JP5916608B2 - ロードロック装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係るロードロック装置が搭載されたマルチチャンバタイプの真空処理システムの概略構造を示す水平断面図である。
次に、本発明の第1の実施形態に係るロードロック装置について説明する。
図2は本発明の第1の実施形態に係るロードロック装置を示す垂直断面図、図3はその水平断面図である。本実施形態において、ロードロック装置6(7)は、容器31を有している。この容器31は、上部が開口した容器本体31aと、容器本体31aの上部開口を塞ぐ蓋体31bとを有している。容器31内の底部には、ウエハWが近接された状態で配置されてウエハWを冷却するクーリングプレート(冷却部材)32が設けられている。容器31およびクーリングプレート32は、例えばアルミニウムまたはアルミニウム合金で構成されている。
まず、搬送装置16によりフープFから取り出されたウエハWを、容器31に搬入する。このとき、容器31内は大気雰囲気にされ、その後第2のゲートバルブG2が開放された状態でウエハWが搬入される。
次に、本発明の第2の実施形態に係るロードロック装置について説明する。
図8は本発明の第2の実施形態に係るロードロック装置を示す垂直断面図、図9はその水平断面図である。これら図において、第1の実施形態と同じものには図2、3と同じ符号を付して説明を省略する。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、真空処理ユニットを4つ、ロードロック装置を2つ設けたマルチチャンバタイプの真空処理システムを例にとって説明したが、これらの数に限定されるものではない。また、本発明のロードロック装置は、このようなマルチチャンバタイプの真空処理装置に限らず、真空処理ユニットが1個のシステムであっても適用可能である。さらに、上記実施形態においては、ウエハ上面に一方向の層流を形成したが、これに限らず、例えば、ウエハの周囲に複数のガス吐出部材を設けて、これらガス吐出部材からウエハの上面に向けてパージガスを供給することによりウエハ上面に層流を形成する等、他の手法を用いても良い。さらにまた、被処理基板についても、半導体ウエハに限らず、FPD用ガラス基板などの他の基板を対象にすることができることはいうまでもない。
Claims (14)
- 大気雰囲気から真空に保持された真空室へ基板を搬送し、前記真空室から高温の基板を前記大気雰囲気に搬送する際に用いられるロードロック装置であって、
真空室に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器と、
前記容器内にパージガスを供給するパージガス供給機構と、
前記容器内を排気する排気機構と、
前記パージガス供給機構と前記排気機構を制御することにより、前記容器内が前記真空室と連通した際に前記容器内の圧力を前記真空室に対応する圧力に調整し、前記容器内が前記大気雰囲気の空間と連通した際に前記容器内の圧力を大気圧に調整する圧力調整機構と、
冷却機構を有し、前記容器内に設けられ、基板が近接配置されて基板を冷却する冷却部材と、
前記パージガス供給機構から供給されたパージガスを基板に平行に乱流制御された状態で供給する第1のパージガス吐出部材と、
前記冷却部材に近接配置された基板の下方から基板の下面に向けてパージガスを吐出する多孔質体からなる第2のパージガス吐出部材と
を具備する、ロードロック装置。 - 前記第1のパージガス吐出部材は、前記パージガス供給機構から供給されたパージガスを基板の上面に沿って乱流制御された状態で吐出するパージガス吐出ノズルを有する、請求項1に記載のロードロック装置。
- 前記パージガス吐出ノズルは、基板の上面に一方向の基板に平行な流れが形成されるようにパージガスを吐出する、請求項2に記載のロードロック装置。
- 前記パージガス吐出ノズルから吐出されて基板の上面に形成されるパージガス流を整流する整流部材をさらに具備する、請求項3に記載のロードロック装置。
- 前記第1のパージガス吐出部材は、多孔質体からなる吐出部を有し、前記吐出部から前記パージガスを吐出する、請求項1に記載のロードロック装置。
- 前記吐出部は、多孔質セラミックで構成されている、請求項5に記載のロードロック装置。
- 前記吐出部は、吐出されたパージガスが基板の存在範囲に乱流が制御された流れを形成するように配置されている、請求項5に記載のロードロック装置。
- 前記吐出部は、基板の存在範囲に一方向の基板に平行な流れが形成されるようにパージガスを吐出する、請求項7に記載のロードロック装置。
- 前記吐出部から吐出されて基板の上面に形成されるパージガス流を整流する整流部材をさらに具備する、請求項8に記載のロードロック装置。
- 前記第2のパージガス吐出部材は、多孔質セラミックで構成されている、請求項1に記載のロードロック装置。
- 前記第2のパージガス吐出部材は、前記冷却部材の上面に嵌め込まれていることを特徴とする請求項1に記載のロードロック装置。
- 大気雰囲気から真空に保持された真空室へ基板を搬送し、前記真空室から高温の基板を前記大気雰囲気に搬送する際に用いられるロードロック装置であって、
真空室に対応する圧力と大気圧との間で圧力を変動可能に設けられた容器と、
前記容器内にパージガスを供給するパージガス供給機構と、
前記容器内を排気する排気機構と、
前記パージガス供給機構と前記排気機構を制御することにより、前記容器内が前記真空室と連通した際に前記容器内の圧力を前記真空室に対応する圧力に調整し、前記容器内が前記大気雰囲気の空間と連通した際に前記容器内の圧力を大気圧に調整する圧力調整機構と、
冷却機構を有し、前記容器内に設けられ、基板が近接配置されて基板を冷却する冷却部材と、
前記冷却部材に近接配置された基板の下方から基板の下面に向けてパージガスを吐出する多孔質体からなるパージガス吐出部材と
を具備する、ロードロック装置。 - 前記多孔質体からなるパージガス吐出部材は、多孔質セラミックで構成されている、請求項12に記載のロードロック装置。
- 前記多孔質体からなるパージガス吐出部材は、前記冷却部材の上面に嵌め込まれている、請求項12に記載のロードロック装置。
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