JP2009182235A - ロードロック装置および基板冷却方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードロック装置6,7は、真空の搬送室5に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器31と、容器31内の圧力を搬送室5に対応する真空と大気圧に調整する圧力調整機構48と、容器31内に設けられウエハWが載置または近接されて冷却されるクーリングプレート32と、容器31内においてウエハWの変形を検出する変位センサー61,62と、搬送室5から高温のウエハWが容器31内に搬入された後のウエハ冷却期間に、変位センサー61,62が所定値以上のウエハWの変形を検出した際にウエハWの冷却を緩和する制御機構20とを具備する。
【選択図】図2
Description
また、そのような基板の冷却を実現することができるロードロック装置における基板冷却方法を提供することを目的とする。
図1は、本発明の一実施形態に係るロードロック装置が搭載されたマルチチャンバタイプの真空処理システムの概略構造を示す水平断面図である。
図2は、本実施形態に係るロードロック装置を示す断面図である。ロードロック装置6(7)は、容器31を有し、容器31内にはウエハWが載置または近接されてウエハWを冷却するクーリングプレート32が脚部33に支持された状態で設けられている。
ロードロック装置6および7のいずれかの容器31内を真空引きし、第1のゲートバルブG1を開放してウエハWをその容器31内に搬入し、図3に示すように、ウエハ支持ピン50を突出させた状態でウエハWをウエハ支持ピン50上に受け取り、第1のゲートバルブG1を閉じる。そして、クーリングプレート32の冷却媒体流路55に冷却媒体を通流させながら、ウエハ支持ピン50を降下させてウエハWをクーリングプレート32に載置または近接させ、容器31内に所定流量でパージガスを導入してその中の圧力上昇速度を一定に保ちつつ大気圧とする。
5;搬送室
6,7;ロードロック装置
8;搬入出室
12,16;搬送装置
20;プロセスコントローラ
31;容器
31a;天壁
32;クーリングプレート
36;排気口
37;パージガス導入口
41;排気管
42;開閉バルブ
43;排気速度調整バルブ
44;真空ポンプ
45;パージガス導入配管
46;開閉バルブ
47;流量調節バルブ
48;パージガス源
49;圧力調整機構
53;駆動機構
55;冷却媒体流路
61,62;変位センサー
63;圧力計
G,G1,G2;ゲートバルブ
W;ウエハ
Claims (9)
- 大気雰囲気から真空に保持された真空室へ基板を搬送し、前記真空室から高温の基板を前記大気雰囲気に搬送する際に用いられるロードロック装置であって、
真空室に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器と、
前記容器内が前記真空室と連通する際に、前記容器内の圧力を前記真空室に対応する圧力に調整し、前記容器内が前記大気雰囲気の空間と連通する際に、前記容器内の圧力を大気圧に調整する圧力調整機構と、
冷却機構を有し、前記容器内に設けられ基板が載置または近接されて冷却される冷却部材と、
前記容器内において基板の変形を検出する基板変形検出手段と、
前記容器内が前記真空室に対応する圧力に調整され、前記真空室から高温の基板が前記容器内に搬入されてから、前記容器内の圧力が大気圧にされるまでの間の基板冷却期間に、前記基板変形検出手段が所定値以上の基板の変形を検出した際に基板の冷却を緩和して基板の変形を戻すように制御する制御機構と
を具備することを特徴とするロードロック装置。 - 前記制御機構は、前記容器内の圧力を上昇させ、その途中で前記基板変形検出手段が所定値以上の基板の変形を検出した際に、圧力の上昇を停止し、または圧力を低下させて冷却を緩和することを特徴とする請求項1に記載のロードロック装置。
- 前記制御機構が冷却を緩和した後、前記基板変形検出手段が基板の変形が所定値よりも小さくなったことを検出した際に、前記制御機構が前記容器内の圧力上昇を再開することを特徴とする請求項2に記載のロードロック装置。
- 前記冷却部材に対して突没可能に設けられ、前記冷却部材から突出した状態で基板を受け取り、その状態で降下することにより基板を前記冷却部材に載置または近接させる基板支持ピンをさらに具備し、
前記制御機構は、前記基板変形検出手段が所定値以上の基板の変形を検出した際に、前記基板支持ピンを上昇させる、または前記基板支持ピンが基板を支持して下降している場合には下降を停止させることにより冷却を緩和することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のロードロック装置。 - 前記制御機構が冷却を緩和した後、前記基板変形検出手段が基板の変形が所定値よりも小さくなったことを検出した際に、前記制御機構が前記支持ピンの位置を元に戻す、または前記基板支持ピンの下降が停止している場合には前記基板支持ピンの下降を再開させることを特徴とする請求項4に記載のロードロック装置。
- 前記基板変形検出手段は、基板中心部の変位を測定する第1のセンサーと、基板エッジ部の変位を測定する第2のセンサーとを有し、これら第1のセンサーの検出値および第2のセンサーの検出値の差から基板の変形を検出することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のロードロック装置。
- 前記第1のセンサーおよび前記第2のセンサーはレーザー変位計であることを特徴とする請求項6に記載のロードロック装置。
- 前記真空室は、真空処理室に基板を搬送する搬送機構を備えた搬送室であり、前記真空処理室において高温の処理がなされ、前記容器内に前記真空室を介して高温の基板が搬送されることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のロードロック装置。
- 真空室に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器と、前記容器内が前記真空室と連通する際に、前記容器内の圧力を前記真空室に対応する圧力に調整し、前記容器内が前記大気雰囲気の空間と連通する際に、前記容器内の圧力を大気圧に調整する圧力調整機構と、冷却機構を有し、前記容器内に設けられ基板が載置または近接されて冷却される冷却部材とを具備し、大気雰囲気から真空に保持された真空室へ基板を搬送し、前記真空室から高温の基板を前記大気雰囲気に搬送する際に用いられるロードロック装置における基板冷却方法であって、
前記容器内が前記真空室に対応する圧力に調整され、前記真空室から高温の基板が前記容器内に搬入されてから、前記容器内の圧力が大気圧にされるまでの間の基板冷却期間に、基板の変形が所定値以上となった際に基板の冷却を緩和して基板の変形を戻すようにすることを特徴とする基板冷却方法。
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