発明のウエハ加工用テープの長尺体によれば、第１及び第２の粘着テープの粘着面同士の一部分を貼り合わして形成された貼着部により、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、第１の粘着テープと第２の粘着テープとが剥がれることがないことから、フィルムから粘着テープが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが捲れ上がることを防止することができる。

以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は、本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープ（ダイシング・ダイボンディングテープ）であって、Ａ−Ａ線に沿って長手方向に対して斜め方向に切断されたウエハ加工用テープを粘着テープを用いて接合したウエハ加工用テープの平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線端面図、図１（ｃ）は、図１（ｂ）のＬ部拡大図である。

図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、ウエハ加工用テープ１０は、長尺のフィルム１１と、フィルム１１上に設けられた円形状の接着剤層１２と、粘着フィルム１３とを有する。粘着フィルム１３は、接着剤層１２を覆い、且つ、接着剤層１２の周囲でフィルム１１に接触するように設けられた円形状のラベル部１３ａと、フィルム１１の幅方向両端部上に、接着剤層１２及びラベル部１３ａの積層体の外周を囲むように、フィルム１１の長手方向に沿って連続的に設けられた周辺部１３ｂとを有する。

図１（ａ）に示すように、ウエハ加工用テープ１０は、接着剤層１２とラベル部１３ａとからなる積層体のラベルを、フィルム１１から剥がした後、ウエハ加工用テープ１０の長手方向に対して斜め方向に、Ａ−Ａ線に沿って切断されている。そして、粘着テープ１４ａ、１４ｂを用いて、切断されたウエハ加工用テープ１０が接合されている。粘着テープ１４ａは、接着剤層１２が設けられたフィルム１１の反対側の面から、ウエハ加工用テープ１０の切断方向に沿って、切断線全体を覆うようにフィルム１１に貼り付けられている。粘着テープ１４ｂは、粘着フィルム１３の周辺部１３ｂ上の切断線を覆うように貼り付けられている。

従って、粘着テープ１４ｂが、ラベル部１３ａ以外の領域のフィルム１１と粘着フィルムの周辺１３ｂ部とに貼られた場合でも、粘着フィルのラベル部１３ａ上には粘着テープ１４ｂが貼られていないため、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープ１０を使用する際に、接着剤層１２とともにラベル部１３ｂを容易に剥がすことができる。

さらに、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、粘着テープ１４ａ及び粘着テープ１４ｂは、各々の粘着面同士の一部分をフィルム１１の横方向からはみ出させることにより、貼り合している。

粘着テープ１４ａ及び１４ｂが貼り合して形成された貼着部１５により、ウエハ加工用テープ１０を使用する際に、粘着テープ１４ａと１４ｂとが剥がれることがないことから、フィルム１１から粘着テープ１４が剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが捲れ上がることを防止することができる。

また、貼着部１５はフィルム１１の幅方向にはみ出して形成されていることから、フィルム１１に加工処理などをすることなく、容易に、第１及び第２の粘着テープの粘着面同士の一部分を貼り合わして貼着部を形成することができる。

また、図１（ａ）〜図１（ｃ）に示すように、粘着フィルムの周辺部１３ｂ上に貼られた粘着テープ１４ｂは、接着剤層１２とラベル部１３ａとからなる積層体のラベルをフィルム１１から剥がした後に表れるフィルム１１の表面にはみ出さないように貼られている。

ウエハ加工用テープ１０が使用される際は、接着剤層１２とともにラベル部１３ａを剥がして使用されるため、フィルム１１には離型処理が施されている。従って、周辺部１３ｂ上に貼られた粘着テープ１４ｂがフィルム１１にはみ出している場合、はみ出した部分が剥がれ易く、剥がれた部分を起点として粘着テープ１４ｂがはがれてしまうのに対して、粘着テープ１４ｂがフィルム１１にはみ出さない場合、粘着テープ１４ｂが剥がれることを防止することができる。

さらに、粘着テープ１４ａ、１４ｂの少なくとも一方に着色処理が行われていた場合、ウエハ加工用テープ１０に粘着テープ１４を用いて接合された継ぎ部が存在することが目視或いは色差計により容易に確認することができる。また、周辺部１３ｂの粘着フィルム１３上に貼られた粘着テープ１４ｂのみに着色処理が行われていた場合、ウエハ加工用テープ１０の接合の際に、粘着テープ１４ｂの貼り忘れを防止することができる。

なお、粘着テープ１４ａ及び１４ｂを用いて、ウエハ加工用テープ１０の長手方向と斜め方向に切断されたウエハ加工用テープ同士が接合される。従って、切断面を面合わせることによって、簡単かつ精確に２つのウエハ加工用テープの位置合わせを行うことができる。

以下、本実施形態のウエハ加工用テープ１０の各構成要素について詳細に説明する。

（フィルム）
本発明のウエハ加工用テープ１０に用いられるフィルム１１としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系、ポリエチレン系、その他、離型処理が施されたフィルム等周知のものを使用することができる。フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、２５〜５０μｍが好ましい。

（接着剤層）
本発明の接着剤層１２は、上述のように、フィルム１１の第１の面１１ａ上に形成され、ウエハの形状に対応する円形ラベル形状を有する。

接着剤層１２は、半導体ウエハ等が貼合されダイシングされた後、チップをピックアップする際に、チップ裏面に付着しており、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。接着剤層１２としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール系樹脂から選択される少なくとも１種を含む粘接着剤等を使用することができる。この他、ポリイミド系樹脂やシリコーン系樹脂を使用することもできる。その厚さは適宜設定してよいが、５〜１００μｍ程度が好ましい。

（粘着フィルム）
本発明の粘着フィルム１３は、上述のように、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形ラベル部１３ａと、その外側を囲むような周辺部１３ｂとを有する。このような粘着フィルムは、プリカット加工により、フィルム状粘着剤から円形ラベル部１３ａの周辺領域を除去することで形成することができる。

粘着フィルム１３としては、特に制限はなく、ウエハをダイシングする際にはウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層から剥離できるよう低い粘着力を示すものであればよい。例えば、基材フィルムに粘着剤粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。

粘着フィルム１３の基材フィルムとしては、従来公知のものであれば特に制限することなく使用することができるが、後述の粘着剤層として放射線硬化性の材料を使用する場合には、放射線透過性を有するものを使用することが好ましい。

例えば、その材料として、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−１、ポリ−４−メチルペンテン−１、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、およびこれらの混合物を列挙することができる。また、基材フィルムはこれらの群から選ばれる２種以上の材料が混合されたものでもよく、これらが単層又は複層化されたものでもよい。
基材フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、５０〜２００μｍが好ましい。

粘着フィルム１３の粘着剤層に使用される樹脂としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。

粘着剤層の樹脂には、アクリル系粘着剤、放射線重合性化合物、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製することが好ましい。粘着剤層の厚さは特に限定されるものではなく適宜に設定してよいが、５〜３０μｍが好ましい。

放射線重合性化合物を粘着剤層に配合して放射線硬化により接着剤層から剥離しやすくすることができる。その放射線重合性化合物は、例えば光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分量化合物が用いられる。

具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジアクリレートや、オリゴエステルアクリレート等が適用可能である。

また、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレン
ジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなど）を反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピル
アクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。
粘着剤層には、上記の樹脂から選ばれる２種以上が混合されたものでもよい。

光重合開始剤を使用する場合、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェ
ニルプロパン等を使用することができる。これら光重合開始剤の配合量はアクリル系共重合体１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。

（粘着テープ）
粘着テープ１４としては、例えば、樹脂フィルム基材に粘接着剤を塗布した粘接着テープを好適に使用することができる。粘接着テープの基材樹脂としては、耐熱性、平滑性、及び、入手し易さの点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）及びポリエステルが好ましい。粘接着テープの粘着剤の組成及び物性については、特に限定はなく、ウエハ加工用テープ１０の巻き取り工程及び保管工程において、フィルム１１から剥離しないものが好ましい。

＜変形例１＞
本発明の実施の形態を変形例を図２を用いて説明する。図２（ａ）は、ウエハ加工用テープ（ダイシング・ダイボンディングテープ）であって、Ｂ−Ｂ線に沿って長手方向に対して斜め方向に切断されたウエハ加工用テープを粘着テープを用いて接合したウエハ加工用テープの平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ線端面図、図２（ｃ）は、図２（ｂ）のＭ部拡大図である。

図２（ａ）に示すように、ウエハ加工用テープ２０は、接着剤層２２とラベル部２３ａとからなる積層体のラベルを、フィルム２１から剥がした後、ウエハ加工用テープ２０の長手方向に対して斜め方向に、Ｂ−Ｂ線に沿って切断されている。そして、粘着テープ２４ａ、２４ｂを用いて、切断されたウエハ加工用テープ２０が接合されている。粘着テープ２４ａは、接着剤層２２が設けられたフィルム２１の反対側の面から、ウエハ加工用テープ２０の切断方向に沿って、切断線全体を覆うようにフィルム２１に貼り付けられている。粘着テープ２４ｂは、粘着フィルム２３の周辺部２３ｂ上の切断線を覆うように貼り付けられている。

さらに、図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、周辺部２３ｂに貼られた粘着テープ２４ｂはフィルム２１にまではみ出している。そして、フィルム２１にはみ出した領域には、フィルム２１を貫通する切り欠き部２６が設けられている。従って、粘着テープ２４ａ及び粘着テープ２４ｂは、各々の粘着面同士の一部分を、フィルム２１に設けられた切り欠き部２６を介して、貼付部２５を形成している。

従って、粘着テープ２４ｂが貼られたフィルム２１の領域内に切り欠き部２６を有することから、粘着テープ２４ａと粘着テープ２４ｂとが切り欠き部２６を介して粘着することが可能となり、切り欠き部２６内に貼着部２５を形成することができる。切り欠き部２６内に形成された貼着部２５により、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、粘着テープ２４ａ、２４ｂが剥がれることがないことから、フィルム２１から粘着テープ２４ｂが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルム２４ｂが捲れ上がることを防止することができる。さらに、貼着部２５を長尺のフィルム２１の幅方向からはみ出さずに形成することができる。

＜変形例２＞
本発明の実施の形態の他の変形例を図３を用いて説明する。図３（ａ）は、ウエハ加工用テープ（ダイシング・ダイボンディングテープ）であって、Ｃ−Ｃ線に沿って長手方向に対して斜め方向に切断されたウエハ加工用テープを粘着テープを用いて接合したウエハ加工用テープの平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＣ-Ｃ線端面図、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＮ部拡大図である。

図３（ａ）に示すように、ウエハ加工用テープ３０は、接着剤層３２とラベル部３３ａとからなる積層体のラベルを、フィルム３１から剥がした後、ウエハ加工用テープ３０の長手方向に対して斜め方向に、Ｃ−Ｃ線に沿って切断されている。そして、粘着テープ３４ａ、３４ｂを用いて、切断されたウエハ加工用テープ３０が接合されている。粘着テープ３４ａは、接着剤層３２が設けられたフィルム３１の反対側の面から、ウエハ加工用テープ３０の切断方向に沿って、切断線全体を覆うようにフィルム３１に貼り付けられている。粘着テープ３４ｂは、粘着フィルム３３の周辺部３３ｂ上の切断線を覆うように貼り付けられている。

さらに、図３（ａ）〜図３（ｃ）に示すように、周辺部３３ｂに貼られた粘着テープ３４ｂはフィルム３１の幅方向からはみ出していない。このため、粘着テープ３４ｂが貼られた粘着フィルムの周辺部３３ｂの領域内に粘着フィルム３３を貫通する切り欠き部３６ｂが、加えて、フィルム３１のこの切り欠き部３６ｂに対応する位置に、フィルム３１を貫通する切り欠き部３６ａが、設けられている。従って、粘着テープ３４ａ及び粘着テープ３４ｂは各々の粘着面同士の一部分を、フィルム３１に設けられた切り欠き部３６ａ及び粘着フィルム３３の周辺部３３ｂに設けられた切り欠き部３６ｂを介して、貼付部３５を形成している。

従って、粘着フィルムの周辺部３３ｂの領域内に設けられた切り欠き部３６ｂと、この切り欠き部３６ｂに対応した位置に設けられたフィルム３１の領域内に設けられた切り欠き部３６ａとを有することから、粘着テープ３４ａと粘着テープ３４ｂとが２つの切り欠き部３６ａ，３６ｂを介して粘着することが可能となり、対応する２つの切り欠き部３６ａ，３６ｂ内に貼着部３５を形成することができる。２つの切り欠き部３６ａ，３６ｂ内に形成された貼着部３５により、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、粘着テープ３４ａ、３４ｂが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルム３４ｂが捲れ上がることを防止することができる。さらに、貼着部３５を長尺のフィルム３１の幅方向からはみ出さずに形成することができる。なお、切り欠き部の位置を粘着テープが貼られる周辺部内に設ければ良いので、製造の自由度を向上させることができる。

以上のとおり、本実施形態のウエハ加工用テープの長尺体によれば、切断されたウエハ加工用テープを粘着テープを用いて接合するために、周辺部の粘着フィルム上に貼られた粘着テープと、粘着フィルムが貼られていない長尺のフィルムに貼られた粘着テープとの粘着面同士の一部分を貼り合して貼着部を形成する。その結果、ダイシング・ダイボンディングテープとしてウエハ加工用テープを使用する際に、離型処理が施されているフィルムから粘着テープが剥がれることを防止し、その結果、粘着フィルムが長尺のフィルムから捲れ上がることを防止することができる。

（ａ）は本発明の実施形態に係るウエハ加工用テープの平面図であり、（ｂ）はＡ−Ａ線端面図であり、（ｃ）はＬ部拡大図である。 （ａ）は変形例であるウエハ加工用テープの平面図であり、（ｂ）はＢ−Ｂ線端面図であり、（ｃ）はＭ部拡大図である。 （ａ）は他の変形例であるウエハ加工用テープの平面図であり、（ｂ）はＣ−Ｃ線端面図であり、（ｃ）はＮ部拡大図である。 従来のウエハ加工用テープの概要図である。 ウエハ加工用テープとダイシング用リングフレームとが貼り合わされた状態を示す断面図である。 （ａ）は、従来のウエハ加工用テープの平面図であり、（ｂ）は、Ｘ−Ｘ線端面図である。

符号の説明

１０，２０，３０，５０：ウエハ加工用テープ
１１，２１，３１：フィルム
１２，５２：接着剤層
１３，２３，３３：粘着フィルム
１３ａ，５３ｂ：円形ラベル部
１３ｂ，２３ｂ，３３ｂ，５３ｂ：周辺部
１４，１４ａ，１４ｂ，２４，２４ａ，２４ｂ，３４，３４ａ，３４ｂ：粘着テープ
１５，２５，３５：貼着部
２６，３６ａ，３６ｂ：切り欠き部

Claims (8)

1. 長尺のフィルムと、
   前記フィルムの第１の面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
   前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部と、前記ラベル部の外周を囲むように設けられた周辺部とを有する粘着フィルムとからなるウエハ加工用テープの長尺体であって、
   前記周辺部の粘着フィルム上に、切断された複数のウエハ加工用テープの切断線に沿って、切断線を覆うように貼られた第１の粘着テープと、
   前記長尺のフィルムの第１の面と反対側の第２の面に、切断された複数のウエハ加工用テープの切断線に沿って、切断線を覆うように貼られた第２の粘着テープとを有し、
   前記第１及び前記第２の粘着テープは粘着面同士の一部分を貼り合して貼着部を形成し、
   前記第１及び前記第２の粘着テープにより、前記複数のウエハ加工用テープが接合されて長尺体を形成することを特徴とするウエハ加工用テープの長尺体。
2. 前記第１及び前記第２の粘着テープは、前記ウエハ加工用テープの長手方向に対して斜め方向に切断された複数のウエハ加工用テープ同士を接合することを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工用テープの長尺体。
3. 前記第１の粘着テープは、
   前記ラベル部以外の領域の長尺のフィルムと、前記粘着フィルムの周辺部とに貼られることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ加工用テープの長尺体。
4. 前記貼着部は前記長尺のフィルムの幅方向にはみ出して形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの長尺体。
5. 前記第１の粘着テープが貼られた長尺のフィルムの領域内に第１の切り欠き部を有し、
   前記貼着部が前記第１の切り欠き部内に形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの長尺体。
6. 前記第１の粘着テープが貼られた粘着フィルムの周辺部の領域内に第２の切り欠き部を有し、
   前記長尺のフィルムの前記第２の切り欠き部に対応する位置に第３の切り欠き部を有し、
   前記貼着部が前記第２及び前記第３の切り欠き部内に形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの長尺体。
7. 前記第１及び前記第２の粘着テープの少なくとも一方は着色部材であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの長尺体。
8. 前記周辺部上に貼られた第１の粘着テープは、前記長尺のフィルムにはみ出さないことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの長尺体。

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