JP2010177401A - ウエハ加工用テープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】離型フィルム11上に設けられた接着剤層12と、接着剤層を覆い、該接着剤層の周囲で離型フィルムに接触するように設けられたラベル部13aと、その外側を囲むように設けられた周辺部13bを有する粘着フィルム13とを含むウエハ加工用テープであって、接着剤層より外側のラベル部外周部に、ラベル部表面とラベル部側縁部との間の角度が鈍角になるよう離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、離型フィルムに対する角度が0.2度以上84度以下に形成される溝を設けた。
【選択図】図1
Description
離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、
前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムに延びるラベル部側縁部とを有し、
前記ラベル部側縁部は、前記ラベル部表面と前記ラベル部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、前記離型フィルムに対する角度が0.2度以上84度以下に形成され、
前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムに延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有し、
前記周辺部側縁部は、前記周辺部表面と前記周辺部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成される
ことを特徴とする。
第1実施形態に係るウエハ加工用テープ10は、図1及び図2に示すように、離型フィルム11と、接着剤層12と、粘着フィルム13とからなる。接着剤層12は、ウエハの形状に対応する円形に加工されたものであり、円形ラベル形状を有する。粘着フィルム13は、ダイシング用のリングフレームの形状に対応する円形部分の周辺領域が除去されたものであり、図示するように、円形ラベル部13aと、その外側を囲むような周辺部13bとを有する。接着剤層12と粘着フィルム13の円形ラベル部13aとは、その中心を揃えて積層され、また、粘着フィルム13の円形ラベル部13aは、接着剤層12を覆い、且つ、その周囲で離型フィルム11に接触している。そして、接着剤層12と粘着フィルム13の円形ラベル部13aとからなる積層構造により、ダイシング・ダイボンディングフィルム15が構成されている。
そして、ウエハ加工用テープの断面図(図1(B))のL部が示すように、ラベル部13aと周辺部13bのいずれにも、離型フィルム11に対して傾斜した形状となる縁部が形成されている。具体的には、図2が示すように、ラベル部13aは、ラベル部表面14aと、ラベル部表面14aから離型フィルム11に延びるラベル部側縁部15aとを有する。ここで、ラベル部側縁部15aとラベル部表面14aとの間の角度が鈍角となるように形成されており、ラベル部側縁部15aは離型フィルム11に対して傾斜するように形成されている。
ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)に関して、X(X’)が0.2度以上84度以下となるように、ラベル部側縁部15a(周辺部側縁部15b)を離型フィルム11に対して形成することが好ましい。以下に、ラベル部側縁部15aを例に説明する。
ウエハ加工用テープに用いられる離型フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)系、ポリエチレン系、その他、離型処理がされたフィルム等周知のものを使用することができる。離型フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、25〜50μmが好ましい。
接着剤層は、半導体ウエハ等が貼り合わされてダイシングされた後、チップをピックアップする際に、粘着フィルムから剥離してチップに付着し、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。従って、接着剤層は、チップをピックアップする際に、個片化された半導体に付着したままの状態で、粘着フィルムから剥離することができる剥離性を有し、さらに、ダイボンディングする際において、チップを基板やリードフレームに接着固定するために、十分な接着信頼性を有するものでなければならない。
粘着フィルムは、ウエハをダイシングする際にはウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層から剥離できるよう低い粘着力を有するものである。例えば、基材フィルムに粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。
第2実施形態に係るウエハ加工用テープは、ラベル部13aと周辺部13bのいずれもが離型フィルム11に対して傾斜した形状となる縁部を有する第1実施形態に係るウエハ加工用テープを変形したもので、図3(A)に示すように、ラベル部23aと周辺部23bのいずれもが離型フィルム21に対して、ラベル部表面24aから離型フィルム21になめらかに湾曲して延びるラベル部側縁部25aと、周辺部表面24bから離型フィルム21になめらかに湾曲して延びる周辺部側縁部25bとを有する。なお、ラベル部側縁部25a(周辺部側縁部25b)と離型フィルム21との間の角度は90度になるように形成されている。
次に、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。ウエハ加工用テープを以下のようにして作成した。まず、支持基材(基材フィルム)及び粘着剤組成物1を調製した後、支持基材上に粘着剤組成物1の乾燥後の厚さが20μmになるように前記粘着剤組成物1を塗工し、110℃で3分間乾燥させて粘着フィルムを作成した。次いで、接着剤組成物1を調製し、接着剤組成物を離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離ライナーに、乾燥後の厚さが20μmになるように前記接着剤組成物を塗工し、110℃で3分間乾燥させて剥離ライナー上に接着フィルムを作成した。そして、ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)とを同一の角度とし、一定の範囲で角度(X=X’)を変化させて、前記粘着フィルム及び前記接着フィルムを、図4に示す形状に裁断した後、前記粘着フィルムの粘着剤層側に前記接着フィルムを貼り合わせて、3種類のウエハ加工用テープを作成した。作成したウエハ加工用テープの形状は、テープ幅が290mm、接着剤層の直径が220mm、ラベル部の直径が270mm、さらに、ウエハ加工用テープの中心線上に、接着剤層及びラベル部の中心が重なるように形成した。以下に、支持基材、粘着剤組成物1及び接着剤組成物1の調製方法を示す。
市販の低密度ポリエチレンよりなる樹脂ビーズ(日本ポリエチレン(株)製 ノバテックLL)を140℃で溶融し、押し出し機を用いて厚さ100μmの長尺フィルム状に成形した。
まず、放射線硬化性炭素−炭素二重結合および官能基を有する化合物(0)として、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメチルメタクリレートからなり、質量平均分子量70万、ガラス転移温度−64℃、放射線硬化性炭素−炭素二重結合量0.9meq/gを有する共重合体化合物を作製した。この化合物(0)100質量部に対して、硬化剤としてポリイソシアネート化合物コロネートL(日本ポリウレタン株式会社製、商品名)3質量部を加え、さらに光重合開始剤としてイルガキュア184(日本チバガイギー株式会社製、商品名)5質量部を加えることにより、放射線硬化性の粘着剤組成物1を得た。
<接着剤組成物>
エポキシ樹脂としてクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量197、分子量1200、軟化点70℃)50重量部、シランカップリング剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン1.5質量部、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン3質量部、平均粒径16nmのシリカフィラー30質量部からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて90分間混錬した。これにアクリル樹脂として化合物(1)の溶液を(1)が100重量部分だけ加え、硬化剤としてコロネートLを1質量部加え、攪拌混合して接着剤組成物1を得た。
ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)とが45度のウエハ加工用テープである。
ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)とが80度のウエハ加工用テープである。
ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)とが84度のウエハ加工用テープである。
ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)とが90度のウエハ加工用テープである。
ラベル部側縁部15aと離型フィルム11との間の角度(X)と、周辺部側縁部15bと離型フィルム11との間の角度(X’)とが85度のウエハ加工用テープである。
(転写痕の抑制性の評価方法)
外径76.2mmも巻き芯を用いて、290mm幅のウエハ加工用テープを、15Nの一定張力で300枚を巻き取り、ロール体を作成した。そして、ロール体を、14日間、5℃の環境下で冷蔵保管した。その後、目視観察により、シワの有無を判定した。
11,21,31:離型フィルム
12,32:接着剤層
13,33:粘着フィルム
13a,23a,33a:円形ラベル部
13b,23b,33b:周辺部
14a,24a,24a’,37a:ラベル部表面
14b,24b,24b’,37b:周辺部表面
15a,25a,25a’,38a:ラベル部側縁部
15b,25b,25b’,38b:周辺部側縁部
15,35:ダイシング・ダイボンディングフィルム
Claims (5)
- 離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、
前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムに延びるラベル部側縁部とを有し、
前記ラベル部側縁部は、前記ラベル部表面と前記ラベル部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成され、且つ、前記離型フィルムに対する角度が0.2度以上84度以下に形成され、
前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムに延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有し、
前記周辺部側縁部は、前記周辺部表面と前記周辺部側縁部との間の角度が鈍角であり、前記離型フィルムに対して傾斜するように形成される
ことを特徴とするウエハ加工用テープ。 - 前記ラベル部側縁部は、前記離型フィルムに対する角度が45度以上80度以下に形成されることを特徴とする請求項1記載のウエハ加工用テープ。
- 前記周辺部側縁部は、前記離型フィルムに対する角度が0.2度以上84度以下に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ加工用テープ。
- 前記周辺部側縁部は、前記離型フィルムに対する角度が45度以上80度以下に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ加工用テープ。
- 離型フィルムと、
前記離型フィルムの表面上に設けられた所定の平面形状を有する接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、且つ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた所定の平面形状を有するラベル部、及び、前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を有する粘着フィルムとを含むウエハ加工用テープであって、
前記ラベル部は、ラベル部表面と、前記ラベル部表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延びるラベル部側縁部とを有し、
前記周辺部は、周辺部表面と、前記周辺部表面から前記離型フィルムになめらかに湾曲して延び、且つ、前記ラベル部側縁部と対向する周辺部側縁部とを有する
ことを特徴とするウエハ加工用テープ。
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